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半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)用戶

來源: 發(fā)布時間:2020-10-30

輪廓儀的**團(tuán)隊

夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才


15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗(yàn)


SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設(shè)備

唐壽鴻博士,國家千人****


25年 ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)


KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),***圖像處理、算法**

許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā)


10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical

Instrument)

光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)


岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,為您排憂解難。 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)用戶

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng), 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持


1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) 表面輪廓儀推薦型號共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn)。

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀?

一、準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備。

2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

二、測量

1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。


強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件


美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換


光機(jī)電一體化軟硬件集成


三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時更新


縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理


自主設(shè)定測量閾值,三維處理自動標(biāo)注


測量模式可根據(jù)需求自由切換


三維圖像支持高清打印


菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀


個性化軟件應(yīng)用支持

可進(jìn)行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù)


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光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)


岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。

輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用:

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性:

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率:

  智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點(diǎn),**提高加工效率。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強(qiáng),高重復(fù)性:

  儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,保證高重復(fù)性,將測量誤差降低到亞納米級別。 NanoX-8000 Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進(jìn)。重慶輪廓儀廠家

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)用戶

    輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng)。半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)用戶

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