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來源: 發(fā)布時間:2025-03-06

甩干機的工作原理主要基于物理學中的離心力原理。當晶圓被置于甩干機的旋轉軸上,并以高速旋轉時,晶圓及其表面附著的水分、化學溶液等會受到向外的離心力作用。這個離心力的大小與旋轉速度的平方成正比,與旋轉半徑成正比。因此,隨著旋轉速度的增加,離心力也會急劇增大。具體來說,晶圓甩干機的工作原理可以分為以下幾個步驟:裝載晶圓:將待處理的晶圓放入甩干機的夾具中,確保晶圓固定穩(wěn)定。這一步驟至關重要,因為晶圓的穩(wěn)定性和固定性直接影響到甩干效果。加速旋轉:啟動甩干機,晶圓開始高速旋轉。通常,旋轉速度可以達到數(shù)千轉每分鐘(RPM),甚至更高。旋轉速度的選擇取決于晶圓的尺寸、材料以及所需的干燥效果。甩干過程:在高速旋轉下,晶圓表面的液體由于離心力的作用被甩離晶圓表面,飛向甩干機的內壁。同時,排水系統(tǒng)會將被甩離的水分和化學溶液等迅速排出設備外部。這一步驟是晶圓甩干機的Core  function 功能所在,通過離心力實現(xiàn)晶圓表面的快速干燥。減速停止:甩干過程完成后,甩干機逐漸減速直至停止。然后取出干燥的晶圓,進行后續(xù)的工藝流程。晶圓甩干機的創(chuàng)新設計不斷推動著半導體制造技術的進步。浙江碳化硅甩干機價格

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臥式甩干機基于離心力原理工作。當裝有晶圓的轉鼓開始高速旋轉時,晶圓表面殘留的液體(如清洗液、刻蝕液等)在離心力作用下被甩離晶圓表面。離心力的大小由轉鼓轉速和晶圓到旋轉中心的距離決定,根據(jù)公式2(其中是離心力,是液體質量,是角速度,是旋轉半徑),通過精確控制轉鼓轉速,可以產生足夠強大的離心力,使液體沿轉鼓切線方向甩出。在甩干過程中,除了離心力的直接作用,設備內部的通風系統(tǒng)也發(fā)揮關鍵作用。清潔、干燥的空氣被引入轉鼓內部,在晶圓表面形成氣流,加速液體的蒸發(fā)。同時,由于不同液體的揮發(fā)性不同,在離心力和氣流的共同作用下,揮發(fā)性較強的成分會更快地揮發(fā),使晶圓表面達到高度干燥狀態(tài)。浙江碳化硅甩干機價格雙工位甩干機不僅提高了洗衣效率,還提升了生活質量。

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半導體制造工藝復雜多樣,對設備的功能要求也越來越高,無錫凡華半導體生產的晶圓甩干機憑借其多功能集成的特點,滿足您的多樣需求。它不僅具備高效的甩干功能,還可根據(jù)客戶需求,集成清洗、烘干、檢測等多種功能,實現(xiàn)一站式加工。多種甩干模式可供選擇,適用于不同材質、尺寸的晶圓。設備還可與自動化生產線無縫對接,實現(xiàn)全自動化生產,提高生產效率和產品質量。選擇 無錫凡華半導體生產的晶圓甩干機,讓您的生產更加便捷、高效。

作為半導體制造重要設備,晶圓甩干機利用離心力快速干燥晶圓。當晶圓置于旋轉組件,電機啟動產生強大離心力,液體克服附著力從晶圓表面甩出。其結構設計精良,旋轉平臺平整度高,承載晶圓并保證其在高速旋轉時不偏移。驅動電機動力足且調速范圍廣,滿足不同工藝需求??刂葡到y(tǒng)操作簡便,可設定多種參數(shù)。在實際生產中,清洗后的晶圓經甩干機處理,有效避免因液體殘留引發(fā)的各種問題,如腐蝕、圖案變形等,確保后續(xù)工藝順利,提高生產效率與芯片良品率。使用單腔甩干機可以讓衣物更加柔軟、舒適,提升穿著體驗。

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每個半導體制造企業(yè)的生產需求都具有獨特性,臥式晶圓甩干機提供定制服務,為企業(yè)量身打造 適合的設備。專業(yè)的研發(fā)團隊會根據(jù)企業(yè)的晶圓材質、尺寸、生產工藝以及場地條件等因素,進行個性化的設計和配置。從設備的選型、結構設計到控制系統(tǒng)的定制,都充分考慮企業(yè)的實際需求。例如,對于空間有限的企業(yè),可設計緊湊的臥式結構;對于對甩干速度和精度要求極高的企業(yè),可配備高性能的電機和先進的控制系統(tǒng)。同時,還提供設備的安裝調試、培訓以及售后維護等一站式服務,確保設備能順利投入使用并長期穩(wěn)定運行,滿足企業(yè)的個性化生產需求。先進的晶圓甩干機能夠確保晶圓在高速旋轉過程中保持平穩(wěn),避免劃傷或破損。浙江離心甩干機設備

晶圓甩干機的設計充分考慮了靜電防護,以避免對晶圓造成潛在的損害。浙江碳化硅甩干機價格

晶圓甩干機應用領域:

半導體制造:在半導體芯片制造過程中,晶圓經過光刻、蝕刻、清洗等工藝后,需要使用晶圓甩干機進行快速干燥,以避免晶圓表面的水分和雜質對后續(xù)工藝造成影響,提高芯片的成品率和性能。

光電器件制造:如發(fā)光二極管(LED)、激光二極管(LD)、光電探測器等光電器件的生產中,晶圓甩干機用于清洗和干燥晶圓,確保光電器件的光學性能和穩(wěn)定性。

傳感器制造:在壓力傳感器、溫度傳感器、加速度傳感器等傳感器的制造過程中,晶圓甩干機可對晶圓進行清洗和干燥處理,保證傳感器的精度和可靠性。 浙江碳化硅甩干機價格