輪廓儀的功能: 廓測(cè)量?jī)x能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長(zhǎng)度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測(cè)量。測(cè)量效率高、操作簡(jiǎn)單、適用于車(chē)間檢測(cè)站或計(jì)量室使用。 白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 如果您想要了解更多的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um)。半導(dǎo)體輪廓儀樣機(jī)試用 表面三維微觀形貌測(cè)量的意義 ...
白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀 白光干涉3D顯微鏡: 干涉面成像, 多層垂直掃描 比較好高度測(cè)量精度:< 1nm 高度精度不受物鏡影響 性?xún)r(jià)比好 激光共聚焦3D顯微鏡: 點(diǎn)掃描合成面成像, 多層垂直掃描 Keyence(日本) 比較好高度測(cè)量精度:~10nm 高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍 90萬(wàn)-130萬(wàn) 三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測(cè)量,測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,臺(tái)...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表...
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人: 邁爾爾遜 1852-1931 美國(guó)物理學(xué)家 曾從事光速的精密測(cè)量工作 邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。 1881年,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度,折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。 他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作,進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de 存在,為愛(ài)因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ)。 由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。 NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。中芯國(guó)際輪廓儀推薦產(chǎn)品 新型...
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用: 晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。 白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。...
1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃 在完成系統(tǒng)布線(xiàn)并開(kāi)始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)***的認(rèn)識(shí)。 在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。 1.4. 培訓(xùn)形式 公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn); 向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料,使學(xué)員對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握; 針對(duì)系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng); 對(duì)學(xué)員提出的問(wèn)題進(jìn)行詳細(xì)解答; ...
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作...
滿(mǎn)足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作更簡(jiǎn)單,更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù) 個(gè)性化: 定制化客戶(hù)報(bào)告模式 更好用戶(hù)體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),個(gè)性化應(yīng)用軟件支持 1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線(xiàn)測(cè)量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),達(dá)到國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) 共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得...
2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在...
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作...
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共...
輪廓儀對(duì)精密加工的意義 現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車(chē)零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè),從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線(xiàn)粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用: NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共...
輪廓儀的技術(shù)原理 被測(cè)表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉 移相法(PSI) 高度和干涉相位 f = (2p/l ) 2 h 形貌高度: < 120nm 精度: < 1nm RMS重復(fù)性: 0.01nm 垂直掃描法 (VSI+CSI) 精度: ?/1000 干涉信號(hào)~光程差位置 形貌高度: nm-mm, 精度: >2nm 干涉測(cè)量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響 以下來(lái)自網(wǎng)絡(luò): 輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為...
隨著時(shí)代的發(fā)展,輪廓儀也越來(lái)重要了,不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過(guò)輪廓儀進(jìn)行檢測(cè),***就讓我們來(lái)了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng)。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)被放大和處理,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過(guò)濾原始表格的輪廓,分離表面并計(jì)算粗糙度分量,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào)。某個(gè)曲線(xiàn)的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo),或放大的實(shí)際輪廓曲線(xiàn)。測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出,也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工、汽...
滿(mǎn)足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作更簡(jiǎn)單,更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù) 個(gè)性化: 定制化客戶(hù)報(bào)告模式 更好用戶(hù)體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),個(gè)性化應(yīng)用軟件支持 1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線(xiàn)測(cè)量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),達(dá)到國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) 包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線(xiàn)...
輪廓儀的性能 測(cè)量模式 : 移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI) 樣 品 臺(tái) : 150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)(可選配) XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5° 可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái) CCD 相機(jī)像素: 標(biāo)配:1280×960 視場(chǎng)范圍: 560×750um(10×物鏡) 具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī) 光學(xué)系統(tǒng): 同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng) 光 源: 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表...
三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析: 表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),無(wú)論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供***的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù),可輕松獲取被測(cè)物件精確的線(xiàn)粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。 四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性: 儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別。 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,又提高了成品的出產(chǎn)效率,滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)各項(xiàng)2D,3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí),依然能夠保持高重復(fù)性,...
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作...
一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性: 通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。 二、提高效率: 智能化檢測(cè),全自動(dòng)測(cè)量,檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),**提高加工效率。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀。三維輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用 輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求? 答:輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車(chē)零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線(xiàn)的直線(xiàn)度等參數(shù)。總之,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車(chē)加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓...
1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃 在完成系統(tǒng)布線(xiàn)并開(kāi)始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對(duì)整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)***的認(rèn)識(shí)。 在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。 1.4. 培訓(xùn)形式 公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn); 向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料,使學(xué)員對(duì)系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握; 針對(duì)系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng); 對(duì)學(xué)員提出的問(wèn)題進(jìn)行詳細(xì)解答; ...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別: 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車(chē)零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線(xiàn)的直線(xiàn)度等參數(shù)??傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車(chē)加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,這樣既可以測(cè)量輪廓尺...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表...
輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括: 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等) 幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等) 白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿(mǎn)足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,...
輪廓儀產(chǎn)品概述: NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 想要了解更多的信息,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。 NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直...
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共...
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作...
輪廓的角度處理: 角度處理:兩直線(xiàn)夾角、直線(xiàn)與Y軸夾角、直線(xiàn)與X軸夾角點(diǎn)線(xiàn)處理:兩直線(xiàn)交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線(xiàn)距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線(xiàn)的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線(xiàn)到切點(diǎn)的距離線(xiàn)處理:直線(xiàn)度、凸度、LG凸度、對(duì)數(shù)曲線(xiàn) 。 白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。白光干涉輪廓儀有哪些應(yīng)用 NanoX-8000輪廓...