也是在真空條件下進行的，特點是基片毋須加熱。工作時將待沉積的基片置于真空罩內(nèi)，令被覆面緊靠著一塊瓷片，該瓷片是有作為被覆用的瓷料制成的，此瓷片稱為靶。當靶受到高達的高度集中的電子束能量轟擊時，靶材上的原子被轟出，并沉積于靠近它的被覆基體表面，在此表面上逐步成核長大，形成一層多晶瓷膜。28/10cmW8隨著科學技術的不斷發(fā)展，燒結特種陶瓷還有電場燒結、微波燒結、自蔓延高溫合成燒結等新穎的燒結方法。按化學成分的不同，特種陶瓷可以分為以下幾種：①氧化物陶瓷：氧化鋁、氧化鋯、氧化鎂、氧化鈣、氧化鈹、氧化鋅、氧化釔、二氧化鈦、二氧化釷、三氧化鈾等。②氮化物陶瓷：氮化硅、氮化鋁、氮化硼、氮化鈾等。③碳化物陶瓷：碳化硅、碳化硼、碳化鈾等。④硼化物陶瓷：硼化鋯、硼化鑭等。⑤硅化物陶瓷：二硅化鉬等。⑥氟化物陶瓷：氟化鎂、氟化鈣、三氟化鑭等。江蘇中超金屬科技，以特種陶瓷為筆，繪就行業(yè)發(fā)展藍圖。江陰特種陶瓷技術指導

特種陶瓷基礎技術的研究，例如燒結機理、檢測技術和粉末制備技術等超導陶瓷的研究;特種陶瓷的薄膜化或非晶化是提高陶瓷功能的有效方法，因而許多國家都把它作為一項主要內(nèi)容而加以研究;陶瓷的纖維化是研制隔熱材料、復合增強材料等的重要基礎，如今國外，尤其是日本對陶瓷纖維及晶須增強金屬復合材料的研究極為重視，其研究主要集中于碳化硅及氮化硅，

孔陶瓷由于具有特殊結構，所以引起了各界的重視; 陶瓷與陶瓷或陶瓷與其它材料復合(陶瓷纖維增強陶瓷，陶瓷纖維增強金屬)問題也是現(xiàn)階段的研究重點在非氮化物陶瓷中，目前國外研究**多的是陶瓷發(fā)動機，高壓熱交挽器及陶瓷刀具等;隨著生物化學，生物醫(yī)學這些新興學科的發(fā)展，生物陶瓷的開發(fā)研究也變得越來越重要。 江陰特種陶瓷技術指導江蘇中超金屬科技，以特種陶瓷為筆，書寫行業(yè)發(fā)展的壯麗詩篇。

通過多孔胚體同氣相或液相發(fā)生化學反應，使胚體質(zhì)量增加，空隙減小，并燒結成一定強度和尺寸精確的成品的一種燒結工藝。此法有如下兩個：(1)提高制品質(zhì)量，燒成的制品不收縮，尺寸不變化；(2)反應速度快，傳質(zhì)和傳熱過程貫徹在燒結全過程。普通燒結法物質(zhì)遷移過程發(fā)生在坯體顆粒與顆粒的局部，反應燒結法物質(zhì)遷移過程發(fā)生在長距離范圍內(nèi)。分為液相反應燒結和氣相反應燒結兩類。采用前一類的居多。燒結氧氮化硅坯件時添加硅、二氧化硅和氟化鈣(或氧化鈣、氧化鎂等，玻璃相形成劑)同氮反應生成二氮氧化二硅(Si2ON2)，氧化鈣、氧化鎂等同二氧化硅形成玻璃相，氮溶解在焙融體(玻璃相)中；Si2ON2，晶體從被氮飽和的玻璃相中析出。這樣制出的氧氮化硅的密度可相當于理論密度90%以上。

對于空氣中很難燒結的制品，為防止其氧化，可在爐膛內(nèi)通入一定量的某種氣體，在此特種氣氛下進行燒結稱為。此法適用于：制備高壓鈉燈用的氧化鋁透光燈管。其他如等透光陶瓷也采用氣氛燒結法。MgO32,OYOBe,氮化硅、碳化硅等非金屬陶瓷也必須在氮及惰性氣體中進行燒結。對于在常壓高溫易于氣化的材料，可使其在稍高壓壓力下燒結。陶瓷中含有某種揮發(fā)性比較高的物質(zhì)時，在燒結過程中，將不斷向大氣擴散，從而使基質(zhì)中失去準備的化學計量比。在燒結使為保持必要的成分比。除在配方中適當加重易揮發(fā)組分外，還應注意燒成時的氣氛保護。例如將合成的WC-Co納米冷壓成型，然后在H2氣氛下低于WC-Co的共熔溫度（1300℃）進行液相燒結，比傳統(tǒng)的WC-Co硬質(zhì)合金的燒結溫度低100℃以上。為了防止晶粒長大，可加入適量添加劑，如VC、TaC、Cr2O3等，可有效地減緩WC晶粒在液相燒結中的迅速長大。**終合成晶粒度為200nm的WC-Co硬度合金。江蘇中超金屬科技，以特種陶瓷為翼，飛向更高更遠的未來。

仿生復相陶瓷：為克服陶瓷材料的脆性，提高其韌性，國內(nèi)外許多科學家們從對天然生物材料如竹，貝殼等的結構特征所進行的判析中得到啟示，從而進一步對結構陶瓷的材料設計，制備工藝等多方面進行了研究。果然，獲得了某些仿生復相陶瓷。主要技術措施有纖維、晶須補強，顆粒彌散，自補強（原位生長），多相補強以及表面改性等。例如，YTZP陶瓷材料，室溫強度已達2000mpa以上，KIC已超過15，達到了可與某些金屬材料比較的強度。又如，SiC陶瓷通N2形成Si3N4表面層，使強度和斷裂韌性均有明顯提高?？傊畯拖嗵胤N陶瓷材料所具有的**度，高耐磨性等特點，在高科技領域中的應用已取得顯著效果，已成為結構陶瓷研究熱點之一。在江蘇中超金屬科技，特種陶瓷的創(chuàng)新從未停止。江陰特種陶瓷技術指導

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如今興起的磨削加工方法主要有:a、超聲波振動磨削加工方法;b、在線電解修整金剛石砂輪磨削加工方法;c、電解、電火花復合磨削加工工藝;d、電化學在線控制加工方法。采用刀具加工陶瓷也引起了人們的極大興趣。這方面的工作*處于研究實驗階段，由于用超高精度的車床和金剛石單晶車刀進行加工，以微米數(shù)量級的微小吃刀深度和微小的走刀量，能獲得0.1微米左右的加工精度，因而許多國家把這種加工技術作為超精密加工的一個方面而加以開發(fā)研究，在中國，清華大學新型陶瓷與精細工藝國家重點實驗室在這方面的研究成果已位居世界前列。江陰特種陶瓷技術指導

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