NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

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基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸

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基板A Sold Mask粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

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基板A Trace 3D形貌和尺寸

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基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準

? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC

? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強，高重復(fù)性：

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性，將測量誤差降低到亞納米級別。

 三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對各項2D，3D參數(shù)檢測需求的同時，依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運行，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的。 ADE輪廓儀研發(fā)可以用嗎輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

    輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學輪廓儀的資訊，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術(shù)，不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng)。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級測量準確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗

糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加

工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便  

如何正確使用輪廓儀

準備工作

1.測量前準備。

2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

測量

1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析，標出結(jié)果，并保存、打印。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線

輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測。進口輪廓儀質(zhì)量怎么樣

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。四川輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度，給MEMS、半導體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料，光學元件、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)） 四川輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團隊。專業(yè)的團隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】，同時還建立了完善的售后服務(wù)體系，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。誠實、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求，也是我們做人的基本準則。公司致力于打造***的磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)。