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分體式氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

來源: 發(fā)布時間:2022-07-10

氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理,以氦氣作為檢漏儀器。質(zhì)譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質(zhì)譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內(nèi)來回振蕩,與室內(nèi)氣體碰撞,氦氣泄漏進入室內(nèi),電離成正離子,正離子在加速電場的作用下進入人體磁場,當洛倫茲力效應偏轉(zhuǎn)時,電弧形成,加速電壓的變化使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。只有經(jīng)過培訓或有資格的設備維護工程師,才能使用氦質(zhì)譜檢漏儀。分體式氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

氦質(zhì)譜檢漏儀常見的檢漏法:1、負壓法檢漏,負壓法檢漏是將被檢件接到檢漏儀的檢測口,連續(xù)向可疑的漏孔噴射示蹤氣體,示蹤氣體通過漏孔進入檢漏儀并被檢測。一般電子器件的外殼、高壓開關管、氧化鋅、避雷器等都應采用這種方法檢漏。2、正壓法檢漏,正壓法檢漏與負壓法檢漏相反,吸口接在檢漏儀的檢測口,而被檢件充入規(guī)定壓力的示蹤氣體,漏孔泄漏出來氦氣被吸入檢漏儀被檢測。大型容器或內(nèi)部放氣管量很大的容器做負壓檢漏很不經(jīng)濟,而且檢漏速度慢,一般采取正壓檢漏。3、壓氦法檢漏,壓氦法檢漏是將壓有一定壓力的示蹤氣體的被檢件放入檢漏夾具中,然后連至檢漏儀將其抽空,示蹤氣體通過漏孔泄漏出來,經(jīng)檢漏儀檢測總泄漏量。溫州移動式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理氦質(zhì)譜檢漏儀在校準靈敏度時,標準漏孔的位置不同于被檢漏孔的位置。

氦質(zhì)譜檢漏儀可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏,提供了有利條件。5.檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的檢漏儀,質(zhì)量范圍很寬,不但可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準的泄漏量比較,可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質(zhì)譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高,用得比較普遍的檢漏儀器。

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時主要考慮以下問題:(1)如果被檢對象不固定,體積時大時小,靈敏度要求時高時低,就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。(2)如果檢漏地點不固定,需要經(jīng)常搬運儀器時,就要選擇小型便攜式儀器。(3)在滿足上述檢漏基本要求的基礎上,還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。使用時,注意觀察儀器的運行情況,一旦發(fā)現(xiàn)問題(如較大振動、高噪音等),儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。馬上切斷電源,并排除故障。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀適用于元件精確檢漏的要求,靈活性測試,高靈敏度,快速于精確的結(jié)果,快速啟動,移動性和系統(tǒng)的可靠性。常見的氦質(zhì)譜檢漏儀檢測儀方法有漏點型、漏率型兩種。氦質(zhì)譜檢漏方法是基于氦質(zhì)譜檢漏儀的氦分壓測量原理。當樣品的密封面發(fā)生泄漏時,氦和其他元件的泄漏氣體會從泄漏孔中泄漏出來。當泄漏氣體進入氦質(zhì)譜泄漏檢測器后,由于氦質(zhì)譜泄漏檢測器具有選擇性識別能力,因此只給出氣體中氦的分壓信號。在獲得氦氣信號值的基礎上,通過標準的泄漏量比較,可以得到氦氣的泄漏量。氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應性以及無破壞性,使其普遍應用。溫州移動式氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀在管道檢測方面有兩種檢測方法,負壓法和正壓法。分體式氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

檢漏儀的維護保養(yǎng)常識:適當?shù)木S護您的檢漏儀是非常必要的,具體步驟如下:1、探頭清潔:利用附送的防護罩防止灰塵、水汽、油脂阻塞探頭,在使用本儀器前,均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。2、拉下防護罩;3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護罩;4、如果探頭本身也臟,可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘,然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔,嚴禁用像汽油、松節(jié)油、礦物油等溶劑,這樣易降低儀器靈敏度。5、探頭更換:探頭用久了總要失效,需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關,因此較難預計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時,應更換探頭。分體式氦質(zhì)譜檢漏儀技術指導

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