NanoX-系列輪廓儀**性客戶
? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)
– 集成電路先進(jìn)封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯
半導(dǎo)體,華潤安盛等
? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)
– 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等
? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)
– 常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等
? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)
– 三星電機(jī)、京東方、深圳夏瑞科技等
具備 Global alignment & Unit alignment
自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm
XY運(yùn)動(dòng)速度 **快
如果有什么問題,請聯(lián)系我們。
包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。光電輪廓儀競爭力怎么樣
關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度
三坐標(biāo)測量機(jī)是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測量機(jī)精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 干涉儀輪廓儀售后服務(wù)支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC。
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?
答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時(shí),全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù);
4.測量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?
如果需要了解更多,請?jiān)L問官網(wǎng)。
比較大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,更進(jìn)一步減少總體成本。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸,寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件:urionNano30主動(dòng)式防震臺4微米,2微米,和100納米多臺階高度標(biāo)準(zhǔn)。晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。
輪廓儀在集成電路的應(yīng)用
封**ump測量
視場:72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測位置:樣品局部
面減薄表面粗糙度分析
封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析:2D, 3D顯示;線粗糙度分析:Ra, Ry,Rz,…
器件多層結(jié)構(gòu)臺階高 MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析
激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,**地縮
短了激光槽工藝在線檢測的時(shí)間,避免人工操作帶來的一致性,可靠性問題
歡迎咨詢。 NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。廣東輪廓儀技術(shù)服務(wù)
自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm。光電輪廓儀競爭力怎么樣
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:
邁爾爾遜
1852-1931
美國物理學(xué)家
曾從事光速的精密測量工作
邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn)。
1881年,他發(fā)明了一種用以測量微小長度,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。
他和美國物理學(xué)家莫雷合作,進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de 存在,為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ)。
由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。 光電輪廓儀競爭力怎么樣
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號第五層六十五部位,是一家磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì),以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,為用戶帶來良好體驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)創(chuàng)始人陳玲玲,始終關(guān)注客戶,創(chuàng)新科技,竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。