輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊，請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先，樣本上必須有個(gè)小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術(shù)，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問我們官網(wǎng)。隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。福建輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

1.3. 培訓(xùn)計(jì)劃

    在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個(gè)系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等，讓甲方和業(yè)主對整個(gè)系統(tǒng)有一個(gè)***的認(rèn)識。

    在整個(gè)系統(tǒng)驗(yàn)收前后，安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。

1.4. 培訓(xùn)形式

    公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn)；

    向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計(jì)文件及圖紙等資料，使學(xué)員對系統(tǒng)的各個(gè)方面都能熟練掌握；

    針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo)，使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng)；

    對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答；

自動測量輪廓儀技術(shù)支持物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求。

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備。

2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

測量

1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析，標(biāo)出結(jié)果，并保存、打印。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）

10mm 精密電機(jī)拓展掃描

CCD相機(jī)： 1920x1200 高速相機(jī)（標(biāo)配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍(lán)色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺階高) 輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計(jì)量室使用。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

如果您想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測。Nano X-2000輪廓儀干涉測量應(yīng)用

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）。福建輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng)， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)  

個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 

更好用戶體驗(yàn)： 迅捷的售后服務(wù)，個(gè)性化應(yīng)用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn)，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率，準(zhǔn)確度高，穩(wěn)定性好。（網(wǎng)絡(luò)） 福建輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)***管理的追求。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新，追求出色，以技術(shù)為先導(dǎo)，以產(chǎn)品為平臺，以應(yīng)用為重點(diǎn)，以服務(wù)為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價(jià)值，提供更優(yōu)服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身，在風(fēng)云變化的時(shí)代，對自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。