皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件。控制頭則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。皮拉尼真空計在測量過程中需要注意哪些安全問題?陶瓷真空計供應(yīng)商
陶瓷薄膜真空計應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造:用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜:確保鍍膜質(zhì)量。科研實驗:用于高精度真空測量。醫(yī)療設(shè)備:如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點優(yōu)點:高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環(huán)境要求嚴格。維護與保養(yǎng)定期校準以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結(jié)陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩(wěn)定性,在多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,盡管成本較高,但其性能優(yōu)勢明顯。陜西mems真空計設(shè)備供應(yīng)商皮拉尼真空計測量范圍?
選擇真空計應(yīng)該注意什么6.安裝與接口安裝方式:根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號輸出電源需求:選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計。信號輸出:根據(jù)需求選擇模擬信號(如4-20mA、0-10V)或數(shù)字信號(如RS485、Modbus)輸出的真空計。8.維護與校準維護需求:選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期:了解校準周期和校準方法,選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預(yù)算:在預(yù)算范圍內(nèi)選擇性價比高的真空計。長期成本:考慮長期使用成本,包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務(wù)品牌信譽。售后服務(wù):選擇提供良好售后服務(wù)的供應(yīng)商,確保技術(shù)支持與維修服務(wù)。
電容薄膜真空計:屬彈性元件真空計,其結(jié)構(gòu)和電路原理是一彈性薄膜將規(guī)管真空室分為兩個小室,即參考壓強室和測量室。測量低壓強(P<100帕)時,參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時,薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極,它與薄膜形成一個電容器。薄膜變形時電容值相應(yīng)改變,通過電容電橋可測量電容的變化從而確定相應(yīng)壓強值。電容薄膜真空計可直接測量氣體或蒸氣的壓強,測量值與氣體種類無關(guān)、結(jié)構(gòu)牢固、可經(jīng)受烘烤,如對不同壓強范圍采用不同規(guī)頭,可得到較高精度。它可用于高純氣體監(jiān)測、低真空精密測量和壓強控制,也可用作低真空測量的副標準。在皮拉尼真空計中,熱敏電阻被放置在一個密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。
2. 熱傳導(dǎo)真空計熱傳導(dǎo)真空計通過氣體熱傳導(dǎo)的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:響應(yīng)快、成本低。缺點:受氣體種類影響較大。應(yīng)用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好。缺點:精度較低。應(yīng)用:低真空和中真空測量。電容真空計具有結(jié)構(gòu)簡單、測量范圍廣、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。蘇州金屬電容薄膜真空計設(shè)備廠家
皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。陶瓷真空計供應(yīng)商
常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關(guān)。相對真空計:如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。陶瓷真空計供應(yīng)商