氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當(dāng)真空度P1優(yōu)于200Pa時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當(dāng)P1降至20Pa時,入口閥2關(guān)閉,入口閥3打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)被檢工件的不同它所使用的檢漏方法也是不同的。自動氦檢儀價錢
氦檢儀在使用過程中,較常見的故障就是燈絲脆斷,氦檢儀燈絲多采用鎢錸合金絲制作。氦檢儀燈絲壽命如何延長?造成氦檢儀燈絲脆斷的原因:1.真空度低;2.燈絲電流過大;3.對燈絲有害的氣體氣壓太高(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。那么,在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長時間開啟,或者說盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長氦檢儀的燈絲壽命。如:1.使用中盡量將預(yù)置真空開關(guān)空擋;2.避免電離室泄入有害氣體(氧化性氣體、水蒸氣、氫氣)。臺式氦檢設(shè)備特點氦檢儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。
氦檢儀在壓力容器中的常用方法:噴氦法,噴氦法是常用,比較方便的檢漏方法。檢漏時,用連接在裝有氦氣的氣瓶上的噴頭向懷疑有漏泄的部位噴氦氣,如果有氦氣從漏孔中流入壓力容器裝置,則裝置內(nèi)的氦分壓就會上升,氦氦檢儀上就會顯示有泄漏率。是否合格要看標(biāo)準(zhǔn)漏率值是定在多少,超過標(biāo)準(zhǔn)漏率值的可視為不合格。氦罩法,這種方法使用一個檢漏罩(塑料薄膜等)把被檢容器包起來,先排除罩內(nèi)空氣,然后充入氦氣或氦氣的混合氣體,氦檢儀與被檢容器內(nèi)部連接,當(dāng)氦檢儀有漏率顯示時,說明有泄漏。這個漏率稱為總漏率。總漏率為各個分漏率之和;總漏率不超標(biāo)準(zhǔn)值,則各個分漏率也不超標(biāo)準(zhǔn)值;總漏率超過標(biāo)準(zhǔn)值,則檢查各個點的分漏率是否超過標(biāo)準(zhǔn)值。然后再對超過標(biāo)準(zhǔn)值的漏孔進行修補,直至達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn)為止。
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時經(jīng)過校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實際使用時其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實際情況靈活運用。如較簡單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時間后,氦檢儀即可發(fā)出信號。不同型號的氦檢儀其真空系統(tǒng)有較大的差別。
影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的因素:1、受到檢測壓力的影響,泄漏率對測試壓力的依賴性,對不同的測量條件是不同的。一般而言,對于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時,試驗壓力對泄漏率的影響較大,而對于多孔性較低時則影響較小。另外,隨測試壓力的增高,還會帶來諸如溫度影響,所需穩(wěn)定時間加長等一系列問題。因此,建議對特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進行泄漏檢測,然后選擇一個滿足測試要求的較低的壓力確定為它的測試壓力。2、受到檢測容積的影響,在一個特定的泄漏率值里,如果檢測容積增大的話,那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低,因而測量時間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下,如果不想方設(shè)法減少測量容積,那么可能會無法達(dá)到測量需要的精確度和靈敏度。氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護?自動氦檢儀價錢
氦檢儀為氣體工業(yè)名詞術(shù)語,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。自動氦檢儀價錢
氦檢儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用:無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點。光無源器件對密封性的要求極高,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進行泄漏檢測。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應(yīng)用于光無源器件的檢漏。光無源器件檢漏方法:由于無源器件體積小,且無法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無源器件放入真空保壓罐,壓力和時間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2.取出無源器件,使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣。3.將無源器件放入真空測試罐,測試罐連接氦檢儀。4.啟動氦檢儀,開始檢漏。自動氦檢儀價錢
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