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晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

來源: 發(fā)布時間:2020-03-06

1.3. 培訓計劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。

    在整個系統(tǒng)驗收前后,安排有關人員在進行培訓。


1.4. 培訓形式

    公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點;

    向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料,使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導,使相關人員掌握技術要領;

    對學員提出的問題進行詳細解答;




一般三坐標精度都在2-3um左右。晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

一、從根源保障物件成品的準確性:

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率:

智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。 集成電路輪廓儀服務為先NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。

輪廓的角度處理:  

角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線 。



白光輪廓儀的典型應用:

對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  


輪廓儀的技術原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度: ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術:快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響


以下來自網(wǎng)絡:

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。


表面三維評定參數(shù)由于能更***,更真實的反應零件表面的特征。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用:

一、從根源保障物件成品的準確性:

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率:

  智能化檢測,全自動測量,檢測時只需將物件放置在載物臺,然后在檢定軟件上選擇相關參數(shù),即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析:

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),無論加工的物件使用哪一種評定標準,都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù),可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。

四、穩(wěn)定性強,高重復性:

  儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計,不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合,保證高重復性,將測量誤差降低到亞納米級別。 NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。進口輪廓儀美元報價

擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)

XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配:1280×960

視場范圍

560×750um(10×物鏡)

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )

縱向分辨率 <0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm,1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復性 ≤0.1%,1σ

橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

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