本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運(yùn)的機(jī)械手。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中，經(jīng)常需要將晶圓在各個(gè)工位之間進(jìn)行傳送，在傳送的過(guò)程中，傳送精度越高，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快，單臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)能就越大。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來(lái)越復(fù)雜，對(duì)設(shè)備自動(dòng)化程度、柔性化程度要求也越來(lái)越高，這就需要一種定位精度高，速度快的多自由度的機(jī)械手。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定，維護(hù)方便，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

吸臂采用靜電除塵技術(shù)，保證晶圓表面的清潔度。福建官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

晶圓作為半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵材料，其表面質(zhì)量和完整性直接決定了芯片的性能和可靠性。機(jī)械吸臂在搬運(yùn)晶圓過(guò)程中，必須要保證晶圓不受任何損傷和污染。任何微小的劃痕、顆粒污染或靜電放電都可能導(dǎo)致晶圓報(bào)廢，從而增加生產(chǎn)成本。因此，高精度、高可靠性的機(jī)械吸臂是確保晶圓質(zhì)量和成品率的重要保障。此外，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，芯片制造工藝越來(lái)越復(fù)雜，晶圓尺寸也不斷增大，對(duì)晶圓搬運(yùn)的精度和穩(wěn)定性要求也越來(lái)越高。例如，在先進(jìn)的集成電路制造工藝中，晶圓的線寬已經(jīng)達(dá)到納米級(jí)別，這就要求機(jī)械吸臂在搬運(yùn)晶圓時(shí)的定位精度要達(dá)到亞微米甚至更高的級(jí)別。潮州原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家怎么選擇隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用高速度、高精度、高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。

電鍍：

到這一步，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅，銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了。

切割：

對(duì)晶圓進(jìn)行切割，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對(duì)切割的工藝要求也是非常高的。

測(cè)試：

測(cè)試分為三大類：功能測(cè)試、性能測(cè)試、抗老化測(cè)試。大致測(cè)試模式如下:接觸測(cè)試、功耗測(cè)試、輸入漏電測(cè)試、輸出電平測(cè)試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試、模擬信號(hào)參數(shù)測(cè)試等等。全部測(cè)試都通過(guò)的，就是正片；部分測(cè)試未通過(guò)，但正常使用無(wú)礙，這是白片；未開(kāi)始測(cè)試，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的，這是黑片。

晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉，**化，并經(jīng)蒸餾后，制成了高純度的多晶硅，其純度高達(dá)99.9%。

晶圓是制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，半導(dǎo)體集成電路**主要的原料是硅，因此對(duì)應(yīng)的就是硅晶圓。 各支承、連接件的剛性也要有一定的要求，以保證能承受所需要的驅(qū)動(dòng)力。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂主要由以下幾個(gè)部分組成：

吸盤(pán)：用于吸附晶圓，通常采用真空吸附原理。吸盤(pán)材料應(yīng)具有耐磨、耐腐蝕、低粒子產(chǎn)生等特性，以保證晶圓表面不受污染。

機(jī)械臂：用于支撐和移動(dòng)吸盤(pán)，實(shí)現(xiàn)晶圓在不同工藝設(shè)備間的傳送。機(jī)械臂應(yīng)具有高精度、高穩(wěn)定性和高剛性等特點(diǎn)，以確保晶圓在傳送過(guò)程中的精確定位和平穩(wěn)運(yùn)輸。

傳動(dòng)系統(tǒng)：為機(jī)械臂提供動(dòng)力，實(shí)現(xiàn)吸臂的伸縮、旋轉(zhuǎn)等動(dòng)作。傳動(dòng)系統(tǒng)通常采用電機(jī)、減速器、傳動(dòng)帶等部件組成，確保吸臂運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

控制系統(tǒng)：負(fù)責(zé)控制機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)軌跡、速度和加速度等參數(shù)?？刂葡到y(tǒng)一般采用先進(jìn)的伺服控制技術(shù)和高精度傳感器，實(shí)現(xiàn)吸臂的高精度定位和穩(wěn)定運(yùn)行。 真空腔體開(kāi)口于所述鋁合金平板上表面.福建官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

手臂自重輕，其啟動(dòng)和停止的平穩(wěn)性就好。福建官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：現(xiàn)有機(jī)械手臂易出現(xiàn)碰撞損傷，且傳送晶圓效率較低。

為了解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提供了一種機(jī)械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的絨毛墊，所述絨毛墊至少部分裸露于所述托板的用于承載晶圓的表面，并適于在與所述表面之上的晶圓接觸時(shí)利用范德華力吸附晶圓。

可選地，所述絨毛墊包括托墊和絨毛，所述托墊固定在所述托板上，所述絨毛固定在所述托墊上。

可選地，所述托板設(shè)有貫穿所述表面的螺紋通孔，所述托墊嵌設(shè)在所述螺紋通孔內(nèi)，并通過(guò)與所述螺紋通孔螺紋配合的螺釘固定在所述托板上。

可選地，所述絨毛為硅樹(shù)脂橡膠絨毛或聚酯樹(shù)膠絨毛。

可選地，所述機(jī)械手臂上所有絨毛的黏合力之和為6N以上。

可選地，所述絨毛墊上的絨毛排列成環(huán)形。

可選地，所述絨毛墊的數(shù)量為三個(gè)以上，各個(gè)所述絨毛墊之間間隔排布。 福建官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格便宜

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