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極測精密溫控，為光刻機打造極限穩(wěn)定工作環(huán)境
光刻機作為芯片制造的關鍵設備，其工作環(huán)境的任何細微變化都可能對芯片制造的精度與質量產生深遠影響。其中，精密溫控成為保障光刻機穩(wěn)定、高效運行的關鍵要素。南京拓展科技旗下企業(yè)，極測（南京）技術有限公司憑借強大的研發(fā)實力，推出的精密環(huán)控設備，以其蕞高±0.002℃高精密溫度控制和可實現(xiàn)十級潔凈度的強大能力，成為光刻機的理想搭檔。目前已擁有結合全場景非標定制能力，可滿足用戶不同環(huán)境參數(shù)及使用需求，比如溫濕度穩(wěn)定性、潔凈度，抗微振、防磁、隔音等不同個性化需求?，F(xiàn)已服務多家全球半導體、通信設備、顯示面板排頭企業(yè)與國家重點實驗室，應用于眾多科研與生產場景。
光刻機工作對環(huán)境的嚴苛要求光刻機的工作原理基于高精度的光刻技術，通過將電路圖案投影到硅片上，實現(xiàn)芯片的制造。在這一過程中，溫度的微小波動都可能導致光刻機光學系統(tǒng)的熱脹冷縮，進而影響光刻精度，使芯片的線路出現(xiàn)偏差，降低芯片的良品率。因此，為光刻機營造一個穩(wěn)定、精zhun的溫度環(huán)境至關重要。
極測精密溫控設備的關鍵作用
其高達 ±0.002℃的高精密溫度控制，能夠有效抑制溫度波動對光刻機的影響。且溫度水平均勻性小于 16mK/m。這種高標準的溫度控制精度，為光刻機的光學系統(tǒng)提供了恒定的溫度環(huán)境，極大地提升了光刻過程的穩(wěn)定性與準確性，實現(xiàn)0.1% 的控制輸出精度。 同時，該設備內部濕度穩(wěn)定性可達 ±0.5%@8h，避免了因濕度變化導致的光刻機零部件腐蝕和光學鏡片結霧等問題。在潔凈度方面，系統(tǒng)可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內部潔凈度蕞高可優(yōu)于 ISO class3（設備工作區(qū)），有效防止微小塵埃顆粒對光刻過程的干擾，確保光刻機在超凈環(huán)境中穩(wěn)定運行。
數(shù)據(jù)記錄與智能功能助力生產管理
極測精密溫控設備具備強大的數(shù)據(jù)實時記錄查詢功能。設備運行過程中的溫度、濕度等關鍵數(shù)據(jù)自動生成曲線，方便操作人員直觀了解環(huán)境參數(shù)的變化趨勢。數(shù)據(jù)自動保存并可隨時以表格形式導出，同時設備的運行狀態(tài)、故障狀態(tài)等事件同步記錄，為企業(yè)的生產管理和質量追溯提供了詳實的數(shù)據(jù)支持。一旦出現(xiàn)異常情況，自動安全保護系統(tǒng)立即啟動，故障自動保護程序確保設備全天候無憂運行，并可通過遠程協(xié)助進行故障處理，蕞大程度減少因設備故障導致的生產停滯。
便捷設計與靜音運行優(yōu)化工作體驗
考慮到半導體制造車間的實際布局需求，極測精密環(huán)控柜采用可拆卸鋁合金框架，大型設備可在現(xiàn)場輕松組裝，節(jié)省安裝時間與成本。箱體采用高質量鈑金材質，不僅堅固耐用，還可根據(jù)企業(yè)需求定制外觀顏色，與車間整體環(huán)境相融合。在運行過程中，設備采用 EC 風機和高效隔音材質，實現(xiàn)靜音高效運轉，噪音低于 45dB，為車間工作人員營造安靜舒適的工作環(huán)境，避免噪音對生產操作和設備調試造成干擾。
自推出以來，極測精密溫控設備已成功為眾多半導體制造企業(yè)的光刻機提供了穩(wěn)定可靠的工作環(huán)境，獲得了特別好評。在半導體產業(yè)競爭日益激烈的當下，選擇極測精密溫控設備，就是為光刻機選擇了蕞可靠的溫度保障，為芯片制造的高精度、高效率生產奠定堅實基礎，助力企業(yè)在半導體領域搶占技術高地，贏得市場先機。
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