設置在所述弧形槽上用于鎖緊所述球頭和所述弧形槽的鎖緊件，以及設置在所述弧形槽內用于增大摩擦力以控制所述球頭在所述弧形槽內的位置的阻尼件。根據本發(fā)明的一個方面，所述鎖緊件包括與所述弧形槽上的開孔螺紋連接的鎖緊手柄，以及與所述鎖緊手柄固定連接并且位于所述弧形槽內與所述球頭的外表面形狀配合的弧形壓板。根據本發(fā)明的一個方面，所述固定夾持機構包括與所述弧形槽連接的防滑手柄，與所述防滑手柄的連接的支架，與所述支架連接的夾持件，以及與所述夾持件的端部連接用于鎖緊所述夾持件的鎖定板。根據本發(fā)明的一個方面，所述夾持件包括與所述支架固定連接的固定夾，位于所述固定夾的一側與所述支架轉動連接的轉動夾，以及設置所述轉動夾與所述支架之間用于轉動夾轉動后復位的壓簧；所述鎖定板與所述固定夾的端部轉動連接，通過轉動可將所述固定夾和所述轉動夾鎖緊在一起。根據本發(fā)明的一個方面，所述長度調整機構包括與所述球頭固定連接的內調節(jié)桿，套置在所述內調節(jié)桿外與所述內調節(jié)桿可以相對往復移動的外調節(jié)桿，設置在所述外調節(jié)桿上用于鎖定或者解鎖所述內調節(jié)桿和所述外調節(jié)桿之間的相對位置的開關結構。根據本發(fā)明的一個方面。江寧區(qū)多功能氣動懸臂吊推薦廠家！南京牛皮袋氣動懸臂吊哪家有

    本發(fā)明涉及一種半導體制造技術，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手。背景技術：在半導體加工設備中，經常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中，傳送精度越高，設備工藝一致性就越好，速度越快，單臺設備的產能就越大。隨著半導體工藝的發(fā)展，設備處理的工藝越來越復雜，對設備自動化程度、柔性化程度要求也越來越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機械手。技術實現(xiàn)要素：本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力，同時提高了重復定位精度。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備。為了解決上述技術問題，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸、旋轉軸和伸展軸，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié)，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)。六合區(qū)糖袋氣動懸臂吊哪家便宜六合區(qū)糖袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    起到防滑作用。固定夾和轉動夾閉合后形成一個由四個沿圓周方向等間隔排列的圓弧形凹槽組成的空間，使得夾持件可以從兩個垂直的角度夾持艙壁助力扶手。根據本發(fā)明的一個方案，固定夾持機構與長度調整機構之間通過萬向球頭接頭結構連接。萬向球頭接頭結構中的球頭位于弧形槽中，并可在其中自由轉動。使得長度調整機構也可自由轉動，而航天員可通過鎖緊件來壓緊球頭，從而鎖定長度調整機構使其不再轉動。而位于弧形槽中的阻尼件則可在長度調整機構轉動到位后依靠其與球頭之間的摩擦力使轉動自動停止。根據本發(fā)明的一個方案，外調節(jié)桿可往復移動地套設在內調節(jié)桿上，內調節(jié)桿上設有多個固定孔。而外調節(jié)桿上設有開關結構。航天員可通過撥動開關結構中的凸輪手柄使與其鉸接的鎖定銷做往復直線運動，從而在位于固定孔中和脫離固定孔兩個狀態(tài)之間切換，完成調整長度并鎖定。根據本發(fā)明的一個方案，長度調整機構和末端助力機構之間通過萬向接頭機構連接，萬向接頭機構與萬向球頭接頭機構相似，同樣為類似關節(jié)的機構。使得末端主力機構也可做自由轉動。而連桿可旋轉地連接在末端扶手上，使得末端扶手可繞連桿軸線旋轉。配合萬向球頭接頭機構構成的關節(jié)結構。

    根據不同客戶的不同的需求，費蘭智能設備一般都生產出不同類型的助力機械手產品，主要就是根據用戶的需求定制，其中包括軟索式助力機械手、硬臂式助力機械手、碼垛機械手、KBK軌道、助力機械臂等等。這些雖然名稱不相同但是大致組成結構有一定的形同部分的，也就是助力機械手主要的功能部件！一、主機部分：可實現(xiàn)不同重量物料的重力平衡狀態(tài)，適用于物料的精確移載操作。空載、滿載及處理不同工件時，系統(tǒng)可感知其重量變化，并實現(xiàn)載荷在三維空間中的浮動狀態(tài)，便于精確定位。全程平衡、運動順滑等特點，使得操作者可以很便捷地實現(xiàn)工件的搬運、定位、裝配等操作。剛性手臂可使機械手帶工件越過障礙；系統(tǒng)可始終保持機械手頭部的水平，發(fā)揮高作業(yè)性。水平臂可滿足物料在相關場所進行橫向放入、橫向取出等動作要求。關節(jié)剎車裝置，具有多個回轉關節(jié)，以實現(xiàn)廣域范圍內的物料取置；配備有剎車裝置，操作者可在操作過程中隨時中斷機械手的運動。二、氣路控制系統(tǒng)部分：變頻機械手設置有元件保護盒，以保護主要精密氣動元器件，避免操作時意外撞擊及灰塵沉積。系統(tǒng)配備二聯(lián)件、單向閥和儲氣罐，為系統(tǒng)提供持續(xù)穩(wěn)定的壓縮空氣，當主供氣源意外斷氣時，可提供一定時間的安全保障。棲霞區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！

    自所述電路基板的法線方向觀察時，隔著所述第1電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第1通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第1電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，所述第2線圈布線的所述第2部位自比所述第2電力電路所包含的電子元器件靠近所述電路基板的外周的位置連接于所述第2電力電路。由此，能夠使第2線圈布線遠離磁傳感器，能夠抑制因電流在第2線圈布線中流動而產生的磁場對磁傳感器造成的影響。作為理想的技術方案，所述電路基板具有與所述第2線圈布線的所述第2部位相連接的第2通孔，自所述電路基板的法線方向觀察時，在所述檢測電路的配置位置與所述第2通孔之間存在所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離磁傳感器。隔著所述第2電力電路所包含的電子元器件的配置位置在所述第2通孔的相反側存在所述控制電路所包含的電子元器件的配置位置。由此，能夠使自第2電力電路到達電動馬達的電流路徑遠離控制電路。作為理想的技術方案，還具有配置于所述電路基板的電容器，自所述電路基板的法線方向觀察時。溧水區(qū)牛皮袋氣動懸臂吊推薦廠家！常州氣動懸臂吊推薦廠家

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    助力機械手，又稱機械手、平衡吊、平衡助力器、手動移載機（以上說法并不專業(yè)但國內已經流行），是一種新穎的、用于物料搬運及安裝時省力操作的助力設備。它巧妙地應用力的平衡原理，使操作者對重物進行相應的推拉，就可在空間內平衡移動定位。重物在提升或下降時形成浮動狀態(tài)，靠氣路保證零操作力（實際情況因為加工工藝及設計成本控制，操作力以小于3kg為判斷標準）操作力受工件重量影響。無需熟練的點動操作，操作者用手推拉重物，就可以把重物正確地放到空間中的任何位置。助力機械手應用由于具有無重力化、精確直觀、操作便捷、安全高效等特點，“平衡吊”應用于現(xiàn)代工業(yè)中的物料移載、高頻率搬運、精確定位、部件裝配等場合。從接受原材料和物料開始，一直到加工、生產、保管及配送等物料流動過程中的每一個環(huán)節(jié)，平衡吊手動移載系統(tǒng)所發(fā)揮的作用是令人矚目的。正確使用相應的物料移載方法和手段，對于各行業(yè)中，重物的移載、搬運現(xiàn)場的操作人員的健康、安全，進而其作業(yè)的合理性、勞動力的節(jié)省、生產效率的提高、產品品質的保障等多方面都有極大改善。助力機械手系統(tǒng)組成一套完整的助力機械手裝備主要由三部分組成：平衡吊主機、抓取夾具（或機械手）及安裝結構。南京牛皮袋氣動懸臂吊哪家有

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