氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)參數(shù)：可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-12Pa·m3/s；啟動(dòng)時(shí)間：≤5min；響應(yīng)時(shí)間：<2S；檢漏口壓力：300Pa；極限真空：5×10-4Pa；外形尺寸：560（W）×420（D）×300（H）；重量：46KG。優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：1.采用便攜式設(shè)計(jì)；2.設(shè)備外型美觀小巧；3.采用液晶觸摸屏設(shè)計(jì)；4.有通訊接口；5.可以方便地將檢漏數(shù)據(jù)輸出。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對(duì)濕度：<80%；供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣?20V±10%，50Hz；工作電流：10A。氦質(zhì)譜檢漏儀，顧名思義一般都會(huì)采用氦氣作為主要的示漏氣體。蕪湖臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不但可檢測(cè)氦氣，而且能檢測(cè)其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴(kuò)散泵排氣系統(tǒng)，不但解決了油蒸氣對(duì)質(zhì)譜室的污染問(wèn)題，而且對(duì)快速啟動(dòng)儀器和快速停機(jī)做出了很大貢獻(xiàn)。為適應(yīng)檢漏口壓強(qiáng)的變化和對(duì)靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級(jí)構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。例如可通過(guò)采用改變分子泵轉(zhuǎn)速來(lái)達(dá)到此目的，且提高檢漏靈敏度。另外，逆擴(kuò)散檢漏方式，實(shí)現(xiàn)了高壓強(qiáng)下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了良好的條件。氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)在已經(jīng)滲透到航空航天、新能源、電子器件、閥門、電力、核電、制冷、家電等行業(yè)。溫州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦質(zhì)譜檢漏儀是基于質(zhì)譜法原理，以氦氣作為檢漏儀器。

氦質(zhì)譜檢漏儀雖然是因?yàn)檫x用氦氣作為示漏氣體而得名，但實(shí)際上涉及的示漏氣體包括氦氣、氫氣等，主要的是氦氣。而之所以選擇氦氣作為主要的示漏氣體，原因主要有以下幾點(diǎn)：1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過(guò)漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時(shí)流動(dòng)和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點(diǎn)的磁場(chǎng)。同時(shí)一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對(duì)分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過(guò)的各個(gè)縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時(shí)本底信號(hào)小。

氦質(zhì)譜檢漏儀的應(yīng)用范圍：在一般工業(yè)領(lǐng)域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問(wèn)題。氦質(zhì)譜檢漏儀的功能特點(diǎn)：1、支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏。2、自動(dòng)跟蹤本底，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果。3、優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)。4、高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確?？焖偾搴?。5、支持氮?dú)馄瓶眨皇墉h(huán)境氦氣干擾，快速降低本底。6、機(jī)器的性能支持長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試。7、機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí)，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源：一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同，即，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大，漏入氦氣在途中損失不相等，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。五、校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí)，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。溫州模塊式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)

使用氦質(zhì)譜檢漏儀的要求有哪些？蕪湖臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(yīng)(消除)時(shí)間：指一定流量的探索氣體進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應(yīng)時(shí)間，漏率指示才能達(dá)到較大值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時(shí)間的下降過(guò)程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時(shí)間稍長(zhǎng)于響應(yīng)時(shí)間。3、啟動(dòng)時(shí)間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進(jìn)行檢漏的時(shí)間。要注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測(cè)，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對(duì)溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。蕪湖臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀

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