具體實施方式下面結合實施例對本發(fā)明做進一步詳細描述，所述是對本發(fā)明的解釋而不是限定。參見圖1～圖4，一種高速高響應度的硅基光電二極管，包括背面設有背面電極108的襯底107；襯底107正面依次設有高反層(109、外延層101、注入層、氧化硅層、氮化硅層和正面金屬電極106；所述的高反層109上開設有用于形成電流路徑的刻蝕孔，以及與正面金屬電極106相對應的刻蝕區(qū)；所述的注入層包括保護環(huán)102以及設在其內的有源區(qū)103；所述的正面金屬電極106還貫穿氧化硅層、氮化硅層與有源區(qū)103相連接。進一步的，所述的襯底107為電阻率20～100為ohm·cm的硅基襯底，襯底背面直接做金屬化處理形成背面電極108。所述的外延層101淀積在高反層109上；在外延層101上分別以n型離子注入形成保護環(huán)102，以p型離子注入形成有源區(qū)103；所述的氧化硅層為熱氧化生成sio2層104，所述的氮化硅層為淀積生長的si3n4層105；所述的正面金屬電極106是在濺射后經刻蝕成形。參見圖2所示的光電二極管等效電路示意圖，rsh為光電二極管關斷阻抗，rsh＝∞，rs為光電二極管串聯(lián)電阻。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。硅光電二極管接法供應商選世華高。廈門硅光電二極管供應

    4)通過離子注入分別形成n+保護環(huán)102和p+有源區(qū)103，間距12～20um；5)熱氧化生成sio2層104)，sio2層上方淀積生長si3n4層105；6)接連刻掉si3n4層和sio2層形成接觸孔，然后濺射al。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展。世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構。深圳國產硅光電二極管生產廠家硅光電池哪一家做得好？世華高好。

    二、2DU型硅光電二極管：2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制作的，從外形上分有2DUA，2DUB等類型，其中2DUA型管子體積較小些（見圖1（b））。2DU型硅光電二極管目前多采用陶瓷樹脂封裝，入射光的窗口不帶透鏡。這類管子引線共有三條，分別稱作前極、后極、環(huán)極（見圖1（b））。前極即光敏區(qū)（N型區(qū)）的引線；后極為襯底（P型區(qū)）的引線；環(huán)極是為了減小光電管的暗電流和提高管子的穩(wěn)定性而設計的另一電極。光電管的暗電流是指光電二極管在無光照、高工作電壓下的反向漏電流。我們要求暗電流越小越好。這樣的管子性能穩(wěn)定，同時對檢測弱光的能力也越強。為什么加了環(huán)極后就可以減小2DU型硅光電二極管的暗電流呢？這要從硅光電二極管的制造工藝談起。在制造硅光電二極管的管心時，將硅單晶片經過研磨拋光后在高溫下先生長一層二氧化硅氧化層，然后利用光刻工藝在氧化層上刻出光敏面的窗口圖形，利用擴散工藝在圖形中擴散進去相應的雜質以形成P－N結。然后再利用蒸發(fā)、壓焊、燒結等工藝引出電極引線。由于2DU型硅光電二極管是用P型硅單晶制造的，在高溫生長氧化層的過程中，容易在氧化層下面的硅單晶表面形成一層薄薄的N型層。

    本發(fā)明具有以下有益的技術效果：本發(fā)明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，通過適當減小耗盡區(qū)寬度和減小擴散區(qū)電阻率，耗盡區(qū)寬度減小導致響應度的降低，本發(fā)明通過增加高反層使得光子在耗盡區(qū)中二次吸收來補償；高反層的形成使得器件保持對長波響應度的同時，降低響應時間；由于擴散區(qū)(耗盡區(qū)以外的區(qū)域)材料電阻率很低，擴散區(qū)阻抗很小，因此擴散時間很短；從而實現(xiàn)硅基光電二極管高響應度與高響應速度同時提升。本發(fā)明提供的高速高響應度的硅基光電二極管，由于通過低阻材料降低了擴散區(qū)電阻，縮短了擴散時間；而高反層的設置提高了長波的吸收效率，降低了耗盡區(qū)的物理厚度，縮短了漂移時間，并且在其上開孔減小了擴散區(qū)的阻抗；襯底采用低電阻率材料，背面不用進行減薄注入，直接背面金屬化形成背面電極，避免了加工過程中碎片的情況。附圖說明圖1為本發(fā)明的結構圖示意圖；圖2為本發(fā)明的等效電路示意圖；圖3為本發(fā)明的高反層原理示意圖；圖4為多孔結構高反層的示意圖；圖5-1～圖5-7分別為本發(fā)明的逐層制備示意圖。圖6為本發(fā)明的硅基光電二極管的響應度測試曲線；圖7為本發(fā)明的硅基光電二極管的頻率特性測試曲線。硅光二極管哪家棒！世華高。

    這一N型層與光敏面的N型層連在一起則使光電管在加上反向電壓后產生很大的表面漏電流，因而使管子的暗電流變得很大。為了解決這個問題，在工藝上采取這樣一個措施，即在光刻光敏面窗口的同時在光敏面周圍同時刻出一個環(huán)形窗口（見圖②），在這環(huán)形窗口中同時擴散進磷雜質也形成一個N型層，這就是環(huán)極。當我們給環(huán)極加上適當?shù)恼妷汉?，使表面漏電流從環(huán)極引出去，這樣就減小了光敏面的漏電流即減小了光敏面的暗電流，提高了2DU型硅光電管的穩(wěn)定性。特性與使用一、特性。2CU型或2DU型硅光電二極管在性能上都有以下二個特點，我們在使用中應予以注意。深圳市世華高半導體有限公司（SIVAGO）成立于2004年，總部設在深圳，主要負責研發(fā)和銷售工作。該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。深圳市世華高半導體有限公司。。探索無線可能，世華高硅光電二極管攜手暢享智能體驗。湖北濱松硅光電二極管型號

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    主要負責研發(fā)和銷售工作該公司選擇將汕尾深汕特別合作區(qū)作為生產基地，負責光電器件的制造。其產品范圍包括光電二極管、光電三極管、紅外線接收頭、發(fā)射管、發(fā)光二極管、硅光電池、霍爾元件、光電開關、光電編碼器、紙張感應器和光電耦合器等。經過十余年的發(fā)展，世華高半導體已成為一家先進的半導體器件制造商。公司在全球范圍內設有多個銷售機構，分布在中國、印度、泰國、伊朗、香港等多個國家和地區(qū)。BG-2-也截止，繼電器觸點釋放，這樣的線路起到了光電控制作用。圖⑥（b）是暗通的光控線路，與圖⑥（a）相比電路中2CU與R-2-的位置對調了。當有光照時2CU內阻變小，它兩端的壓降減小，這樣使BG-1-截止，BG-2-也截止，繼電器觸點不吸合，當無光照時2CU的內阻增大，它兩端的壓降增大，使BG-1-導通，BG-2-也導通，繼電器觸點吸合。三、2DU型硅光電二極管在電路中的接法：我廠生產的2DU型硅光電二極管的前極、后極以及環(huán)極可按圖①（b）所示來分辨。2DU型硅光電二極管使用時電原理圖見圖⑦，2DU管的后極接電源的負極，環(huán)極接電源的正極，前極通過負載電阻R-L-接到電源的正極。有了R-L-使環(huán)極的電位比前極電位高，這樣表面漏電流從環(huán)極流出而不經過前極。廈門硅光電二極管供應