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芯片隔振臺技術原理

來源: 發(fā)布時間:2021-06-18

使用說明書

解鎖系統(tǒng)后,將設備放置在平坦且堅固的桌子上或地下。

調整負載補償:

將負載放在**上面,并使用以下三個調整負載補償側面的車輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。

沿+方向旋轉輪子以增加負載補償方向旋轉車輪以減少負載補償

按下并檢查每個角是否有約0.5mm的自由移動。輕輕地上下拉頂板!

更改負載后,檢查每個角是否自由移動!

將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。

按下背面的電源按鈕打開設備“ POWER” LED將點亮,而“ ACTIVE” LED開始閃爍。

大約30秒鐘后,“活動” LED將保持點亮狀態(tài),并且系統(tǒng)現在可以使用了。

您可以通過按“啟用”按鈕來打開和關閉活動隔離。


LFS-3可以被復裝到現有的AVI/LP系統(tǒng)中。芯片隔振臺技術原理

傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器

設置并將電源連接到傳感器后,系統(tǒng)即可使用。

按下電源上的電源旋鈕,打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍,這意味著存在一些振動?,F在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了,那意味著系統(tǒng)超載,建筑物內的振動太嚴重。 原裝進口隔振臺可以免稅嗎AVI 200-XL的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式。

支撐面測試

在系統(tǒng)運行時,推動支撐表面。 燈不亮,除了可能會大力推動。 如果可以輕松使燈點亮,則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。 確定支撐表面是否起反應對水平或垂直力施加更大的作用,并嘗試適當地使結構變硬。請注意,該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行,但會產生共振的柔軟結構放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。



桌面選擇

桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元相對旋轉他們的長橫軸。 蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產生比較好的結果,但是可以使用石板甚至是實心木板。 對于的位置固定孔,請參閱本文檔末尾的鉆孔計劃。注意,也可以將隔離單元直接連接到支持的設備上。 在這堅固的安裝是***必要的。 我們很樂意為您提供比較好安裝建議方法。


Table Stable生產的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。


特點:

?通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。

?安裝時不需要參數調整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動狀態(tài)一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態(tài)。)

-加速度信號可以從外部輸出。

(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動對象正在正常工作。 振動分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠程測量頭的系統(tǒng),可輕松測量三個正交方向上的加速度,速度或位移。

TS-150

TS-150結合了久經考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計

TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS 150的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的**于載荷的自動高度調節(jié)機構即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”


頻率:0,7-1000 Hz

負載范圍:0-150公斤

尺寸 :400 x 450 x 78.5 毫米


TS-150結合了久經考驗的技術***性和優(yōu)雅且用戶友好的設計。TS 150的隔離頻率始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40db缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多。

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。TS 150的出色性能包括所有六個平移和旋轉振動模式精確的**于載荷的自動高度調節(jié)機構即使在載荷發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平。遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”用戶友好,實用的操作優(yōu)勢是創(chuàng)新建筑理念的結果。

TS-150的高度*為78.5毫米

TS-150的重量*為17.5千克 AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產環(huán)境。蔡司電子顯微鏡隔振臺有誰在用

先進的主動式隔振系統(tǒng)“TS 系列” 將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎。芯片隔振臺技術原理

TS-C

TS-C系列是緊湊的動態(tài)防振系統(tǒng),可隔離所有六個平移和旋轉振動模式。

這些價格適中的動態(tài)振動隔離系統(tǒng)在體積上卻比比較大,**昂貴的無源系統(tǒng)更好地實現了隔離。使用壓電力馬達的慣性反饋不僅可以隔離建筑物的振動,還可以隔離放置在系統(tǒng)本身上的振動源。例如,這意味著即使通過操作員的手施加了力,由系統(tǒng)隔離的精密顯微鏡也將保持靜止。


該系統(tǒng)的固有剛度比1Hz諧振無源隔離器的固有剛度大25倍,可提供出色的方向和位置穩(wěn)定性。

有源隔離系統(tǒng)的特性通常表現為幾乎沒有低頻共振,這種共振困擾著所有無源隔離系統(tǒng)。


該系統(tǒng)的設計即使在低至2-3

Hz的頻率下也能提供出色的隔離度,在該頻率下,許多建筑物由于繞垂直軸的振蕩而顯示出較大的水平振幅。隔離從大約0.7Hz開始,并迅速增加到至少10Hz以外的至少40 dB。 芯片隔振臺技術原理

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