激光的出現(xiàn)在世界計(jì)量史上具有重大的意義。用穩(wěn)頻的氦氖激光器作為光源,由于它的相干長(zhǎng)度很大,干涉儀的測(cè)量范圍可以**的擴(kuò)展;而且由于它的光束發(fā)散角小,能量集中,因而它產(chǎn)生的干涉條紋可以用光電接收器接收,變?yōu)殡娪嵦?hào),并由計(jì)數(shù)器一個(gè)不漏的記錄下來(lái),從而提高了測(cè)量速度和測(cè)量精度,比如說(shuō)我國(guó)自行設(shè)計(jì)與制造的以氦氖激光器作為光源的光電光波比長(zhǎng)儀,可以在20分鐘之內(nèi)把1米線紋尺上1001條刻線依次自動(dòng)鑒定完畢,精度達(dá)到±0.2μm,這就是激光干涉儀的成功例證。光電探測(cè)器將光信號(hào)轉(zhuǎn)為電信號(hào),經(jīng)電路處理提取差頻變化量,然后通過(guò)相位比較或脈沖計(jì)數(shù)來(lái)計(jì)算位移。相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀性價(jià)比
(1)幾何精度檢測(cè) 可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,而且還能通過(guò)RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較好精度,另外操作者無(wú)需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。太倉(cāng)購(gòu)買雙頻激光干涉儀五星服務(wù)通過(guò)分析干涉條紋的變化,可以得到被測(cè)物體的位移信息。
雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展的一種外差式干涉儀。和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。雙頻激光干涉儀可以在恒溫,恒濕,防震的計(jì)量室內(nèi)檢定量塊,量桿,刻尺和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等。它既可以對(duì)幾十米的大量程進(jìn)行精密測(cè)量,也可以對(duì)手表零件等微小運(yùn)動(dòng)進(jìn)行精密測(cè)量,既可以對(duì)幾何量如長(zhǎng)度、角度.直線度、平行度、平面度、垂直度等進(jìn)行測(cè)量,也可以用于特殊場(chǎng)合,諸如半導(dǎo)體光刻技術(shù)的微定位和計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)器上記錄槽間距的測(cè)量等等。
基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì),通過(guò)對(duì)比被測(cè)平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測(cè)量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測(cè)量口徑:Φ60mm(典型型號(hào)) [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長(zhǎng)梯度 [11.光學(xué)制造:檢測(cè)平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測(cè):評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析常見的類型包括邁克爾遜干涉儀、法布里-佩涉儀和激光位移傳感器等。
邁克爾遜干涉儀(英文:Michelson interferometer)是光學(xué)干涉儀中最常見的一種,其發(fā)明者是美國(guó)物理學(xué)家阿爾伯特·亞伯拉罕·邁克爾遜。邁克耳遜干涉儀的原理是一束入射光經(jīng)過(guò)分光鏡分為兩束后各自被對(duì)應(yīng)的平面鏡反射回來(lái),因?yàn)檫@兩束光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定(即滿足干涉條件),所以能夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過(guò)調(diào)節(jié)干涉臂長(zhǎng)度以及改變介質(zhì)的折射率來(lái)實(shí)現(xiàn),從而能夠形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差的軌跡,因此,要分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣,必需求出相干光的光程差位置分布的函數(shù)。它通過(guò)將光束分成兩部分,分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣。蘇州購(gòu)買雙頻激光干涉儀維保
激光干涉儀廣泛應(yīng)用于精密測(cè)量、材料科學(xué)、光學(xué)研究、工程檢測(cè)等領(lǐng)域。相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀性價(jià)比
邁克爾遜干涉儀,是1881年美國(guó)物理學(xué)家邁克爾遜和莫雷合作,為研究“以太”漂移而設(shè)計(jì)制造出來(lái)的精密光學(xué)儀器。它是利用分振幅法產(chǎn)生雙光束以實(shí)現(xiàn)干涉。通過(guò)調(diào)整該干涉儀,可以產(chǎn)生等厚干涉條紋,也可以產(chǎn)生等傾干涉條紋。主要用于長(zhǎng)度和折射率的測(cè)量,若觀察到干涉條紋移動(dòng)一條,便是M2的動(dòng)臂移動(dòng)量為λ/2,等效于M1與M2之間的空氣膜厚度改變?chǔ)?2。在近代物理和近代計(jì)量技術(shù)中,如在光譜線精細(xì)結(jié)構(gòu)的研究和用光波標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)米尺等實(shí)驗(yàn)中都有著重要的應(yīng)用。利用該儀器的原理,研制出多種**干涉儀。 [1]相城區(qū)新款雙頻激光干涉儀性價(jià)比
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