第1吸盤112的相對兩側(cè)分別設(shè)置有第1槽體114,連接彈片2的端部固定連接于第1槽體112的槽沿上。具體地,參見圖1至圖3,第二吸盤122的相對兩側(cè)分別設(shè)置有第二槽體124,連接彈片2的端部固定連接于第二槽體124的槽沿上。具體地,參見圖1至圖3,第1吸盤112和第二吸盤122皆為方形吸盤。本實(shí)用新型所提供的一種防轉(zhuǎn)動的真空吸盤裝置包安裝基板、第1吸盤部件、第二吸盤部件和連接彈片,第1吸盤部件和第二吸盤部件旋接與安裝基板的兩端,連接彈片相對兩端分別固定連接第1吸盤部件和第二吸盤部件。吸盤在松開或者吸緊時原本會形成的吸盤自轉(zhuǎn)動現(xiàn)象,由于連接彈片限制了第1吸盤部件和第二吸盤部件的相對位置,吸盤自轉(zhuǎn)動現(xiàn)象得以避免。本實(shí)用新型提供了一種防轉(zhuǎn)動的真空吸盤裝置,其可以有效地防止吸盤在松開或者吸緊產(chǎn)生自轉(zhuǎn)動現(xiàn)象,保證真空吸盤吸附作業(yè)的穩(wěn)定性。實(shí)施例二:參見圖1至圖3,圖中示出了本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的一種防轉(zhuǎn)動的真空吸盤裝置,本實(shí)施例在上述實(shí)施例的基礎(chǔ)上還進(jìn)一步地做出了以下作為改進(jìn)的技術(shù)方案:連接彈片2為矩形彈片。由于第1吸盤和第二吸盤皆為方形吸盤,矩形彈片的兩端更好的匹配吸盤的邊沿,起到更好的限制效果。實(shí)施例三:參見圖1至圖3。棲霞區(qū)米袋真空吸盤推薦廠家!云龍區(qū)牛皮袋真空吸盤生產(chǎn)廠家
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工制造領(lǐng)域,尤其涉及晶圓減薄機(jī)吸附裝置,具體為一種用于減薄機(jī)的真空吸盤。背景技術(shù):晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。在硅晶圓正面制作完集成電路后,為了降低器件熱阻、提高工作散熱及冷卻能力、便于封裝,需要采用減薄機(jī)對晶圓進(jìn)行背面減薄。一方面,晶圓減薄機(jī)在磨削過程中,需要將所磨削晶圓置于真空吸盤之上吸附進(jìn)行磨削過程,對于所涉及的真空吸盤要求能夠有效的吸附晶圓,并且能夠保證吸盤主體的平整度,以及真空的均勻度,使得減薄機(jī)砂輪在磨削時吸附晶圓不發(fā)生位移,且吸盤在真空形成的負(fù)壓之下要能防止產(chǎn)生過大的形變;另一方面,由于加工制造成本相對較高,所以又要保證減薄機(jī)所用真空吸盤能夠利于更換多次磨削修整后的多孔陶瓷板,且所用底座能夠配合多個尺寸類型的真空吸盤。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:有鑒于此,本申請?zhí)峁┮环N安裝方便,能夠保證減薄過程中吸盤主體的平整度和真空的均勻度,還能更換多孔陶瓷適于不同尺寸的吸盤配合于同一底座的用于減薄機(jī)的真空吸盤。為達(dá)到上述目的。云龍區(qū)牛皮袋真空吸盤生產(chǎn)廠家浦口區(qū)包裝袋真空吸盤推薦廠家!
使待吸附件與真空吸盤9緊緊貼合達(dá)到抓取待吸附件的目的。當(dāng)真空泵5停止工作時,電動破空閥3打開,大氣通過氣動接頭8以及吸盤氣腔體7進(jìn)入真空吸盤9,原有的真空環(huán)境被破壞,待吸附件與真空吸盤9脫離。該真空吸盤裝置由于不需要使用交流電源,只在直流電源驅(qū)動下就能夠?qū)崿F(xiàn)對待吸附件的抓取作業(yè),因此該真空吸盤裝置可以簡化真空抓取工具的結(jié)構(gòu),簡化設(shè)備的使用方式,采用通用電源電壓供電,兼容主流控制方式,滿足復(fù)合型機(jī)器人對小巧、輕量、易用的需求。故該真空吸盤裝置具有供電難度小,結(jié)構(gòu)簡單,小型化等優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)施例還提供了一種機(jī)器人,該機(jī)器人包括上述的真空吸盤裝置,通過采用上述的真空吸盤裝置,減小了該機(jī)器人的體積,簡化了該機(jī)器人的結(jié)構(gòu),使該機(jī)器人實(shí)現(xiàn)了小型化。顯然,本實(shí)用新型的上述實(shí)施例只只是為了清楚說明本實(shí)用新型所作的舉例,而并非是對本實(shí)用新型的實(shí)施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實(shí)施方式予以窮舉。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。
所述四腳連盤架5下端與高效吸附盤機(jī)構(gòu)6上端相連接,所述連接腳座1與l型架9為一體化結(jié)構(gòu),所述l型架9上端內(nèi)側(cè)與嵌槽接塊10外端相焊接,所述滑軌桿架2外側(cè)嵌入安裝于嵌槽接塊10內(nèi),所述滑軌槽11與滑軌桿架2為一體化結(jié)構(gòu),所述高效吸附盤機(jī)構(gòu)6由吸盤體61、銜接圈柱62、支撐軸柱63、活動螺栓64、伸縮彈簧65、上頂盤66、內(nèi)環(huán)膠吸盤67、外環(huán)膠吸盤68、環(huán)形膠槽盤69、分隔條610、穿孔軸槽611組成,所述吸盤體61上端與上頂盤66下端為一體化結(jié)構(gòu),所述上頂盤66上端與銜接圈柱62下端相粘合,所述支撐軸柱63下端與銜接圈柱62上端相焊接,所述活動螺栓64下端與支撐軸柱63上端相粘合,所述伸縮彈簧65內(nèi)環(huán)與支撐軸柱63外環(huán)為同一軸心,所述活動螺栓64下端與伸縮彈簧65上端相連接,所述吸盤體61與內(nèi)環(huán)膠吸盤67為一體化結(jié)構(gòu),所述分隔條610后端與吸盤體61前段相粘合,所述外環(huán)膠吸盤68與吸盤體61為一體化結(jié)構(gòu),所述環(huán)形膠槽盤69后端與吸盤體61前端相貼合,所述穿孔軸槽611與上頂盤66為一體化結(jié)構(gòu),所述操控機(jī)體7下端與四腳連盤架5上端相連接,所述萬向輪8上端與l型架9下端相焊接,所述支撐軸柱63上端通過活動螺栓64與四腳連盤架5下端相連接,所述所述接電器3與操控機(jī)體7為一體化結(jié)構(gòu)。溧水區(qū)象鼻子真空吸盤推薦廠家!
第二吸盤固定連接于第二連接桿的底部,第二連接桿穿設(shè)于安裝基板內(nèi),且第二連接桿上套裝有第二彈簧,第二彈簧位于安裝基板和第二吸盤之間;連接彈片,其相對兩端分別固定連接第1吸盤和第二吸盤。進(jìn)一步地,連接彈片的相對兩端分別開設(shè)有至少一連接孔,螺釘穿過連接孔將連接彈片的端部固定連接于第1吸盤或者第二吸盤上。進(jìn)一步地,連接孔為腰型孔。進(jìn)一步地,連接彈片為矩形彈片。進(jìn)一步地,連接彈片的端部固定連接于第1吸盤或者第二吸盤的邊沿上。進(jìn)一步地,第1吸盤的相對兩側(cè)分別設(shè)置有第1槽體,連接彈片的端部固定連接于第1槽體的槽沿上。進(jìn)一步地,第二吸盤的相對兩側(cè)分別設(shè)置有第二槽體,連接彈片的端部固定連接于第二槽體的槽沿上。進(jìn)一步地,第1連接桿的底部卡接于第1吸盤的頂部上預(yù)設(shè)的第1卡槽內(nèi),且第1連接桿的底面和第1卡槽的槽底之間安裝有同心布置的第1內(nèi)密封圈和第1外密封圈。進(jìn)一步地,第二連接桿的底部卡接于第二吸盤的頂部上預(yù)設(shè)的第二卡槽內(nèi),且第二連接桿的底面和第二卡槽的槽底之間安裝有同心布置的第二內(nèi)密封圈和第二外密封圈。進(jìn)一步地,第1吸盤和第二吸盤皆為方形吸盤。棲霞區(qū)多功能真空吸盤推薦廠家!新吳區(qū)包裝袋真空吸盤
溧水區(qū)牛皮袋真空吸盤推薦廠家!云龍區(qū)牛皮袋真空吸盤生產(chǎn)廠家
特點(diǎn)平直型真空吸盤工作原理示意圖一、易損耗。由于它一般用橡膠制造,直接接觸物體,磨損嚴(yán)重,所以損耗很快。它是氣動易損件。正因如此,它才如此明顯地從眾多氣動元件中重點(diǎn)突出出來了。二、易使用。不管被吸物體是什么材料做的,只要能密封,不漏氣,均能使用。電磁吸盤就不行,它只能用在鋼材上,其他材料的板材或者物體是不能吸的。三、無污染。真空吸盤特別環(huán)保,不會污染環(huán)境,沒有光、熱,電磁等產(chǎn)生。四、不傷工件。真空吸盤由于是橡膠材料所造,吸取或者放下工件不會對工件造成任何損傷。而掛鉤式吊具和鋼纜式吊具就不行。在一些行業(yè),對工件表面的要求特別嚴(yán)格,他們只能用真空吸盤。用途用于模內(nèi)貼標(biāo)的末端工具可以完成三個動作:在有限的空間里,EOAT先拾取并插入商標(biāo),然后將商標(biāo)固定在模具中。與靜態(tài)貼標(biāo)裝置相比,這個操作可以減少該裝置的尺寸。EOAT的后一個動作是將貼有商標(biāo)的塑料瓶從模具中取出。通常,在注塑汽車制件時,對于具有A級表面制品的操作要格外小心。為了避免在其表面產(chǎn)生劃痕,必須禁止使用真空吸盤。此時,可以考慮在EOAT上安裝一個由縮醛制成的夾鉗,就可有效地避免劃傷制品的表面。那么。云龍區(qū)牛皮袋真空吸盤生產(chǎn)廠家
上海勁容自動化設(shè)備有限公司致力于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備,是一家生產(chǎn)型的公司。公司自成立以來,以質(zhì)量為發(fā)展,讓匠心彌散在每個細(xì)節(jié),公司旗下氣管吸吊機(jī),助力機(jī)械手,真空吊具,軌道交通深受客戶的喜愛。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,在機(jī)械及行業(yè)設(shè)備深耕多年,以技術(shù)為先導(dǎo),以自主產(chǎn)品為重點(diǎn),發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造機(jī)械及行業(yè)設(shè)備良好品牌。在社會各界的鼎力支持下,持續(xù)創(chuàng)新,不斷鑄造***服務(wù)體驗,為客戶成功提供堅實(shí)有力的支持。