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探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)滾珠絲杠副和導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)x-y工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3 ℃,濕度≤70%,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過(guò)多,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過(guò)程中,從直線導(dǎo)軌的直線性,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性,定位精度等都是用專業(yè)的儀器儀表調(diào)整,用戶一般情況不能輕易改變,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來(lái)的狀態(tài),所以對(duì)需要調(diào)整的工作臺(tái)應(yīng)有專業(yè)生產(chǎn)廠家或經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的專業(yè)人員完成。探針臺(tái)的維護(hù)和保養(yǎng)。南昌定制探針臺(tái)
探針臺(tái)應(yīng)用手動(dòng)探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于,科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段 ,批量不是很大的情況,大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。主要功能:搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表,量測(cè)半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。用途:以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓、阻抗等)或工作狀態(tài),測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對(duì)于精密微?。{米級(jí))的微電子器件(如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector),表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析。浙江雙面點(diǎn)針探針臺(tái)探針臺(tái)應(yīng)用需求持續(xù)攀升,行業(yè)發(fā)展前景較好。
探針臺(tái)的各種應(yīng)用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片級(jí)可靠性,故障分析,設(shè)計(jì)驗(yàn)證,和大功率。滿足先進(jìn)半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)的要求,主要用于解決故障分析,設(shè)計(jì)驗(yàn)證,IC工程,晶圓級(jí)可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件測(cè)試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲,非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測(cè)量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測(cè)量。帶互鎖功能的安全光幕可通過(guò)互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器,從而保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門,并由互鎖保護(hù),以提供簡(jiǎn)便的初始測(cè)量設(shè)置。
探針臺(tái)由哪些部分組成?1.樣品臺(tái)(載物臺(tái))載物臺(tái)是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)根據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小,并配套了相應(yīng)的精密移動(dòng)定位功能??寺逯Z斯科技自主研發(fā)的超精密氣浮運(yùn)動(dòng)平臺(tái)就是作為定位晶圓或芯片的部件設(shè)備,重復(fù)定位精度達(dá)±50納米,可以依靠精密機(jī)械運(yùn)作在極短的曝光時(shí)間內(nèi)完美定位,完成晶圓在量測(cè)端的極精密的檢測(cè)。2.光學(xué)元件這個(gè)部件的作用是能夠從視覺(jué)上放大觀察待測(cè)物,以便精確地將探針前列對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。3.卡盤有一個(gè)非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來(lái)固定待測(cè)物,或使用真空來(lái)吸附晶圓。探針臺(tái)如何工作?探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開(kāi),然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。 探針臺(tái)chuck具備升降功能,便于樣品和探針的快速分離。
提到探針臺(tái),大家應(yīng)該會(huì)一頭霧水,不知道探針臺(tái)是干什么用的,下面就讓小編來(lái)給大家普及一下探針臺(tái)是干什么用的,供大家了解,希望能對(duì)大家有所幫助。探針臺(tái)可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針?lè)胖迷诠杈?,從而可以與測(cè)試儀器、半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)配合來(lái)測(cè)試芯片、半導(dǎo)體器件。這些測(cè)試可以很簡(jiǎn)單,例如連續(xù)性或隔離檢查。也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測(cè)試。可以在將晶圓鋸成單個(gè)管芯之前或之后進(jìn)行測(cè)試。在晶圓級(jí)別的測(cè)試允許制造商在生產(chǎn)過(guò)程中多次測(cè)試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測(cè)試管芯,這在封裝成本相對(duì)于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺(tái)還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并準(zhǔn)確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針頂端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針頂端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)。成都光電流測(cè)試探針臺(tái)
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。南昌定制探針臺(tái)
N系列探針臺(tái)是一款適用于4-12英寸晶圓的精密探針臺(tái)。該系列探針臺(tái)采用高剛性顯微鏡龍門設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。顯微鏡平移臺(tái)可進(jìn)行X-Y-Z方向精密位移調(diào)節(jié),顯微鏡放大倍率高,操作方便。同時(shí)支持多種功能的升級(jí),非常適合晶圓級(jí)的測(cè)試應(yīng)用。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路/芯片/MEMS器件/管芯晶圓/LED/LCD/太陽(yáng)能電池等行業(yè)的測(cè)試及研究領(lǐng)域。在科研單位和半導(dǎo)體工廠都得到了運(yùn)用。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):顯微鏡具備高剛性龍門支架且搭配氣動(dòng)升降,保證高質(zhì)量光學(xué)成像質(zhì)量??ūP同時(shí)具備快速和微調(diào)升降,便于樣品和探針快速分離,也可以加載探針卡??缮?jí)性強(qiáng),比較高可升級(jí)220G高頻,可集成光電流掃描成像或拉曼-瞬態(tài)熒光壽命成像系統(tǒng)等。南昌定制探針臺(tái)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司擁有上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛(ài)特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量?jī)x,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無(wú)憂,值得信賴.等多項(xiàng)業(yè)務(wù),主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)。誠(chéng)實(shí)、守信是對(duì)企業(yè)的經(jīng)營(yíng)要求,也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器。公司深耕拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器,正積蓄著更大的能量,向更廣闊的空間、更寬泛的領(lǐng)域拓展。