本實(shí)用新型關(guān)乎半導(dǎo)體裝置領(lǐng)域，尤為關(guān)乎一種工藝腔體。背景技術(shù)：在半導(dǎo)體制造工藝中，有多種工藝腔體是運(yùn)用旋轉(zhuǎn)的方法開展工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上。以光刻工藝舉例來(lái)說(shuō)解釋：光刻膠涂布是光刻的舉足輕重單元，但是在光刻膠涂布過(guò)程中，剩余的光刻膠被甩出晶圓表面，它們中的一部分不會(huì)經(jīng)由管路排走，而是匯聚在工藝腔體的內(nèi)壁。匯聚在工藝腔體內(nèi)壁的光刻膠在干燥之后會(huì)演變?yōu)轭w粒物，在涂布下一片晶圓時(shí)，高速轉(zhuǎn)動(dòng)的晶圓會(huì)產(chǎn)生擾流并在晶圓的邊沿區(qū)域形成細(xì)微的真空，這些真空會(huì)吸引匯聚在工藝腔體內(nèi)壁的顆粒物，**后散布在晶圓的表面，致使晶圓產(chǎn)生缺點(diǎn)?，F(xiàn)有技術(shù)中會(huì)對(duì)工藝腔體的體壁開展定期維護(hù)與保養(yǎng)，需將整個(gè)工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時(shí)需相應(yīng)的體壁備用更換，引致減低了生產(chǎn)效率。因此，有必要提供一種可自動(dòng)更換及清洗體壁的工藝腔體。技術(shù)實(shí)現(xiàn)元素：本實(shí)用新型的目的在于提供一種新的工藝腔體，能夠自動(dòng)更換及清洗腔體的體壁，從而提高生產(chǎn)效率。為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體，包括：內(nèi)層體壁，由所述內(nèi)層體壁平分而成的內(nèi)層體壁段；由承載所述內(nèi)層體壁的承載物平分而成的承載段。洺洲緊固件為你打造高質(zhì)量弓形吊環(huán)螺母-品質(zhì)鑄就輝煌！湖北進(jìn)口開體花蘭

    花籃螺栓利用絲杠進(jìn)行伸縮，能調(diào)整鋼絲繩的松緊?？稍跇?gòu)件運(yùn)輸中捆綁構(gòu)件，在安裝校正中松。由具有左和右旋螺紋的調(diào)節(jié)桿、螺母及拉桿組成，調(diào)節(jié)桿上還固定由蓋板、固定板、導(dǎo)位板用防盜防松螺栓連接成一體的防盜防松裝置構(gòu)成。使用時(shí)必須要用前列的配套套筒才能旋開防盜防松螺栓，其防盜效果好、安全可靠。防盜防松裝置拆卸后，不需將其拿下，利用其上的環(huán)導(dǎo)板沿拉桿滑動(dòng)，移動(dòng)一距離就可調(diào)節(jié)、操作，因此使用方便。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易加工、成本低、實(shí)用性強(qiáng)。特別適用于電力線路，尤以作高壓鐵塔拉桿的定位裝置?；ɑ@螺栓為一鑄鋼件，設(shè)計(jì)計(jì)算時(shí)，更計(jì)算與其相應(yīng)的拉桿即可，但花籃的規(guī)格應(yīng)比拉桿高一級(jí)，以下是鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)中常用的拉桿及相應(yīng)花籃的規(guī)格:拉桿花籃Φ20M22Φ24M27Φ28M30Φ30M32若采用其他規(guī)格的拉桿，則花籃可以定作。各種規(guī)格的普通或前列度花蘭螺栓,花籃螺栓,開體花蘭,開體花籃，材質(zhì)有:Q235B、45號(hào)鋼、40Cr、35CrMoA、Q345D花蘭螺栓,花籃螺栓,開體花蘭,開體花籃等?；ɑ@螺栓規(guī)格表是什么?花籃螺栓的主要是調(diào)整鋼絲繩的松緊，應(yīng)用十分前列，故此花籃螺栓規(guī)格表自然也是比較常用的數(shù)據(jù)?；ɑ@螺栓分類一般是前列拉桿、花籃螺栓部件、第二拉桿、定位件。 天津質(zhì)量開體花蘭施工被吊物耳板厚度應(yīng)適中，開體花蘭安裝好后，應(yīng)保證扣體能夠靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，與耳板間無(wú)卡阻現(xiàn)象。

    本實(shí)用新型屬于懸掛架建筑施工領(lǐng)域，具體地說(shuō)涉及一種花蘭體旋緊裝置。背景技術(shù)：在高層建筑施工過(guò)程中，往往需要用到大量的腳手架，腳手架用于安全防護(hù)以及作為操作平臺(tái)。腳手架是由大量橫向放置和豎向放置的鋼管通過(guò)鋼管扣件連接搭建起來(lái)的。腳手架由于搭建在建筑外墻之外，需要通過(guò)支撐來(lái)保證搭建的可靠性。腳手架通過(guò)支撐在懸掛架上來(lái)確保穩(wěn)定，而懸掛架與建筑墻體固定。懸掛架與建筑墻體固定后往往需要拉桿，斜向上拉懸掛架，給懸掛架斜向上的拉力，提高懸掛架的可靠性，這時(shí)候就需要一種可調(diào)節(jié)的拉桿。拉桿包括上拉桿、花蘭體和下拉桿；花蘭體上端設(shè)有上螺紋孔，用于和上拉桿的下螺紋柱配合，上拉桿上端與墻體連接；花蘭體下端設(shè)有下螺紋孔，用于和下拉桿的上螺紋柱配合，下拉桿下端與懸掛架連接；花蘭體上端和下端通過(guò)左連接柱和右連接柱連接；左連接柱和右連接柱之間保持間隙；通過(guò)旋轉(zhuǎn)花蘭體，上拉桿和下拉桿開始拉緊或松懈。但由于建筑施工工地比較復(fù)雜，采用無(wú)法調(diào)節(jié)的鋼棍來(lái)旋轉(zhuǎn)花蘭體很容易被擋住，而且鋼棍容易使花蘭體變形，或者在操作過(guò)程中容易滑動(dòng)，導(dǎo)致工人滑倒受傷。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述不足之處提供一種花蘭體旋緊裝置。

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    在半導(dǎo)體制造工藝中，有多種工藝腔體是運(yùn)用旋轉(zhuǎn)的方法展開工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上?，F(xiàn)有技術(shù)中多數(shù)是對(duì)工藝腔體的體壁展開定期維護(hù)與保養(yǎng)，需將整個(gè)工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時(shí)需相應(yīng)的體壁備用更換，致使減低了生產(chǎn)效率。為了有效性的支配上述疑問(wèn)，本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體，能夠自動(dòng)更換及清洗腔體的體壁，且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖。本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內(nèi)層體壁21，由所述內(nèi)層體壁21平分而成的內(nèi)層體壁段22；由承載所述內(nèi)層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于；在所述內(nèi)層體壁21**設(shè)立的**少一個(gè)替換體壁段23，所述替換體壁段23與所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸相同；承載并移動(dòng)所述替換體壁段23的軌道段12；所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同，所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實(shí)用新型通過(guò)將所述內(nèi)層體壁21拆分為多個(gè)內(nèi)層體壁段22，并在內(nèi)層體壁21**設(shè)立替換體壁段23，用以適時(shí)替換被水污染的內(nèi)層體壁段22，從而可以分批次對(duì)內(nèi)層體壁段22展開替換，既不影響生產(chǎn)。產(chǎn)品出現(xiàn)下列情況之一，應(yīng)更換部件或報(bào)廢。湖北進(jìn)口開體花蘭

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