。MicroelectromechanicalSystems，這個讓老美念起來都繞口的詞，中文叫做“微機(jī)械機(jī)電系統(tǒng)”。MEMS的飛速發(fā)展，是因?yàn)閭鹘y(tǒng)機(jī)電工藝制成的驅(qū)動器和傳感器，在體積、價格、產(chǎn)能上無法適應(yīng)電子消費(fèi)、工業(yè)界、科學(xué)研究乃至**的需求。上世紀(jì)80年代末，隨著集成電路工業(yè)的迅速發(fā)展，把驅(qū)動器和傳感器和集成電路芯片集成在一起，就成為了科技發(fā)展的必然趨勢，這也就促成了MEMS的誕生。【使用MEMS技術(shù)的好處】列舉幾個**重要的：原材料價格低廉，產(chǎn)量充足。大部分集成電路和MEMS的原材料是硅（Si），這個神奇的VI族元素可以從二氧化硅中大量提取出來。而二氧化硅是什么？說的通俗一點(diǎn)，就是沙子。沙子君在經(jīng)歷了一系列復(fù)雜的加工過程之后，就變成了單晶硅，長這個樣子：這個長長的大柱子，直徑可以是1inch（cm）到12inch（30cm），被切成一層層500微米厚的硅片（英文：wafer，和威化餅同詞），長這個樣子：批量生產(chǎn)-產(chǎn)能高，良品率高M(jìn)EMS驅(qū)動器和傳感器大部分都含有微機(jī)械機(jī)構(gòu)。試想一下，我們要檢測一個一微米長的彈簧移動了一納米（微米尺度的懸臂梁在納米尺度的范圍內(nèi)移動），這種加工精度在傳統(tǒng)機(jī)械加工工藝上面是難以實(shí)現(xiàn)的。正因?yàn)橛辛薓EMS技術(shù)。青海官方mems芯片質(zhì)量放心可靠

    用加速度計就夠了嘛，為什么一定要用陀螺儀呢？因?yàn)榧铀俣扔嫓y量的物理量是比力，而非加速度，加速度是通過比力計算得到的。加速度計不能分辨出是地球引力還是運(yùn)動外力。所以在被測量物體運(yùn)動的時候?qū)o法得到準(zhǔn)確的傾角。這個時候陀螺儀就起作用了，因?yàn)橥勇輧x對運(yùn)動加速度不敏感。陀螺儀短時間內(nèi)計算的角度很準(zhǔn)確，但時間長了會產(chǎn)生累計誤差，加速度計長時間內(nèi)的穩(wěn)定彌補(bǔ)了陀螺儀的短缺。加速度計在運(yùn)動的情況下測量有誤差，陀螺儀對運(yùn)動不敏感。所以可以用兩者的互補(bǔ)關(guān)系，來設(shè)計一個傾角傳感器。那這里面怎么用到PID的性質(zhì)呢？我們把加速度求得的角度θ作為目標(biāo)量，我們把陀螺儀積分角度θgyro作為輸出量。讓陀螺儀角度跟隨著加速度角度。設(shè)計PI跟隨器，調(diào)節(jié)參數(shù)，讓陀螺儀積分角度θgyro慢慢跟隨加速度計算的角度θ。下圖是計算周期為50ms時，kp=，ki=。角速度噪聲±。加速度受到運(yùn)動的影響，角度噪聲為±2度。在0秒時以角速度10度/秒運(yùn)動2秒，在2秒時角速度以-10度/秒運(yùn)動4秒。下面是6s到10s的放大圖。真實(shí)角度（藍(lán)色）為-21度，陀螺儀積分角度（紫色）漂移了2度左右，加速度計計算角度（綠）噪聲為±2度，組合角度（紅。江蘇質(zhì)量mems芯片多少錢

    在50s的時候，把目標(biāo)液位設(shè)置為2米，液位下降，2秒后穩(wěn)定到2米。說明PID完成了它原始的使命——作為控制器使用。PID作為信號跟隨器——傾角傳感器的設(shè)計這里傾角傳感器的設(shè)計就不涉及到任何控制了。我們的目標(biāo)是測量角度，硬件選用加速度計和陀螺儀構(gòu)成。為了方便，我們只測量單軸角度，這里用2軸微電子加速度計和1軸微電子陀螺儀。陀螺儀的輸出量是角速度，角速度積分就是角度，這不是用陀螺儀就能解決了嗎？為什么還要加速度計呢？是因?yàn)橥勇輧x輸出的角速度包含有各種噪聲，積分得到的角度會隨著時間誤差越來越大。具體的可以看下面的圖像分析。上面左圖是以1度/秒的角速度運(yùn)動10秒，右圖在角速度1度/秒的基礎(chǔ)上加了±，可以發(fā)現(xiàn)在10秒后角度值為106度（圖可能看不清），這是因?yàn)榻嵌戎档墨@取是通過角速度積分得到的，存在累計誤差。而加速度計具備良好的穩(wěn)定性，測量的偏移也很小，**重要的是它測量的角度沒有累計誤差。θ是加速度計測量的傾角。定義當(dāng)測量角為0時，az沿著重力方向豎直向下，和重力加速度的關(guān)系是az=g*cos(θ)，ax垂直于az，和重力加速度的關(guān)系是az=g*sin(θ)。這就是加速度計測量傾角的原理。那既然加速度計沒有累計誤差，測量比陀螺儀更好。

MEMS芯片有1個比較關(guān)鍵的指標(biāo)，尺寸，能在越小的尺寸上關(guān)鍵性能越優(yōu)，其應(yīng)用的場景越***也越有競爭力，也說明生產(chǎn)工藝和技術(shù)含量越高，MEMS是一個**的智能系統(tǒng)，可大批量生產(chǎn)，其系統(tǒng)尺寸在幾毫米乃至更小，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，但每個公司的技術(shù)和生產(chǎn)能力決定了所能生產(chǎn)MEMS芯片的大小，也決定了其應(yīng)用場景的范圍。MEMS芯片是相通的，很多公司不止有一款MEMS芯片，一旦在制程和工藝上**，其他產(chǎn)品是可以很快橫向鋪開。

    MPU-60X0運(yùn)動處理單元是世界上***個集成了9軸傳感器融合的運(yùn)動處理解決方案，它使用其現(xiàn)場驗(yàn)證和專有的MOTIONFusion引擎，用于手機(jī)和平板應(yīng)用、游戲控制器、運(yùn)動指針遙控器和其他消費(fèi)設(shè)備。MPU-60X0具有嵌入式三軸MEMS陀螺儀、三軸MEMS加速度計和數(shù)字運(yùn)動處理器（DMP）硬件加速器引擎，其具有與第三方數(shù)字傳感器（如磁強(qiáng)計）接口的輔助I2C端口。當(dāng)連接到一個3軸磁力儀，MPU-60X0提供一個完整的9軸MOTIONFION輸出到其主要的I2C或SPI端口（SPI*在MPU-6000上可用）。MPU-60X0將加速度和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動以及航向信息結(jié)合到一個單獨(dú)的應(yīng)用數(shù)據(jù)流中。與離散陀螺儀和加速度計解決方案相比，這種Motiocessing?技術(shù)集成提供了更小的占地面積和固有的成本優(yōu)勢。MPU-60X0也被設(shè)計成與多個非慣性數(shù)字傳感器（例如壓力傳感器）連接在其輔助設(shè)備上。I2C端口。MPU-60X0是第二代運(yùn)動處理器，與MPU-30X0系列兼容。MPU-60X0具有三個16位模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC），用于將陀螺儀輸出數(shù)字化，以及三個16位ADC，用于將加速度計輸出數(shù)字化。對于快速和慢速運(yùn)動的精確**，零件具有用戶可編程陀螺儀滿刻度范圍為±250°、±500°、±1000°/sec和±2000°/sec。遼寧口碑好mems芯片性價比高

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由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證、基礎(chǔ)科研中，儀器儀表都是必不可少的基礎(chǔ)技術(shù)和裝備重點(diǎn)，除傳統(tǒng)領(lǐng)域的需求外，新興的智能制造、離散自動化、生命科學(xué)、新能源、海洋工程、軌道交通等領(lǐng)域也會產(chǎn)生巨大需求。隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展，為微納代工，微流控器件，MEMS芯片設(shè)計加工，MEMS流片等產(chǎn)品的傳播提供了一個飛速的平臺。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務(wù)為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變，促進(jìn)了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合，推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。微納米芯片及相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā)、銷售并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)；銷售：電子材料、實(shí)驗(yàn)室耗材、無塵耗材、潔凈設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和儀表；提供上述產(chǎn)品的技術(shù)轉(zhuǎn)讓和服務(wù)，從事上述產(chǎn)品及技術(shù)的進(jìn)出口服務(wù)。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動）產(chǎn)品普遍運(yùn)用于工業(yè)、農(nóng)業(yè)、交通、科技、環(huán)保、**、文教衛(wèi)生、大家生活等各個領(lǐng)域，在旺盛市場需求的帶動下和我國宏觀調(diào)控政策的引導(dǎo)下，我國儀器儀表行業(yè)的發(fā)展有了長足的進(jìn)步空間。從加工廣義角度來說，儀器儀表也可具有自動操控、報警、信號傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能，例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動操控中的氣動調(diào)節(jié)儀表，和電動調(diào)節(jié)儀表，以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表。青海官方mems芯片質(zhì)量放心可靠

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