熱傳導(dǎo)真空計(jì):利用氣體在不同壓強(qiáng)下熱傳導(dǎo)能力隨之變化的原理測(cè)量氣體壓強(qiáng)。在這類真空計(jì)中,以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭,熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強(qiáng)的函數(shù),故熱絲的溫度隨壓強(qiáng)而變化。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要用于100~10^-1帕范圍,采取特殊措施可擴(kuò)大測(cè)量范圍。不過,熱傳導(dǎo)真空計(jì)的指示不但和氣體種類有關(guān),而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響,故準(zhǔn)確度不高,只作粗略的真空指示用。粘滯真空計(jì):利用在真空中轉(zhuǎn)動(dòng)或振動(dòng)的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運(yùn)動(dòng)衰減的現(xiàn)象來測(cè)量氣體壓強(qiáng)。氣體分子的阻尼力與壓強(qiáng)有關(guān)。實(shí)際使用的粘滯真空計(jì)主要有磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)和振膜真空計(jì)。磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)利用可控磁場(chǎng)把不銹鋼球懸浮在真空中,用旋轉(zhuǎn)磁場(chǎng)把鋼球加速到400轉(zhuǎn)/秒,然后停止加速,任其自然衰減,用電子學(xué)方法精確測(cè)量其轉(zhuǎn)速衰減率,從而確定壓強(qiáng)。這種真空計(jì)具有很高的測(cè)量精度,吸氣、放氣速率小,壓強(qiáng)指示受氣體種類影響小,如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計(jì)在高真空端的讀數(shù)受振動(dòng)影響較大,測(cè)量時(shí)間也較長(zhǎng)。因此,它可作為1~10^-4帕范圍內(nèi)的副標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)或用作標(biāo)準(zhǔn)傳遞真空計(jì)。選擇真空計(jì)時(shí)需要綜合考慮多個(gè)因素。無(wú)錫皮拉尼真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。辰儀金屬電容真空計(jì)是完全對(duì)標(biāo)MKS的金屬電容真空計(jì)而開發(fā)的一款金屬膜片真空計(jì),已實(shí)現(xiàn)全系列部件國(guó)產(chǎn)化,產(chǎn)品測(cè)量精度接近MKS金屬電容真空計(jì)。辰儀金屬電容真空計(jì)已中芯國(guó)際等國(guó)內(nèi)FAB廠上機(jī)測(cè)試,填補(bǔ)了MKS對(duì)國(guó)內(nèi)斷供的影響。電容薄膜真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商皮拉尼真空計(jì)的測(cè)量范圍取決于所使用的具體型號(hào)和規(guī)格。
6. 麥克勞真空計(jì)麥克勞真空計(jì),通過壓縮氣體測(cè)量壓力,適用于高真空和超高真空范圍。原理:利用氣體壓縮后的液柱高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):精度高,無(wú)需校準(zhǔn)。缺點(diǎn):操作復(fù)雜,響應(yīng)慢。應(yīng)用:實(shí)驗(yàn)室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀通過分析氣體成分來間接測(cè)量壓力,適用于超高真空和極高真空范圍。(1)四極質(zhì)譜儀原理:利用四極電場(chǎng)分離氣體離子,通過離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點(diǎn):可分析氣體成分。缺點(diǎn):成本高,操作復(fù)雜。應(yīng)用:超高真空和極高真空系統(tǒng)。
真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書所述壓力的測(cè)量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測(cè)量。壓力是一個(gè)力學(xué)量,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,直接測(cè)量這樣大的壓力是容易的,但在真空技術(shù)中,測(cè)量這樣大的壓力是比較少的。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低,如有時(shí)要測(cè)10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測(cè)量單位面積所承受的力是不可能的。因此,測(cè)量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象,然后測(cè)量這個(gè)過程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量,再設(shè)法間接確定出真實(shí)壓力來。例如先將被測(cè)氣體壓縮,使其壓力增高,測(cè)出增高后的壓力,再根據(jù)壓縮比計(jì)算出原來的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計(jì)。也可以用一根熱絲,測(cè)量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果,如熱絲溫度、電阻變化等,這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計(jì)。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,用測(cè)得的離子流反應(yīng)壓力,這就是電離真空計(jì)。溫度對(duì)皮拉尼真空計(jì)測(cè)量結(jié)果有何影響?
由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強(qiáng)范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強(qiáng)范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機(jī)組。這種壓強(qiáng)范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環(huán)真空泵、往復(fù)式真空泵、無(wú)油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機(jī)械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉(zhuǎn)活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度。若所測(cè)設(shè)備內(nèi)的壓強(qiáng)低于大氣壓強(qiáng),其壓力測(cè)量需要真空表。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。計(jì)算方法:真空度=大氣壓強(qiáng)-***壓強(qiáng)。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等真空計(jì)如何選型與使用?電容薄膜真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
皮拉尼真空計(jì)如何校準(zhǔn)?無(wú)錫皮拉尼真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商
真空技術(shù)在生活中有著廣泛的應(yīng)用,它極大地改善了我們的生活質(zhì)量,提高了生產(chǎn)效率,隨著科技的進(jìn)步和創(chuàng)新,真空技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域還將不斷拓展和深化,并在多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著不可替代的作用。醫(yī)療器械與醫(yī)療環(huán)境真空包裝醫(yī)療器械:注射器、輸液袋等醫(yī)療器械需要在無(wú)菌條件下使用,通過真空包裝可以避免外界細(xì)菌的污染,確保使用時(shí)的安全性。醫(yī)用真空負(fù)壓機(jī):在醫(yī)療環(huán)境中,醫(yī)用真空負(fù)壓機(jī)通過真空泵抽吸,使系統(tǒng)管路產(chǎn)生醫(yī)用負(fù)壓,用于傷口護(hù)理、手術(shù)室和隔離病房的潔凈維護(hù)、液體輸送以及實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用等。電力與能源真空斷路器:電力系統(tǒng)中常見的一種開關(guān)裝置,用于在電流過大或故障發(fā)生時(shí)切斷電路。其基本原理是利用真空環(huán)境中的高絕緣性,避免電弧的形成和繼續(xù)傳導(dǎo),保護(hù)電力設(shè)備和人身安全。真空泵在能源領(lǐng)域的應(yīng)用:在石油和天然氣開采過程中,真空泵用于提取和傳輸油氣;在核能產(chǎn)業(yè)中,真空泵用于維護(hù)和管理關(guān)鍵系統(tǒng);在可再生能源產(chǎn)業(yè)中,真空泵用于制造和維護(hù)高效的太陽(yáng)能板和風(fēng)力渦輪機(jī)組件。無(wú)錫皮拉尼真空計(jì)設(shè)備供應(yīng)商