氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點，是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高，用得比較多的檢漏儀器。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點.適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點。上海真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預抽真空，當真空度達到規(guī)定壓力后，再進入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進行保養(yǎng)維護，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導致設(shè)備使用壽命縮短。全自動氦檢設(shè)備生產(chǎn)廠家敏度、反應時間、消除時間、極限真空度及儀器入口處抽速是評價氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標。

氦質(zhì)譜檢漏儀因具備檢測靈敏度高、反應速度快、定位定量準確等優(yōu)點而被普遍應用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。檢漏儀在使用過程中，往往會因為產(chǎn)生的一些故障或是現(xiàn)象，而影響檢漏工作的正常進度，若對其置之不理還會危及檢漏儀的使用壽命。其中的有些故障或現(xiàn)象是使用者能夠及時解決或避免的，掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標：1、可檢漏率：即氦質(zhì)譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(消除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質(zhì)譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示才能達到固定值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應時間。3、啟動時間：指氦質(zhì)譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。氦質(zhì)譜檢漏儀以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面。氦質(zhì)譜檢漏儀在運行過程中不能移動。

氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)點體現(xiàn)在以下幾個方面：（1）便攜式：很多小型便攜式檢漏儀不但靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。（3）自動化程度高：自動校準氦峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單選擇功能，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進行自身檢漏。全自動氦檢設(shè)備生產(chǎn)廠家

掌握和了解氦質(zhì)譜檢漏儀常見故障的維修技術(shù)，有利于檢漏工作的順利開展以及設(shè)備的保養(yǎng)。上海真空氦檢儀

氦質(zhì)譜檢漏儀換燈絲步驟：當冷規(guī)指針已過1×10-2Pa，按燈絲啟動，燈很亮，發(fā)射電流無指示，量離子源插頭①②足不通，即為燈絲斷，燈絲壽命一般正常使用為1至3個月。1、停機換燈絲：可直接取下離子源更換燈絲，裝好后按正常開機步驟進行。2、不停機換燈絲：關(guān)冷規(guī)，關(guān)抽速閥，取離子源插頭，取下離子源，更換燈絲后裝上離子源，插離子源插頭，此時“加速電壓”示值不應有變化，“發(fā)射電流”示值應為零。如其中有一示值與上不符，則是離子源內(nèi)有短路，應取下排除。將閥開關(guān)由“前置”轉(zhuǎn)向“粗抽”(注意：閥開關(guān)在“粗抽”的時間不要超過五分鐘)，全開節(jié)流閥，等真空抽上后，關(guān)閉節(jié)流閥，將“粗抽”轉(zhuǎn)向“前置”，開抽速閥，開冷規(guī)，等真空過1×10-2Pa后可啟動燈絲，調(diào)氦峰。上海真空氦檢儀

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