隨著時(shí)代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測(cè)，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng)。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計(jì)算粗糙度分量，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào)。某個(gè)曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線。測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出，也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu)、大學(xué)、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室。在汽車，摩托車和制冷行業(yè)，它可以測(cè)量活塞，活塞銷，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞，可以測(cè)量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R，槽深，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對(duì)數(shù)曲線；電機(jī)軸，圓柱銷，活塞銷，滾針軸承，圓柱滾子軸承。測(cè)量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）。粗糙度儀輪廓儀可以免稅嗎

1.5. 系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項(xiàng)

    如何使用電子書閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊(cè)；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口、連接計(jì)算器、等待時(shí)間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；

    實(shí)際演示一一講解；

    如何做好備份和恢復(fù)備份資料；

    當(dāng)場(chǎng)演示各種報(bào)表的操作并進(jìn)行操作解說；

    數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時(shí)作備份，大變動(dòng)時(shí)更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時(shí)造成資料數(shù)據(jù)庫的流失；

    在系統(tǒng)培訓(xùn)過程中如要輸入一些臨時(shí)數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時(shí)刪除這些資料。

    備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請(qǐng)顧客詳細(xì)閱讀軟件操作手冊(cè)，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個(gè)人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢。 光學(xué)輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀。

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較小（以10X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量，檢測(cè)效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù)；

4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm，或者能夠測(cè)到更小的尺寸？

如果需要了解更多，請(qǐng)?jiān)L問官網(wǎng)。

白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像，

多層垂直掃描

比較好高度測(cè)量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價(jià)比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點(diǎn)掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測(cè)量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌，臺(tái)階高度，給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)） 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器，儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該電信號(hào)經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中，計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線，測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機(jī)輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：

封**ump測(cè)量  

視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題

由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。江蘇輪廓儀技術(shù)服務(wù)

具備異常報(bào)警，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存。粗糙度儀輪廓儀可以免稅嗎

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的，至于測(cè)量零件的表面輪廓 ，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓，因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo)，而輪廓儀主要是用來測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 粗糙度儀輪廓儀可以免稅嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營(yíng)范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場(chǎng)口碑。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì)、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念，全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。