氦檢儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。靈敏度、反應(yīng)時(shí)間、清零時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦檢儀的主要性能指標(biāo)。檢測(cè)氣體使用氦氣的主要原因如下:(1)對(duì)人體和自然環(huán)境沒(méi)有毒害;(2)不能燃燒,作業(yè)安全;(3)惰性氣體,和被檢測(cè)對(duì)象不會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng);(4)分子直徑和質(zhì)量小,容易穿過(guò)微小縫隙,便于檢漏;(5)通常環(huán)境下保持氣體狀態(tài),不會(huì)堵住微漏孔;(6)真空腔體自身放出的氣體中幾乎不包含氦氣;(7)氦氣在空氣中的存在量只為5ppm,容易定點(diǎn)查清漏氣位置。由于氦氣比空氣輕很多,向真空腔體噴氦氣檢漏時(shí)要從上往下依次操作,否則不利于判定漏點(diǎn)所在。當(dāng)腔體構(gòu)造復(fù)雜,或漏率極小時(shí),可針對(duì)重點(diǎn)...
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜儀學(xué)原理,用氦氣作為搜索氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀電源電壓220V頻率50HZ額定功率2000W。儀器應(yīng)安裝在符合儀器使用的環(huán)境要求的場(chǎng)所,特別是儀器的電源插座,應(yīng)符合要求,要有良好的地線,左右要留有30CM的通風(fēng)間距。放置好氦質(zhì)譜檢漏儀,以避免儀器有傾斜或傾倒的危險(xiǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的底部有安裝孔,可以將其固定在桌子或支架上。在儀器運(yùn)行前要確保真空泵中的機(jī)械泵油是否足夠,機(jī)械泵油必須用特定的針對(duì)機(jī)械泵型號(hào)的油。氦檢儀同時(shí)擁有兩種檢漏模式,真空模式及正壓模式,可根據(jù)客戶不同需求,選擇不同的檢漏方法。蘇州無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)一臺(tái)氦檢儀產(chǎn)生測(cè)量誤差主要包括哪幾個(gè)方面...
氦檢儀開(kāi)機(jī)如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開(kāi)抽速閥,開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開(kāi)抽速閥,過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī),可等一會(huì)兒再開(kāi)),當(dāng)真空示值超過(guò)1×10-2Pa后,可啟動(dòng)燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開(kāi)、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda),靈敏度...
氦質(zhì)譜檢漏儀的的故障和處理:1、內(nèi)部的泄漏,當(dāng)檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時(shí),會(huì)對(duì)檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標(biāo)準(zhǔn)漏孔與閥門(mén)組件、真空計(jì)與閥門(mén)組件等接口間的橡膠圈密封。采用噴氦法尋找漏點(diǎn),更換密封件。2、本底信號(hào)不穩(wěn)定,1)本底信號(hào)過(guò)高有可能是環(huán)境本底被污染,注意檢查室內(nèi)是否有氦氣源在泄漏。將室內(nèi)的門(mén)窗打開(kāi)通風(fēng),降低環(huán)境本底。2)本底信號(hào)過(guò)高也有可能是因?yàn)橘|(zhì)譜室被污染。檢漏儀若經(jīng)常檢測(cè)含有油污、粉塵等雜質(zhì)較多的被檢件時(shí),質(zhì)譜室極易被污染,需返廠進(jìn)行清洗,本底信號(hào)不穩(wěn)定,檢查電源電壓是否穩(wěn)定,氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)有可靠的接...
高質(zhì)量的檢漏儀可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)安全性,而且還可有效降低產(chǎn)品維護(hù)以及故障排除所需的時(shí)間和資本。但如何更高效的進(jìn)行產(chǎn)品檢漏?檢漏過(guò)程中需要注意哪些事宜?上海睿德勵(lì)柯儀器儀表有限公司小編來(lái)帶大家學(xué)習(xí)一下如何對(duì)空調(diào)相關(guān)系統(tǒng)利用氦檢儀和檢漏儀等設(shè)備進(jìn)行真空檢漏吧!氦檢儀檢漏儀——從制冷和空調(diào)技術(shù)到汽車(chē)制造,從半導(dǎo)體制造到太陽(yáng)能技術(shù),越精密的高科技產(chǎn)品,越需要高的氣密性,檢漏技術(shù)成為產(chǎn)品制造及其使用過(guò)程中不可或缺的一部分。高質(zhì)量的檢漏儀不進(jìn)可以有效提高產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)安全性,而且還可有效降低產(chǎn)品維護(hù)以及故障排除所需的時(shí)間和資本。但如何更高效的進(jìn)行產(chǎn)品檢漏?檢漏過(guò)程中需要注意哪些事宜?上海睿德勵(lì)柯儀...
如何正確選擇氦檢儀?(1)儀器的功能是否能滿足檢漏的要求,如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能,就不合適正壓法檢漏:有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能,就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用;流水線上要求一定的檢漏速度,因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。(2)儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類(lèi)型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的,如果檢漏要求的靈敏度較高,就要認(rèn)真選擇。(3)被檢件如果害怕油的污染,被應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的氦檢儀。(4)被檢件容積如果較大,必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀,否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。(5)如果被檢對(duì)象不固定,體積時(shí)大時(shí)小,靈敏度要求時(shí)高時(shí)低,就要選擇功能較全,靈敏度較高,檢漏范圍寬的氦...
氦檢儀靈敏度高、操作便捷、低維護(hù),使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。產(chǎn)品普遍應(yīng)用于科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池,閥門(mén)、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。氦檢儀關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦檢儀是對(duì)比性測(cè)試儀器,其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有氦檢儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個(gè)參照...
氦檢儀產(chǎn)生測(cè)量誤差主要包括哪幾個(gè)方面?第1,當(dāng)氦質(zhì)譜泄漏檢測(cè)器校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)泄漏的位置與檢測(cè)泄漏的位置不同,即標(biāo)準(zhǔn)泄漏與檢測(cè)泄漏檢測(cè)器之間的距離太大,在途中泄漏氦的損失不相等,導(dǎo)致進(jìn)入檢測(cè)泄漏檢測(cè)器的氦量可比性差。第二,進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。第三,所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱(chēng)漏率有誤差。第四,氦檢儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。第五,校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同。第六,氦檢儀的性能不穩(wěn)定。第七,氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差。氦質(zhì)譜檢漏儀是以氣體分析儀檢測(cè)氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo):1.可檢漏率:5×10-12Pa·m3/s;2.漏率顯示范圍:1×10-3—1×10-12Pa·m3/s;3.啟動(dòng)時(shí)間:≤5min;4.響應(yīng)時(shí)間:≤1s;5.檢漏口的壓力:1500Pa;6.電源要求:220v,50Hz,單相,10A;7.工作環(huán)境:5-35℃;8.相對(duì)濕度:≤80%;9.外形尺寸:550(w)×400(D)×780(H);10.重量:64kg。使用環(huán)境:環(huán)境溫度:5~35℃;相對(duì)濕度:
選購(gòu)氦檢儀的注意事項(xiàng)有哪些?1.注意檢漏需求和設(shè)備功能的匹配度,根據(jù)現(xiàn)如今產(chǎn)品批量篩選和檢查泄露的需求進(jìn)行研究可以發(fā)現(xiàn),不同的產(chǎn)品檢漏操作時(shí)所需要的模式等都有著顯著的區(qū)別,消費(fèi)者在選購(gòu)氦檢儀時(shí)必須要根據(jù)產(chǎn)品的檢測(cè)功能需求進(jìn)行挑選,例如儀器需要批量檢查的需求則必須要確保這種氦檢儀的檢查速度,立足于自身的需求保證這種氦檢儀的功能得以實(shí)現(xiàn)才是較正確的挑選方式;2.注意檢測(cè)靈敏度和操作模式特點(diǎn),消費(fèi)者在挑選這種檢測(cè)儀器時(shí),必須要分析各種檢測(cè)儀器的檢測(cè)模式,確保這種氦檢儀以更高的靈敏度和更廣闊的檢測(cè)范圍來(lái)提高生產(chǎn)的效率,并且在挑選氦檢儀時(shí)也必須要根據(jù)該種產(chǎn)品的靈敏度和口碑進(jìn)行分析,確保這種氦檢儀的精確度...
氦質(zhì)譜檢漏儀是對(duì)比性測(cè)試儀器,其工作原理是對(duì)進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過(guò)電流大小的判斷氦氣分子的多少!進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對(duì)應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個(gè)參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識(shí):(1)前級(jí)真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)。常州臺(tái)式氦質(zhì)譜檢漏儀報(bào)價(jià)使用氦檢儀需注意哪些問(wèn)題?響應(yīng)時(shí)間與清理時(shí)間:正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時(shí)...
氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度,通常指儀器的可檢漏率。記為qL.min,即在儀器處于較佳工作條件下,以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體,進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的漏孔漏率。所謂“較佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到穩(wěn)定值,被檢件出氣少且沒(méi)有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“可檢率”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí),才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲,一般指在2min內(nèi)輸出儀表的較大的波動(dòng)量,能較方便地估計(jì)檢漏效果。氦檢儀的型號(hào)較多,但基本結(jié)構(gòu)大同小異。移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀售...
氦檢儀在無(wú)源器件中的檢漏應(yīng)用:無(wú)源器件檢漏原因:光無(wú)源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高可靠性等特點(diǎn)。光無(wú)源器件對(duì)密封性的要求極高,如果存在泄漏會(huì)影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于5×10-8mbar.l/s,因此需要進(jìn)行泄漏檢測(cè)。氦質(zhì)譜檢漏法利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位,定量漏點(diǎn),替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已普遍應(yīng)用于光無(wú)源器件的檢漏。光無(wú)源器件檢漏方法:由于無(wú)源器件體積小,且無(wú)法抽真空或直接充入氦氣,我們采用“背壓法”檢漏,具體做法如下。1.將被檢無(wú)源器件放入真空保壓罐,壓力和時(shí)間根據(jù)漏率大小設(shè)定。2...
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無(wú)水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏...
氦檢儀有漏率靈敏度參數(shù),它是儀器在出廠時(shí)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的在較佳條件下所能實(shí)現(xiàn)的儀器靈敏度,但平常實(shí)際使用時(shí)其靈敏度是低于該參數(shù)的,稱(chēng)之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過(guò)程中,氦檢儀的檢漏方法也較多,有噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、充壓法、吸嘴法、累積檢漏法、背壓法、選擇性抽氣法、逆流氦檢漏法等眾多形式,可結(jié)合實(shí)際情況靈活運(yùn)用。如較簡(jiǎn)單常用的噴吹法,與鹵素氦檢儀的真空法類(lèi)似,將被檢件抽真空,調(diào)整好氦檢儀并與被檢件連通,隨后用噴頭在可疑處噴吹氦氣,如果存在漏洞,噴吹一定時(shí)間后,氦檢儀即可發(fā)出信號(hào)。氦檢儀分子泵出現(xiàn)故障如何快速定位維修?寧波智能氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降...
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí),產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括幾個(gè)方面:一、氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,即,標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,漏入氦氣在途中損失不相等,這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差。二、進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差。三、所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱(chēng)漏率有誤差。四、氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差。氦質(zhì)譜檢漏儀被普遍應(yīng)用于壓力容器、航空航天、原子能、發(fā)電廠、制冷工業(yè)等領(lǐng)域。杭州自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀多少錢(qián)一臺(tái)使用氦檢儀需注意的幾個(gè)問(wèn)題:(1)檢...
氦檢儀是什么?氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專(zhuān)門(mén)用于檢漏的儀器,它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度較高,用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較,本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。氦質(zhì)譜檢漏儀具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的優(yōu)點(diǎn)。蘇州移動(dòng)式氦質(zhì)譜檢漏儀品牌推薦氦檢儀應(yīng)用于調(diào)節(jié)閥氣路管道檢漏:調(diào)節(jié)閥又名控制閥,在現(xiàn)代化工廠的自動(dòng)控制中,調(diào)節(jié)閥起著十分重要的作用,如果調(diào)節(jié)閥...
氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試,測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過(guò)程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)??蒲袉挝弧⒄婵罩圃?、真空鍍膜、航空航天、核工業(yè)、電力、電子元器件、汽車(chē)及制冷、低溫容器、閥門(mén)、儀器儀表、聚酯等行業(yè)。氦檢儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。杭州智能氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)...
氦質(zhì)譜檢漏儀操作注意事項(xiàng):1、產(chǎn)品放入加壓罐中加壓時(shí),不能直接拆除加壓罐。必須先把加壓罐里面的氣體排出才能打開(kāi)。由于加壓罐中壓力比空氣中的壓力大以防造成一定的傷害因此在加壓過(guò)程中不能讓不相干的人員靠近并在加壓罐上方貼一個(gè)警告標(biāo)識(shí)。2、氦氣減壓閥連接氣瓶接口處要鎖緊不能有松動(dòng)情況。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。3、產(chǎn)品半檢漏時(shí),按壓住的組件不能挪動(dòng)或者強(qiáng)行扳開(kāi)。以防氣體沖擊帶來(lái)傷害。4、在進(jìn)行重氟油檢漏時(shí),產(chǎn)品不能直接放進(jìn)油箱中,而應(yīng)把油箱中的托盤(pán)拿出,把產(chǎn)品放在其上在慢慢放入油中。以防止油飛濺燙傷。氦檢儀檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右,對(duì)檢測(cè)大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。杭州推車(chē)式氦質(zhì)譜檢漏儀注意事項(xiàng)氦質(zhì)譜...
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子,在室內(nèi)來(lái)回地振蕩,并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子,這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)人磁場(chǎng),由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn),形成圓弧形軌道,改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀氦檢模塊氦檢儀中沒(méi)有手動(dòng)閥,現(xiàn)已采用自控閥自動(dòng)調(diào)節(jié)...
氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)?當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低,而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好,放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求,就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個(gè)時(shí)候,就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來(lái)進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下:先用細(xì)的高標(biāo)號(hào)金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件,這里不能用粗砂紙,因?yàn)榇稚凹埲菀讚p傷真空分析管道及離子源的各電極部件;然后用航空汽油和無(wú)水乙醇清洗,并用去離子水沖洗干凈;較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個(gè)清洗過(guò)程中需要注意,分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱,否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁,使氦檢儀的靈敏...
氦檢儀的撿漏方法:正壓法(吸入法)??煞譃檎婵障浞ê驼龎悍▋蓮埬J剑ぜ?nèi)充氦氣,吸搶檢測(cè)可根據(jù)工件漏率選擇性充入一定比例混合氦氣可檢測(cè)工件的具體漏點(diǎn)。檢測(cè)精度高。適用行業(yè):特種閥門(mén),高壓管道,制冷管路,汽輪機(jī)組等。因?yàn)榭諝庵泻?ppm的氦氣,正壓法檢漏靈敏度相對(duì)負(fù)壓法要低。氦檢儀正壓法有二種方式,即移動(dòng)嗅探式和氦罩累積式。前者只能定性檢測(cè)大漏,后者則可定量檢測(cè)微漏。氦質(zhì)譜檢漏正壓氦罩法注意事項(xiàng):氦罩要專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì),一般用金屬制作(塑料布在長(zhǎng)時(shí)間累積中滲透量太大)。如果累積時(shí)間短,也可用0.10~0.15mm的塑料布制作。檢測(cè)時(shí)氦罩應(yīng)盡量小,以便提高氦的壓升率。氦罩要密封。探測(cè)口要方便檢測(cè)。檢漏...
氦檢儀噪聲是哪兒來(lái)的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以分為兩種,一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上,目前通過(guò)對(duì)電子線路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過(guò)放大信號(hào)的辦法來(lái)提高信噪比來(lái)改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦...
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周?chē)h(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會(huì)失效。...
氦檢儀開(kāi)機(jī)如何操作?1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”,低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa,開(kāi)抽速閥,開(kāi)漏孔開(kāi)關(guān),表頭示值也應(yīng)能抽到原來(lái)位置,再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”,燈亮,擴(kuò)散泵開(kāi)始加熱。3、等20分鐘左右,擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱,開(kāi)冷規(guī)開(kāi)關(guān),“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開(kāi)抽速閥,過(guò)幾分鐘后開(kāi)冷規(guī),表頭指針應(yīng)從左打向右,再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)冷規(guī),可等一會(huì)兒再開(kāi)),當(dāng)真空示值超過(guò)1×10-2Pa后,可啟動(dòng)燈絲,燈亮,“發(fā)射電流”有指示,開(kāi)、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda),靈敏度...
氦檢儀噪聲是哪兒來(lái)的?高靈敏度氦檢儀的噪聲來(lái)源大體上可以分為兩種,一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲,另一個(gè)就是本底噪聲。實(shí)際上,目前通過(guò)對(duì)電子線路的改進(jìn),儀器中離子流接收放大及輸出電路引起的噪聲已經(jīng)降到很低的一個(gè)程度,因此已經(jīng)不是限制設(shè)備靈敏度的主要因素,如果特殊情況下仍然是限制靈敏度的主要因素的話,可以通過(guò)放大信號(hào)的辦法來(lái)提高信噪比來(lái)改善靈敏度。而本底噪聲則是由本底峰的不穩(wěn)定造成,與本底的大小以及電磁場(chǎng)參數(shù)的穩(wěn)定度有關(guān),具體的包括:1、離子源發(fā)射電子流的不穩(wěn)定性,加速電壓、分析器電磁參數(shù)的不穩(wěn)定性;2、氦氣在真空系統(tǒng)內(nèi)的吸附和再放出(如真空油脂、人造橡膠、有機(jī)絕緣材料都可以吸附和再放出氦...
氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控,特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中,應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見(jiàn)的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測(cè)準(zhǔn)度,所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇:1、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定,體積時(shí)大時(shí)小,靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí),就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定,需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí),就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上,還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問(wèn)題。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)在氦...
氦檢儀本底漏率值是什么?本底值是指由所處環(huán)境所形成的較穩(wěn)定的輻射水平或聲量,由于氦氣在空氣中的體積含量約為5ppm,5.24×10-6,也就是百萬(wàn)分之五左右,這說(shuō)明正常空氣環(huán)境中氦氣的含量很小,即氦本底很好。這也是用氦氣作為示蹤氣體的重要原因之一。只有在空氣中含量盡可能少的氣體,才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小.正因?yàn)楸镜仔。赡承┰蛞鸨镜椎牟▌?dòng),亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)。本底高一般都是泄漏的原因,建議檢查閥有沒(méi)有內(nèi)漏,試試增加清掃氣體的壓力,但是也不能過(guò)高,因?yàn)闀?huì)影響抽空效率。另外檢漏時(shí)切勿將大量的氦氣通進(jìn)儀器,避...
氦檢儀(HeliumMassSpectrometerLeakDetector)為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ),用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數(shù)小,因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設(shè)備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應(yīng),從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專(zhuān)業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口,性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高,而且操作方便,能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng)。...
氦檢儀常用的幾種檢漏方法:氦質(zhì)譜檢漏方法較多,根據(jù)被檢工件的測(cè)量目的可分為兩種類(lèi)型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過(guò)程中,應(yīng)根據(jù)檢驗(yàn)?zāi)康倪x擇較合理的方法,并根據(jù)被檢件的具體情況靈活運(yùn)用各種檢漏方法。測(cè)定漏點(diǎn)型氦質(zhì)譜檢漏方法。確定漏點(diǎn)型既是確定要檢部件的具體漏點(diǎn)或漏孔的位置,在大部件或大型部件中較為常見(jiàn),如衛(wèi)星、導(dǎo)彈彈體、彈頭、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐等。噴氦法氦質(zhì)譜檢漏方法。噴氦法又叫噴吹法,較常用、較方便的檢漏方法。一般用于檢測(cè)體積相對(duì)較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等)用噴頭噴氦。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)...