4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉(cāng)、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，應(yīng)位于比較大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的極近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。4.1、5潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化。可鋪植草坪，不應(yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。檢測(cè)報(bào)告應(yīng)包括檢測(cè)結(jié)果、問(wèn)題分析、改進(jìn)措施及建議等內(nèi)容。山東實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)值得推薦

6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。6.2.2不同等級(jí)的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點(diǎn)，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動(dòng)送風(fēng)機(jī)，再啟動(dòng)回風(fēng)機(jī)和排風(fēng)機(jī)；關(guān)閉時(shí)聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負(fù)壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運(yùn)行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進(jìn)行凈化空調(diào)處理。河北實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)潔凈室檢測(cè)過(guò)程中，應(yīng)注重節(jié)能降耗，實(shí)現(xiàn)綠色生產(chǎn)。

3.壓差檢測(cè)：潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測(cè)通過(guò)對(duì)潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測(cè)量，確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求，從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測(cè)：潔凈室內(nèi)的氣流速度對(duì)于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過(guò)快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng)，而氣流速度過(guò)慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此，氣流速度檢測(cè)是評(píng)估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測(cè)：潔凈室內(nèi)的各種表面，如墻壁、地面、設(shè)備外殼等，也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測(cè)通過(guò)對(duì)這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測(cè)，評(píng)估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。

潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中，尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對(duì)無(wú)塵等級(jí)的要求比較高，因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級(jí)的水準(zhǔn)，隨便一?；覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損，甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無(wú)塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外，還分成正壓無(wú)塵室與負(fù)壓無(wú)塵室。一般正壓無(wú)塵室比較常見(jiàn)，就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力，這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。

B.1.2.2空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)規(guī)程將離散粒子計(jì)數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置，設(shè)定計(jì)數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣[1]，進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn)，將采樣口正對(duì)氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(cè)(例如非單向流)的采樣點(diǎn)，采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時(shí)，連接管的長(zhǎng)度和直徑不應(yīng)超過(guò)制造商的建議值。采樣過(guò)程中，因擴(kuò)散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。潔凈室檢測(cè)數(shù)據(jù)應(yīng)與其他質(zhì)量控制數(shù)據(jù)相結(jié)合，綜合分析。潔凈室檢測(cè)

按所需控制的空氣中懸浮微粒分類，可將潔凈室分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室。山東實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)值得推薦

B.3.3.3.3飛行時(shí)間粒徑測(cè)量大粒子的尺寸可用飛行時(shí)間儀來(lái)測(cè)量?？諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進(jìn)人一個(gè)局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測(cè)量在真空區(qū)進(jìn)行。空氣樣本中的所有粒子均在測(cè)量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測(cè)量點(diǎn)的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測(cè)定粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測(cè)量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計(jì)算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時(shí)間測(cè)定粒子速度。飛行時(shí)間儀可測(cè)量大到20μm粒子的空氣動(dòng)力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計(jì)數(shù)器相同。山東實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)值得推薦