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基于MEMS技術的SAW器件： 聲表面波(SAW)傳感器是近年來發(fā)展起來的一種新型微聲傳感器，是種用聲表面波器件作為傳感元件，將被測量的信息通過聲表面波器件中聲表面波的速度或頻率的變化反映出來，并轉換成電信號輸出的傳感器。 聲表面波傳感...

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統模仿人類腸道的生理學。它解釋了腸道的主要功能，即消化、營養(yǎng)物質的吸收、腸神經的調節(jié)、體內廢物的排泄、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學。GoC模型主要用于精確復制具有所需微流控參數的腸道體內環(huán)境。Kim等人研究了當人...

大部分用戶對汽車、打印機內的MEMS無感，這些器件與用戶中間經過了數層中介。但是可穿戴/直接與用戶接觸，提升消費者科技感，更受年輕用戶喜愛，例子可見Fitbit等健身手環(huán)。該領域重要的主要有三大塊：消費、健康及工業(yè)，我們在此主要討論更受關注的前兩者。消費領域的...

MEMS制作工藝-太赫茲特性： 1.相干性由于它是由相千電流驅動的電偶極子振蕩產生，或又相千的激光脈沖通過非線性光學頻率差頻產生，因此有很好的相干性。THz的相干測量技術能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率，吸收系數等。 2...

MEMS制作工藝壓電器件的常用材料： 氧化鋅是一種眾所周知的寬帶隙半導體材料（室溫下3.4 eV，晶體），它有很多應用，如透明導體，壓敏電阻，表面聲波，氣體傳感器，壓電傳感器和UV檢測器。并因為可能應用于薄膜晶體管方面正受到相當的關注。同時氧化鋅還具...

MEMS繼電器與開關。其優(yōu)勢是體積小（密度高，采用微工藝批量制造從而降低成本），速度快，有望取代帶部分傳統電磁式繼電器，并且可以直接與集成電路IC集成，極大地提高產品可靠性。其尺寸微小，接近于固態(tài)開關，而電路通斷采用與機械接觸（也有部分產品采用其他通斷方式），...

物聯網普及極大拓展MEMS應用場景。物聯網的產業(yè)架構可以分為四層：感知層、傳輸層、平臺層和應用層，MEMS器件是物聯網感知層重要組成部分。物聯網的發(fā)展帶動智能終端設備普及，推動MEMS需求放量，據全球移動通信系統協會GSMA統計，全球物聯網設備數量已從2010...

MEMS的采樣精度，速度，適用性都可以達到較高水平，同時由于其體積優(yōu)勢可直接植入人體，是醫(yī)療輔助設備中關鍵的組成部分。傳統大型醫(yī)療器械優(yōu)勢明顯，精度高，但價格昂貴，普及難度較大，且一般一臺設備只完成單一功能。相比之下，某些醫(yī)療目標可以通過MEMS技術，利用其體...

光學領域上面較成功的應用科學研究主要集中在兩個方面:一是基于MOEMS的新型顯示、投影設備，主要研究如何通過反射面的物理運動來進行光的空間調制，典型標識為數字微鏡陣列芯片和光柵光閥。 二是通信系統，主要研究通過微鏡的物理運動來控制光路發(fā)生預期的改變，...

MEMS制作工藝-太赫茲特性： 1.相干性由于它是由相千電流驅動的電偶極子振蕩產生，或又相千的激光脈沖通過非線性光學頻率差頻產生，因此有很好的相干性。THz的相干測量技術能夠直接測量電場振幅和相位，從而方便提取檢測樣品的折射率，吸收系數等。 2...

射頻MEMS器件分為MEMS濾波器、MEMS開關、MEMS諧振器等。射頻前端模組主要由濾波器、低噪聲放大器、功率放大器、射頻開關等器件組成，其中濾波器是射頻前端中重要的分立器件，濾波器的工藝就是MEMS，在射頻前端模組中占比超過50%，主要由村田制作所等國外公...

MEMS制作工藝-微流控芯片： 1.微流控芯片是微流控技術實現的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構，流體在其中顯示和產生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發(fā)展出...

MEMS制作工藝-太赫茲超材料器件應用前景： 在通信系統、雷達屏蔽、空間勘測等領域都有著重要的應用前景，近年來受到學術界的關注。基于微米納米技術設計的周期微納超材料能夠在太赫茲波段表現出優(yōu)異的敏感特性，特別是可與石墨烯二維材料集成設計，獲得更優(yōu)的頻譜...

微流控芯片的組成：微流控芯片由主體芯片、流體控制模塊、信號采集模塊和外部控制模塊組成。主體芯片是一個微通道網絡，由微流道、微閥門、微泵等構成；流體控制模塊負責流體的輸入、輸出和控制；信號采集模塊用于采集傳感器的信號；外部控制模塊用于控制芯片的操作。 ...

美國圣母大學(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學家和免疫檢測professor合作研究，提高了微流控分析設備檢測細胞和生物分子的速度和靈敏性。同時，Chang對交流電動電學進行了改善，因為他認為交...

微流控芯片,這個會通過檢測血清中infection疾病的特異性抗體，有助于調查人群中疾病流行情況、監(jiān)測疾病的傳播的情況，并確定infected患者。研究人員開發(fā)一種高通量的微流控熒光免疫芯片，可以同時檢測50份血清樣本中多種COVID 19抗體，在COVID ...

利用微流控芯片對tumour標志物檢測：通過檢測tumour特異性生物標志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于監(jiān)測抗tumour藥物治療效果。在tumour檢測領域，Regiart等研制一種用于tumour生物標志物檢測的超敏感便攜式微流控設備，總檢測時間只...

apparatus微流控芯片（OoC）：OoC是一種微工程3D體外組織模型，其中微區(qū)室通過幾個微流控通道連接。它有助于復制任何apparatus的生理環(huán)境。此外，它也可用于生化分析。在藥物發(fā)現過程中，重要的是在進行臨床試驗之前預測任何藥物的作用。這一步通常既費...

微流控芯片反應信號的收集和分析的難題：由于反應體系較小，故而只產生較低的信號強度，如何收集并分析芯片中產生的信號，是微流控芯片研究的另一項重點，因此，微流控芯片大多需要龐大的信號讀取和分析設備。近年來便攜性、自動化、敏感的新型微流控芯片讀取設備受到科研人員關注...

基于微流控芯片的鏈式聚合反應（PCR）更進一步的產品是可集成樣品前處理的基因鑒定方法之一。由于具有高度重復和低消耗樣品或試劑的特性，這種自動化和半自動化的微流控芯片在早期的藥物研發(fā)中，得到了廣泛應用。Caliper的商業(yè)模式是將芯片看作是與昂貴的電子學和光學儀...

微流控芯片是微流控技術實現的主要平臺。其裝置特征主要是其容納流體的有效結構（通道、反應室和其它某些功能部件）至少在一個緯度上為微米級尺度。由于微米級的結構，流體在其中顯示和產生了與宏觀尺度不同的特殊性能。因此發(fā)展出獨特的分析產生的性能。微流控芯片的特點及發(fā)展優(yōu)...

通過微流控芯片檢測，有助于改進診斷性能、發(fā)現尚未被識別的致病性自身抗體。隨著微流控免疫芯片的推廣，自身抗體檢測成為微流控免疫芯片的重要研究方向之一。此類芯片的設計不同于其他免疫芯片，用于自身抗體檢測的微流控芯片須將自身抗原固定在芯片表面。Matsudaira等...

Lee等人先前解釋說，與2D模型相比，微流控3D技術中腎單位的藥效學和病理生理學反應更為實用。KoC已被開發(fā)并證明可顯示出更好的藥物腎毒性體內后果，該系統已被進一步用于確定各種藥物誘導的生物反應。此外，它還有助于培養(yǎng)近端小管，用于觀察預測藥物誘導的腎損傷（DI...

心臟組織微流控芯片（HoC）是一種先進的OoC，它模仿了服用劑型或特定藥物分子后人類心臟的整體生理學。使用該芯片已經觀察到一些不良反應。Mathur等人在2015年證明了動物試驗不足以估計測試藥物分子相對于人體的確切藥代動力學和藥效學。為此，微流控芯片技術在心...

微流控分析芯片當初只是作為納米技術的一個補充，在經歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，卻實現了商業(yè)化生產。微流控分析芯片在美國被稱為“芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytical syste...

美國圣母大學(University of Notre Dame)的Hsueh-Chia Chang博士與微生物學家和免疫檢測professor合作研究，提高了微流控分析設備檢測細胞和生物分子的速度和靈敏性。同時，Chang對交流電動電學進行了改善，因為他認為交...

微流控芯片技術采用先進的MEMS和半導體跨界創(chuàng)新策略，是生命科學和生物醫(yī)學領域的新興科學。該技術能夠有效控制液體的物理化學反應。由于其微型縮小方法，它帶來了高質量交換和高通量。它主要用于藥物發(fā)現、蛋白質組學、藥物篩選、臨床分析和食品創(chuàng)新。目前，各種類型的微流控...

微流控分析芯片當初只是作為納米技術的一個補充，在經歷了大肆宣傳及冷落的不同時期后，卻實現了商業(yè)化生產。微流控分析芯片在美國被稱為“芯片實驗室”（lab-on-a-chip），在歐洲被稱為“微整合分析芯片”（micrototal analytical syste...

Yuen博士所領導的研究小組的研究領域包括MEMS微電動機械系統、光學和微流體學，目前致力于研發(fā)新藥的非標定檢測系統方面的研究。與芯片之間的比較美國CascadeMicrotech公司的CaliSartor認為，當今生命科學領域的微流體與20年前工業(yè)領域的半導...

先前報道了微流控芯片的另一項采用體外細胞培養(yǎng)技術的研究，其中軸突和體細胞被物理分離，從而允許軸突通過微通道。借助這項技術，神經科學家可以研究軸突本身的特征，或者可以確定藥物對軸突部分的作用，并可以分析軸突切斷術后的軸突再生。值得一提的是，微通道可能會對組織或細...