氦質譜檢漏儀是180°磁偏轉型的質譜分析計，其基本原理是根據離子在磁場中運動時，不同質荷比的離子具有不同的偏轉半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空，當真空度P1優(yōu)于200Pa時，打開入口閥1、2，關閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質譜室中被檢測出來，此時檢漏儀的可檢漏率為10-10Pa·m3/s。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空，當P1降至20Pa時，入口閥2關閉，入口閥3打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應時間縮短，此時檢漏儀的可檢漏率為10-12Pa·m3/s。利用氦質譜檢漏儀的真空規(guī)可以測定儀器的極限真空和工作真空。滁州妤林氦檢機技術指導

氦質譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質譜檢漏儀可以對具有內腔的微電子或半導體器件封裝的氣密性進行細檢漏。此檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質量數小重量輕并且有滲透能力強的優(yōu)點，達到了細檢漏的目的。蘇州真空氦檢儀為防止油污、粉塵和雜物進入氦質譜檢漏儀，應在氦質譜檢漏儀下方設置過濾器。

全自動氦質譜檢漏儀的明顯優(yōu)點：1、操作簡便：全自動氦質譜檢漏儀結合簡捷的雙鍵操作功能及內置智能化系統(tǒng)可以提供簡單但強大的測試性能。2、功能強大：適用于各種檢漏方法，優(yōu)化設計的質譜室及真空系統(tǒng)功能強大，能適合各種檢漏方法的要求，以滿足各種各樣的檢漏應用。3、配置齊全：多種系統(tǒng)配置，多種可選件，可以靈活地組成各種各樣的系統(tǒng)配置。4、堅固耐用：在堅固耐用方面的革新設計，使得全自動氦質譜檢漏儀能適應各種惡劣的工業(yè)環(huán)境。適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達10-12Pam3/s。

氦質譜檢漏儀的主要性能指標：1、可檢漏率：即氦質譜檢漏儀所能檢出的漏孔的漏率。2、響應(消除)時間：指一定流量的探索氣體進入氦質譜檢漏儀后，電子和真空系統(tǒng)需要一定的響應時間，漏率指示才能達到固定值；反之，停止供氣后，漏率指示不能立即回零，需要一定時間的下降過程，通常由于氦氣的吸附和脫附作用，消除時間稍長于響應時間。3、啟動時間：指氦質譜檢漏儀自接通電源到能進行檢漏的時間。氦質譜檢漏儀以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。影響氦質譜檢漏儀靈敏度的因素包括實際檢測條件、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術等多方面。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。

氦質譜檢漏儀原理：氦質譜檢漏儀是基于質譜法原理，以氦氣作為檢漏的儀器。質譜儀由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離計、氣體萃取系統(tǒng)和電氣部分組成。質譜法室中燈絲發(fā)射的電子在室內來回振蕩，與室內氣體碰撞，氦氣泄漏進入室內，電離成正離子，正離子在加速電場的作用下進入人體磁場，當洛倫茲力效應偏轉時，電弧形成，加速電壓的變化使不同質量的離子通過磁場和接收槽到達接收極而被探測到。氦氣噴射法和氦氣吸收法是電阻爐氦質譜檢漏儀常用的兩種檢漏方法。氦質譜檢漏儀正朝著高靈敏度、便攜式、自動化、寬量程、無油系統(tǒng)等先進方向發(fā)展。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。蘇州真空氦檢儀

氦質譜檢漏儀應用領域：學?？蒲袉挝弧⒄婵罩圃臁⒄婵斟兡?、航空航天等。滁州妤林氦檢機技術指導

隨著儀器儀表和計算機的完美結合，為了更好的滿足人們對精神世界的需求，體驗多維世界給人們帶來的**，儀器儀表的虛擬化開始發(fā)展。身臨其境接受客觀實物，給美又增添了一絲創(chuàng)意。在計算機和互聯(lián)網的急速發(fā)展到整個世界的背景下，儀器儀表也開始向網絡化突進，結合新的科技設備，通過廣域網和局域網直接操控儀器儀表，對公司的管理，經營一體化，應用模式的分析等各大方面產生影響。有限責任公司（自然）企業(yè)通過網絡這個平臺與客戶直接的交流，突破了世界和空間的限制，行家遠程操控對儀器儀表進行維護和分析。高科技的產品也隨之而來。氦氣檢漏儀，氦氣回收系統(tǒng)，檢漏儀，氦檢儀產業(yè)是國民經濟的基礎性、戰(zhàn)略性產業(yè)，是信息化和工業(yè)化深度融合的源頭，對促進工業(yè)轉型升級、發(fā)展戰(zhàn)略性新興產業(yè)、推動現(xiàn)代**建設、保證和提高大家生活水平具有重要作用。我們必須承認，在科學儀器上，我們跟其他地區(qū)相比，還有很大的差距。這個差距，就是我們提升的空間。合相關部門、大學和企業(yè)之力，中國的生產型必將在不遠的將來，在相關領域的基礎研究和重點光學部件研發(fā)上取得突破，產品進入世界中**水平，企業(yè)得到臺階式上升，迎頭趕上，與全球出名企業(yè)并駕齊驅。滁州妤林氦檢機技術指導

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