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1.前處理:晶圓清洗、去氧化層、活化表面。
2.裝載:將晶圓固定于旋轉(zhuǎn)載具,浸入鍍液。
3.電鍍:
施加電流,金屬離子在晶圓表面還原沉積。
旋轉(zhuǎn)載具確保鍍液流動(dòng)均勻,消除厚度差異。
4.后處理:鍍層退火、清洗、干燥。
1.高均勻性:
旋轉(zhuǎn)+噴淋設(shè)計(jì)減少“邊緣增厚”現(xiàn)象,鍍層均勻性達(dá)±5%以內(nèi)。
2.精密控制:電流密度精度:±1 mA/cm2;溫度波動(dòng):±0.5℃。
3.潔凈度保障:設(shè)備內(nèi)建HEPA過(guò)濾系統(tǒng),滿足Class 1000以下潔凈環(huán)境。
4.高效生產(chǎn):支持多片晶圓同時(shí)處理(如6片/批次),UPH(每小時(shí)產(chǎn)量)可達(dá)50~100片。
1.先進(jìn)封裝:2.5D/3D IC的TSV鍍銅、Fan-Out封裝中的RDL金屬化。
2.功率器件:IGBT、MOSFET背面金屬化(鍍銀、鍍鎳)。
3.傳感器與MEMS:微結(jié)構(gòu)表面鍍金,提升電氣性能與可靠性。 連續(xù)鍍生產(chǎn)線的導(dǎo)電輥鍍覆耐磨碳鎢涂層,降低鋼帶傳輸摩擦,避免劃傷與鍍層缺陷。連續(xù)電鍍?cè)O(shè)備發(fā)展
集氣罩:根據(jù)前處理設(shè)備形狀、廢氣散發(fā)特點(diǎn)定制,如槽邊側(cè)向集氣罩等,可高效收集廢氣,常見(jiàn)材質(zhì)有 PP 等耐腐蝕材料 。
通風(fēng)管道:多選用耐腐蝕的 PP 材質(zhì),用于連接抽風(fēng)設(shè)備各部件,將廢氣輸送至處理設(shè)備,其設(shè)計(jì)需考慮廢氣流量、阻力等因素 。
引風(fēng)機(jī):常安裝在輸送通道出風(fēng)口處,為廢氣的抽取和輸送提供動(dòng)力 ,可根據(jù)實(shí)際需求選擇不同規(guī)格和性能的引風(fēng)機(jī)。
此外,一些抽風(fēng)裝置還可能配備過(guò)濾處理箱、活性炭吸附網(wǎng)板等,用于對(duì)廢氣進(jìn)行初步過(guò)濾、吸附,減少大顆粒雜質(zhì)等對(duì)風(fēng)機(jī)的損害 。 湖南手動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備電鍍?cè)O(shè)備中的掛鍍裝置,通過(guò)掛具懸掛工件,適用于汽車零件等中大件,可實(shí)現(xiàn)鍍層均勻附著。
陽(yáng)極氧化線的典型應(yīng)用場(chǎng)景
1.鋁加工與建筑領(lǐng)域:
建筑鋁型材(門窗、幕墻)的陽(yáng)極氧化 + 染色,提升耐候性和美觀度。
鋁制家具、裝飾件(如拉手、面板)的表面處理。
2.電子與消費(fèi)品:3C 產(chǎn)品外殼(手機(jī)、筆記本電腦)的陽(yáng)極氧化著色,實(shí)現(xiàn)金屬質(zhì)感與輕量化(如蘋(píng)果 iPhone 的陽(yáng)極氧化工藝)。鋁電解電容器的陽(yáng)極箔氧化(形成絕緣膜)。
3.機(jī)械與航空航天:鋁合金零件的硬質(zhì)陽(yáng)極氧化(如航空發(fā)動(dòng)機(jī)葉片、液壓部件),增強(qiáng)耐磨和耐溫性(耐溫可達(dá) 150℃以上)。鈦合金醫(yī)用植入物的陽(yáng)極氧化,提升生物相容性。
4.汽車工業(yè):鋁合金輪轂、發(fā)動(dòng)機(jī)零件的陽(yáng)極氧化,兼顧防腐與散熱。汽車內(nèi)飾件(如換擋旋鈕、裝飾條)的裝飾性氧化處理。
與其他表面處理生產(chǎn)線的對(duì)比
對(duì)比項(xiàng) 陽(yáng)極氧化線 電鍍線 電泳線 涂層性質(zhì) 金屬氧化物(與基體一體) 外來(lái)金屬 / 合金鍍層 有機(jī)樹(shù)脂涂層(非金屬) 結(jié)合力 化學(xué)鍵結(jié)合(強(qiáng)) 機(jī)械 / 冶金結(jié)合 物理吸附 + 化學(xué)鍵結(jié)合 主要材料 鋁、鎂、鈦等輕金屬 鋼鐵、銅、塑料(導(dǎo)電化后) 金屬、塑料(導(dǎo)電化后) 功能性 側(cè)重防腐、耐磨、絕緣、裝飾 防腐、導(dǎo)電、貴金屬裝飾 防腐、絕緣、均勻覆蓋
是電鍍自動(dòng)化生產(chǎn)系統(tǒng)的控制單元,主要用于協(xié)調(diào)龍門機(jī)械手、電鍍槽、電源系統(tǒng)、液位/溫度傳感器等設(shè)備的運(yùn)行,確保電鍍工藝精細(xì)執(zhí)行。
特性說(shuō)明:主要電器采用西門子及三菱PLC、歐姆龍、富士電器等品牌,每一臺(tái)行車可自動(dòng)、半自動(dòng)轉(zhuǎn)換,開(kāi)放式自由程序選擇,智能控制管理,在電腦和人機(jī)界面觸摸屏對(duì)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)處理及進(jìn)行有效監(jiān)控,設(shè)計(jì)科學(xué)合理、緊湊、自動(dòng)化程度高;用于ABS塑料、汽車、五金、電子、衛(wèi)浴、燈飾家電等行業(yè) 安全防護(hù)設(shè)備包括防腐內(nèi)襯、漏電保護(hù)裝置及應(yīng)急沖洗設(shè)施,降低藥液泄漏與觸電風(fēng)險(xiǎn)。
電鍍滾鍍機(jī)與電鍍生產(chǎn)線的關(guān)系對(duì)比:滾鍍機(jī) vs 其他電鍍?cè)O(shè)備(在生產(chǎn)線中的差異)
對(duì)比項(xiàng) 滾鍍機(jī) 掛鍍?cè)O(shè)備 連續(xù)鍍?cè)O(shè)備(如鋼帶鍍) 適用工件 小尺寸、大批量 中大尺寸、精密件 連續(xù)帶狀或線狀工件銅線) 鍍層均勻性 良好(動(dòng)態(tài)翻滾減少屏蔽) 優(yōu)(單件懸掛,無(wú)遮擋 ) 高(勻速傳動(dòng),電解液穩(wěn)定) 產(chǎn)能 極高(單次處理數(shù)千件) 中(單件或小批量) 超高(連續(xù)生產(chǎn),24 小時(shí)不停機(jī))人工干預(yù) 低(滾筒自動(dòng)上下料) 高(需人工掛卸工件) 低(全自動(dòng)收放卷) 在生產(chǎn)線中的角色 小件批量處理設(shè)備 大件 / 精密件處理設(shè)備 連續(xù)材料處理設(shè)備 鍍銅設(shè)備的陽(yáng)極磷銅板定期活化處理,維持表面活性,穩(wěn)定銅離子濃度,保障鍍層沉積速率。四川手動(dòng)電鍍?cè)O(shè)備
脈沖電鍍電源設(shè)備通過(guò)周期性通斷電流,減少鍍層孔隙率,提升結(jié)晶細(xì)致度,適用于精密零件電鍍。連續(xù)電鍍?cè)O(shè)備發(fā)展
硫酸霧等酸性廢氣選酸霧凈化塔;低濃度有機(jī)廢氣用活性炭吸附裝置,中高濃度則考慮催化燃燒裝置;有顆粒物選布袋或靜電除塵器,混合廢氣需組合設(shè)備。
各設(shè)備處理率有別,處理量匹配電鍍規(guī)模,大生產(chǎn)線選大風(fēng)量設(shè)備,小廠選小風(fēng)量的。
涵蓋能耗、耗材及維護(hù)費(fèi),能耗低、耗材更換便宜、維護(hù)簡(jiǎn)單的設(shè)備更優(yōu)。場(chǎng)地有限選緊湊設(shè)備,處理易燃易爆廢氣的要防爆。操作管理上,選自動(dòng)化程度高的。
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