手動(dòng)探針臺(tái)的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái),在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺(tái)將樣品待測(cè)試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測(cè)點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測(cè)點(diǎn)在顯微鏡視場(chǎng)中心。5.待測(cè)點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測(cè)點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測(cè)點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測(cè)點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,***則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測(cè)點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測(cè)試設(shè)備開始測(cè)試。半導(dǎo)體測(cè)驗(yàn)設(shè)備首要包含測(cè)機(jī)、探針臺(tái)和分選機(jī)。山東磁場(chǎng)探針臺(tái)
探針臺(tái)怎么選合適的配置,怎么確定精度?通常需要確定以下問題來確定探針臺(tái)的選型:8、是否會(huì)用到探針卡?9、光學(xué)顯微鏡的**小分辨率需要用到多少?10、顯微鏡方面,是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)?11、接駁的測(cè)試儀器接口有哪些?12、測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫?13、對(duì)chuck的漏電要求怎樣?是否需要添加低阻抗chuck?14、是否需要防震桌?15、若添置防震桌,是否有壓縮空氣?16、您的預(yù)算多少?項(xiàng)目計(jì)劃什么時(shí)候落實(shí)采購(gòu)?低阻測(cè)試探針臺(tái)規(guī)格探針臺(tái)行業(yè)品牌排行榜!
探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測(cè)試儀器/半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來測(cè)試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試??梢栽趯⒕A鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。
探針臺(tái)如何工作?探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上。
探針臺(tái)怎么選合適的配置,怎么確定精度?通常需要確定以下問題來確定探針臺(tái)的選型:1、比較大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件?2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高?3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的minipad,還是ic內(nèi)部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡(體式顯微鏡比較大倍率200倍)5、需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)?6、會(huì)測(cè)試到的比較大的電流、電壓值是多少(電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具)7、漏電精度需要達(dá)到多高?是否有射頻的需求?三軸管狀?yuàn)A具:100FA,同軸彈簧夾具:10PA(漏電精度:要求能測(cè)到的電流的量級(jí))。 半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)中,探針臺(tái)是我國(guó)目前能實(shí)現(xiàn)高國(guó)產(chǎn)化率的設(shè)備。探針臺(tái)加裝
探針臺(tái)如何來工作呢?山東磁場(chǎng)探針臺(tái)
探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外,晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī),測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能,探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接,通過探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用,可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試,可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。山東磁場(chǎng)探針臺(tái)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司坐落于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室,是集設(shè)計(jì)、開發(fā)、生產(chǎn)、銷售、售后服務(wù)于一體,儀器儀表的貿(mào)易型企業(yè)。公司在行業(yè)內(nèi)發(fā)展多年,持續(xù)為用戶提供整套拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器的解決方案。本公司主要從事拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器領(lǐng)域內(nèi)的拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等產(chǎn)品的研究開發(fā)。擁有一支研發(fā)能力強(qiáng)、成果豐碩的技術(shù)隊(duì)伍。公司先后與行業(yè)上游與下游企業(yè)建立了長(zhǎng)期合作的關(guān)系。愛特蒙特以符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品質(zhì)量為目標(biāo),并始終如一地堅(jiān)守這一原則,正是這種高標(biāo)準(zhǔn)的自我要求,產(chǎn)品獲得市場(chǎng)及消費(fèi)者的高度認(rèn)可。上海波銘科學(xué)儀器有限公司本著先做人,后做事,誠(chéng)信為本的態(tài)度,立志于為客戶提供拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器行業(yè)解決方案,節(jié)省客戶成本。歡迎新老客戶來電咨詢。