具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內空間NA和0.991的線形相關系數R2。這個構造達到了原始設計要求,表現(xiàn)出了光學性能。在實現(xiàn)線性散射方面,有一些關鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優(yōu)化方法來完善設計。首先,線性散射的完成條件是確保攝像鏡頭的各光譜成分具有相同的焦點位置,以減少色差。為了滿足這一條件,需要采用精確的光學元件制造和裝配,以確保不同波長的光線匯聚在同一焦點上。此外,使用特殊的透鏡設計和涂層技術也可以減小縱向色差。在優(yōu)化設計方面,一類方法是采用非球面透鏡,以更好地校正色差,提高圖象質量。另一類方法包括使用折射率不同的材料組合,以控制光線的傳播和散射。此外...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌的先進技術。在工業(yè)生產中,玻璃瓶是一種常見的包裝容器,其厚度對于產品的質量和安全性至關重要。因此,精確測量玻璃瓶厚度的方法對于生產過程至關重要。本文將介紹一種利用光譜共焦位移傳感器測量玻璃瓶厚度的具體方法。首先,我們需要準備一臺光譜共焦位移傳感器設備。該設備通過激光束照射到玻璃瓶表面,利用光譜共焦原理來測量玻璃瓶表面的形貌和厚度。其工作原理是通過測量激光束反射回來的光譜信息,來計算出玻璃瓶表面的形貌和厚度。接下來,我們需要將玻璃瓶放置在測量臺上,確保其表面平整且垂直于光譜共焦位移傳感器的激光束。然后,我們啟動設備,讓激光束照射到玻璃瓶表面,開始進行測...
隨著科技的進步和應用的深入,光譜共焦在點膠行業(yè)中的未來發(fā)展前景非常廣闊。以下是一些可能的趨勢和發(fā)展方向:高速化方向,為了滿足不斷提高的生產效率要求,光譜共焦技術需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進硬件設備,以提高數據處理速度和檢測效率。智能化方向,通過引入人工智能和機器學習技術,光譜共焦可以實現(xiàn)更復雜的分析和判斷能力,例如自動識別不同種類的點膠、檢測微小的點膠缺陷等。這將有助于提高檢測精度和降低人工成本。多功能化方向,為了滿足多樣化的生產需求,光譜共焦技術可以擴展到更多的應用領域。例如,將光譜共焦技術與圖像處理技術相結合,可以實現(xiàn)更復雜的樣品分析和檢測任務。另外 環(huán)...
隨著機械加工水平的不斷發(fā)展,各種微小而復雜的工件都需要進行精確的尺寸和輪廓測量,例如測量小零件的內壁凹槽尺寸和小圓角。為避免在接觸測量過程中刮傷光學表面,一些精密光學元件也需要進行非接觸式的輪廓形貌測量。這些測量難題通常很難用傳統(tǒng)傳感器來解決,但可以使用光譜共焦傳感器來構建測量系統(tǒng)。通過二維納米測量定位裝置,光譜共焦傳感器可以作為測頭,以實現(xiàn)超精密零件的二維尺寸測量。使用光譜共焦位移傳感器,可以解決渦輪盤輪廓度在線檢測系統(tǒng)中滾針渦輪盤輪廓度檢測的問題。在進行幾何量的整體測量過程中,還需要采用多種不同的工具和技術對其結構體系進行優(yōu)化,以確保幾何尺寸的測量更加準確 。光譜共焦位移傳感器可以應用于材...
光譜共焦測量技術由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實時性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點,已成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學、材料科學、半導體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領域廣泛應用。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠實現(xiàn)0.025 μm的重復精度、±0.02%的線性精度,30kHz的采樣速度和±60°的測量角度,適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網和模擬量的數據傳輸接口。光譜共焦位移傳感器可以用于結構的振動、變形和位移等參...
光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量,提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數據。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,并且只需要使用一個傳感器從工件的一側進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,體積小,且?guī)в斜憬莸臄祿涌?,因此很容易集成到在線生產和檢測設備中 實現(xiàn)線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對震動物體進行測量,同時采用無觸碰設計,避免了測量過程中對震動物體的干擾,也可以對復雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 。激光技術的發(fā)展推動了激光位移傳感...
光譜共焦測量技術是共焦原理和編碼技術的結合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準確測量。光譜共焦位移傳感器的準確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點。當待測物體放置在檢測范圍內時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產生波峰信號。其他波長將失去對焦 。使用干涉儀的校準信息可以計算待測物體的位置,并創(chuàng)建對應于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關鍵部件,其設計方案非常重要。光譜共焦技術的應用將有助于推動中國科技創(chuàng)新的發(fā)展。高采樣速率光譜共焦定做價格在實踐中,...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間。現(xiàn)在,我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經通過測試和驗證 。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的振動頻率和振動幅度的測量,對于研究材料的振動特性具有重要意義。防水光譜共焦主要功能與優(yōu)勢精密幾何量計量測試中光譜共焦技術的應用十分重要,其能夠讓光譜共...
物體的表面形貌可以基于距離的確定來進行。光譜共焦傳感器還可用于測量氣缸套的圓度、直徑、粗糙度和表面結構。當測量對象包含不同類型的材料(例如塑料和金屬)時,盡管距離值保持不變,但反射率會突出材料之間的差異。劃痕和不平整會影響反射度并變得可見。在檢測到信號強度的變化后,系統(tǒng)會創(chuàng)建目標及其精細結構的精確圖像。 除了距離測量之外,另一種選擇是使用信號強度進行測量,這可以實現(xiàn)精細結構的可視化 。通過恒定的曝光時間,可以獲得關于表面評估的附加信息,而這靠距離測量是不可能的。光譜共焦位移傳感器可以用于結構的振動、變形和位移等參數的測量。有哪些光譜共焦成本價光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來的技術,在測...
在塑料薄膜和透明材料薄厚測量方面,研究人員探討了光譜共焦傳感器在全透明平板電腦平整度測量中由于不同折射率引入的測量誤差并進行了補償,在機器視覺技術方面利用光譜共焦傳感器檢測透明材料的薄厚及弧形玻璃曲面的薄厚。在外表粗糙度測量方面,研究人員闡述了不同方式測量外表粗糙度的優(yōu)缺點,并選擇了基于光譜共焦傳感器的測量方式進行試驗,為外表粗糙度的高精密測量提供了一種新方法 。研究人員利用小二乘法計算校準誤差并進行了離散系統(tǒng)誤差測算,以減少光譜共焦傳感器校準后的誤差,并在不同精度標準器下探尋了光譜共焦傳感器的校準誤差變化情況,這對于今后光譜共焦傳感器的應用和科學研究具有重要意義。光譜共焦能夠提高研究和制造的...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續(xù)的焦點組 ,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術可以實現(xiàn)對樣品內部結構的觀察和分析。在線管道壁厚...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設備來檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準檢查所需的時間?,F(xiàn)在,我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經通過測試和驗證 。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的表面形貌進行高精度測量,對于研究材料的表面性質具有重要意義。非接觸式光譜共焦推薦光譜共焦位移傳感器是一種基于光波長偏移調制的非接觸式位移傳感器。它也是...
實際中,光譜共焦位移傳感器可用于許多方面。它采用獨特的光譜共焦測量原理,利用單探頭可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料的單向精確厚度測量,可有效監(jiān)控藥劑盤和鋁塑泡罩包裝的填充量,實現(xiàn)納米級分辨率的精確表面掃描。該傳感器可以單向測量試劑瓶的壁厚,并且對瓶壁沒有壓力 ,通過設計轉向反射鏡可實現(xiàn)孔壁結構檢測和凹槽深度測量(90度側向出光版本探頭可直接測量深孔和凹槽)。光譜共焦傳感器還可用于層和玻璃間隙測量,以確定單層玻璃層之間的間隙厚度。激光位移傳感器可分為點、線兩種形式。高采樣速率光譜共焦的原理光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,其測量精度可達到0.02%。相比于光柵尺、容柵、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器...
光譜共焦傳感器專為需要高精度的測量任務而設計,通常是研發(fā)任務、實驗室和醫(yī)療、半導體制造、玻璃生產和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進行距離測量外 ,這些傳感器還可用于測量深色、漫射材料,以及透明薄膜、板或層的單面厚度測量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達 100 毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應用方面提供更大的靈活性。此外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測量變化的表面特征時提供了更好的性能。光譜共焦技術的研究對于相關行業(yè)的發(fā)展具有重要意義??讬z測傳感器光譜共焦使用誤區(qū)光譜共焦技術是在共焦顯微術基礎上發(fā)展而來的技術,在測量過程中無需軸向掃描,直接由波長對應軸向距離信息,因此可以...
光譜共焦技術主要包括成像、位置確認和檢測三個步驟。首先,使用顯微鏡對樣品進行成像,并將圖像傳遞給計算機處理。然后通過算法對圖像進行位置確認,以確定樣品的空間位置。之后,通過對樣品的光譜信息分析,實現(xiàn)對其成分的檢測。在點膠行業(yè)中,光譜共焦技術可以準確地檢測點膠的位置和尺寸,確保點膠的質量和精度。同時,通過對點膠的光譜分析,可以了解到點膠的成分和性質,從而優(yōu)化點膠工藝 。該技術在點膠行業(yè)中的應用有以下幾個方面:提高點膠質量,光譜共焦技術可以檢測點膠的位置和尺寸,避免漏點或點膠過多等問題。同時,由于其高精度的檢測能力,可以確保點膠的精確度和一致性。提高點膠效率,通過光譜共焦技術對點膠的檢測,可以減少...
光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術。它利用光學原理和共焦原理,通過測量光譜信號的位移來實現(xiàn)對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統(tǒng)配合使用。光源通常LED光源,以保證光譜信號的穩(wěn)定和清晰。檢測系統(tǒng)則包括光譜儀和位移傳感器,用于測量和記錄光譜信號的位移。其次,測量過程中需要對工件表面進行預處理。這包括清潔表面、去除雜質和涂覆適當的反射涂料,以提高光譜信號的反射率和清晰度。同時,還需要調整光譜共焦位移傳感器的焦距和角度,以確保光譜信號能夠準確地投射到工件表面并被傳感器檢測...
在硅片柵線的厚度測量過程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485 、USB、以太網和模擬量數據傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標記三個區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區(qū)域的選擇具有較大的...
光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量,提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數據。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,并且只需要使用一個傳感器從工件的一側進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,因采用同軸光,所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,體積小,且?guī)в斜憬莸臄祿涌冢虼撕苋菀准傻皆诰€生產和檢測設備中 實現(xiàn)線上檢測 。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,該傳感器可以對震動物體進行測量,同時采用無觸碰設計,避免了測量過程中對震動物體的干擾,也可以對復雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不...
在操作高精度光譜共焦傳感器時,有一些重要的注意事項需要遵守。首先,需要確保設備處于穩(wěn)定的環(huán)境中,避免外部振動或干擾對傳感器的影響。其次,在使用過程中要注意保持設備的清潔和維護,避免灰塵或污垢影響傳感器的準確性。另外,操作人員需要嚴格按照設備說明書中的操作步驟進行,避免誤操作導致設備損壞或數據錯誤。定期對設備進行校準和檢測,確保其性能和準確度符合要求。通過遵守這些注意事項 ,可以保證高精度光譜共焦傳感器的正常運行和準確性。激光位移傳感器的應用主要是用于非標的特定檢測設備中。新品光譜共焦優(yōu)勢光譜共焦位移傳感器是一種可用于測量工件形貌的高精度傳感器 。它利用光學原理和共焦技術,對工件表面形貌進行非接...
光譜共焦傳感器可以提供結合高精度和高速的新現(xiàn)代技術。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須能夠進行高速測量并提供高精度結果,以確??煽康馁|量保證。光學測量技術是非接觸式的,于目標材料分開和表面特性,因此它們對生產和檢測過程變得越來越重要。這是“實時”生產過程中的一個主要優(yōu)勢,在這種過程中,觸覺測量技術正在發(fā)揮其極限,尤其是當目標位于難以接近的區(qū)域時。光譜共焦傳感器提供突破性的技術、高精度和高速度。此外,共焦色差測量技術允許進行距離測量、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內的測量。測量過程是無磨損的、非接觸式的,并且實...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內形成一個連續(xù)的焦點組,每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反射回來的光再經過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此 只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置。采用高數值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料的性能測試和分析。怎樣選...
采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數據進行了偏移。結果得出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。從靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數據和白光共焦光譜輪廓儀測量數據的功率譜曲線中可以看出,在模數低于100的功率譜范圍內,兩種方法的測量結果一致性較好,當模數大于100時,白光共焦光譜的測量數據大于原子力顯微鏡的測量數據,這也反應了白光共焦光譜儀在...
在電化學領域,電極片的厚度是一個重要的參數,直接影響著電化學反應的效率和穩(wěn)定性,我們將介紹光譜共焦位移傳感器對射測量電極片厚度的具體方法。首先,我們需要準備一塊待測電極片和光譜共焦位移傳感器。將電極片放置在測量平臺上,并調整傳感器的位置,使其與電極片表面保持垂直。接下來,通過軟件控制傳感器進行掃描,獲取電極片表面的光譜信息。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)納米級的分辨率,因此可以準確地測量電極片表面的高度變化。在獲取了電極片表面的光譜信息后,我們可以利用反射光譜的特性來計算電極片的厚度。通過分析反射光譜的強度和波長分布,我們可以得到電極片表面的高度信息。同時,還可以利用光譜共焦位移傳感器的對射測量功...
隨著科技的不斷進步 ,手機已經成為我們日常生活中不可或缺的一部分。然而,隨著手機功能的不斷擴展和提升,手機零部件的質量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器被引入到手機零部件檢測中,為手機制造業(yè)提供了一種全新的解決方案。高精度光譜共焦傳感器是一種先進的光學檢測設備,它能夠實現(xiàn)在微米級別的精確測量,同時具有高速、高分辨率和高靈敏度的特點。這使得它在手機零部件檢測方面具有獨特的優(yōu)勢。首先,高精度光譜共焦傳感器能夠實現(xiàn)對手機零部件表面缺陷的高精度檢測,包括微小的劃痕、凹陷和顆粒等。其次,它還能夠對手機零部件的材料成分進行準確分析,確保手機零部件的質量符合要求。另外,高精度光譜共...
光譜共焦測量原理是使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面上。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。每個波長都有一定的偏差(特定距離)進行工廠校準。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。通過共焦孔徑反射到目標表面的光會被光譜儀檢測并處理。漫反射表面和鏡面反射表面都可以使用光譜共焦原理進行測量。共焦測量提供納米級分辨率,并且?guī)缀跖c目標材料分開運行。傳感器的測量范圍內有一個非常小的、恒定的光斑尺寸。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內壁的表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔 。光譜共焦位移傳感器可以用于結構的振動、變形和位移等參數的測量。智能光譜共焦精度在硅片柵...
光譜共焦位移傳感器是一種用于測量物體表面形貌的先進技術。在工業(yè)生產中,玻璃瓶是一種常見的包裝容器,其厚度對于產品的質量和安全性至關重要。因此,精確測量玻璃瓶厚度的方法對于生產過程至關重要。本文將介紹一種利用光譜共焦位移傳感器測量玻璃瓶厚度的具體方法。首先,我們需要準備一臺光譜共焦位移傳感器設備。該設備通過激光束照射到玻璃瓶表面,利用光譜共焦原理來測量玻璃瓶表面的形貌和厚度。其工作原理是通過測量激光束反射回來的光譜信息,來計算出玻璃瓶表面的形貌和厚度。接下來,我們需要將玻璃瓶放置在測量臺上,確保其表面平整且垂直于光譜共焦位移傳感器的激光束。然后,我們啟動設備,讓激光束照射到玻璃瓶表面,開始進行測...
在容器玻璃生產過程中,圓度和壁厚是重要的質量特征,需要進行檢查。任何有缺陷的容器都會被判定為不合格產品并返回到玻璃熔體中 。為了實現(xiàn)快速的非接觸式測量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對于這種測量任務,光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個點上同步測量并通過EtherCAT接口實時輸出數據,厚度校準功能允許在傳感器的整個測量范圍內進行精確的厚度測量。此外,自動曝光控制可以實現(xiàn)對不同玻璃顏色的測量的穩(wěn)定性。該技術可以采集樣品不同深度處的光譜信息進行測量。防水光譜共焦制造廠家光譜共焦位移傳感器在金屬內壁輪廓掃描測量中具有大量的應用,以下是幾種典型應用:尺寸測量利用光譜共焦位移傳感器可以精確...
三坐標測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產品尺寸及形位公差檢測設備,其具有通用性強,精確可靠等優(yōu)點。本文面向一種特殊材料異型結構零件內曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標測量機平臺執(zhí)行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標,根據空間坐標關系,將測量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓,經高斯濾波處理得到測量對象的表面粗糙度信息 。光譜共焦技術在材料科學領域可以用于材料的性能測試和分析。怎樣選擇光譜共焦的精度靶丸內表面輪廓是激光核聚變靶丸的關鍵參數,需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮...
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因為其測量精度高,對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強的抵抗能力等特點,應用前景十分大量。文章通過對原理的分析,設計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負透鏡組分離結構組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補償法該鏡,在486, ..._,656nm波長范圍內,色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達到0.9976,很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度,配以合適的光譜儀,傳感器的分辨率可達到5nm的測量精度。符合設計要求產生了較大的線性軸向色散,在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性。激光位移傳感器在微位移測量...