氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(消除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示才能達到較大值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應時間。3、啟動時間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。要注意使用的環(huán)境。標準漏孔的生產(chǎn)、檢測，都是在20-25℃的室溫下進行。尤其有些標準漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標準漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達到30℃，這種標準漏孔的漏率誤差增加30%。噴氦法、吸氦法是在氦質(zhì)譜檢漏儀中常用的兩種方法。溫州無損氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀背壓法原理：采用背壓法檢漏時，首先將被檢產(chǎn)品置于高壓的氦氣室中，浸泡數(shù)小時或數(shù)天，如果被檢產(chǎn)品表面有漏孔，氦氣便通過漏孔壓入被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔中，使內(nèi)部密封腔中氦分壓力上升。然后取出被檢產(chǎn)品，將表面的殘余氦氣吹除后再將被檢產(chǎn)品放入與檢漏儀相連的真空容器內(nèi)，被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封腔內(nèi)的氦氣會通過漏孔泄漏到真空容器，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率測量。檢漏儀給出的漏率值為測量漏率，需要通過換算公式計算出被檢產(chǎn)品的等效標準漏率。背壓法的優(yōu)點是檢測靈敏度高，能實現(xiàn)小型密封容器產(chǎn)品的泄漏檢測，可以進行批量化檢測。金華全自動氦質(zhì)譜檢漏儀特點氦質(zhì)譜檢漏儀維護保養(yǎng)方法：機械泵維護，檢查機械泵油量，如低于較低標線則添加泵油。

氦質(zhì)譜檢漏儀應該如何選擇？1、儀器的功能能滿足檢漏的要求。如有些儀器沒有逆流檢漏功能，就不適合吸口法檢漏；有些儀器沒有報廢漏率的設(shè)置功能，不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，此時應選擇有雙工位的檢漏儀。2、儀器的靈敏度能滿足檢漏的要求。國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認真選擇。3、被檢件如果害怕油的污染，就應選擇無油真空系統(tǒng)的檢漏儀。4、被檢件容積如果較大，必須選用抽泵抽速大的檢漏儀，否則就要外加預抽泵。5、如果被檢對對象不固定，體積時大時小，靈敏度要求時高時低時，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。6、如果檢漏地點不固定，需要經(jīng)常搬運儀器時，就要選擇小型便攜式儀器。7、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價格是否低、操作是否簡易、維修是否方便等方面的問題。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點集中在以下幾個方面:(1)便攜性:許多小型便攜式檢漏儀不只靈敏度高，而且便于攜帶，為野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了極大的便利。(2)高壓強下檢漏:檢漏口的壓力可高達數(shù)百帕，對于檢測大系統(tǒng)和泄漏工件非常有用。(3)高度自動化：氦峰自動標定，零點自動調(diào)整，量程自動轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)自動處理，可外接打印機。全機由微電腦控制，具有選菜功能，一鍵完成全檢漏過程。(4)完全無油的干式檢漏:一些國家生產(chǎn)的檢漏儀可以采用干式泵，達到無油蒸汽的效果，為無油系統(tǒng)、晶片等半導體器件的檢漏提供了有利條件。為適應檢漏口壓力的變化和對靈敏度的不同要求，分子泵一般采用多段結(jié)構(gòu)，多速。如果改變分子泵的轉(zhuǎn)速，可以達到這個目的，提高檢漏靈敏度。此外，反擴散檢漏方法實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸口檢漏提供了良好的條件。氦質(zhì)譜檢漏儀需根據(jù)設(shè)備的使用頻率、被測品工藝要求定期使用標準漏孔對設(shè)備自身進行校準。

氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法：吸口法，被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸口的氣體采集器。當試件有漏時，泄漏的氦氣被吸口吸入檢漏儀，而被檢測。吸口在試件表面移動，同時注視檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸口所指位置即漏點所在。因此吸口法也是能確定漏孔的檢漏方法。鐘罩法，測總漏率，將被檢件與儀器檢漏口聯(lián)接抽真空，在被檢件外面罩以充滿氦氣的容器，如被檢件有漏孔，氦氣便由漏孔進入被檢件，終達到質(zhì)譜管被檢測。所測漏率是被檢件的總漏率，不能確定有幾個泄漏點和每個漏點的準確位置?？梢钥闯鲧娬址ㄊ腔趪姶捣ǖ囊环N檢漏方法。氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。浙江智能氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦

選擇氦質(zhì)譜檢漏儀時靈敏度要能滿足檢漏的要求，國內(nèi)外生產(chǎn)的不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度是不一樣的。溫州無損氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦質(zhì)譜檢漏儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。性能穩(wěn)定可靠。不但靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準和自動量程切換。溫州無損氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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