芯片研發(fā)制造過程鏈條漫長，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進行精密檢測以確保良率，降低生產成本。提高制造控制工藝，并通過不斷研發(fā)迭代和測試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場并逐漸應用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應力，傳統(tǒng)測試方法難以獲??；高精度三維顯微應變測量技術的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測量領域的限制，特別是在半導體材料、芯片結構變化細微的測量條件下，三維應變測量技術分析尤為重要。 三維應變測量技術是一種用于測量物體三維應變狀態(tài)的重要工程測量方法。福建高速光學數(shù)字圖像相關變形測量

光學非接觸應變測量是一種先進的測量技術，它利用光學原理實現(xiàn)對物體應變的間接測量，無需與被測物體直接接觸。以下是對光學非接觸應變測量的詳細介紹：光學非接觸應變測量的基本原理是利用光與物質相互作用時產生的光學現(xiàn)象，如光的反射、折射、干涉、衍射等，來間接地測量物體的變形。當物體發(fā)生應變時，其表面的形貌或光學性質會發(fā)生變化，這些變化可以通過光學傳感器捕捉到，并轉化為電信號進行處理和分析，從而得到物體的應變信息。福建高速光學數(shù)字圖像相關變形測量光學非接觸應變測量主要依賴于光學測量技術，如數(shù)字全息術、激光測振儀、數(shù)字圖像相關法（DIC）等。

    橡膠拉力試驗機采用直流伺服電機及調速系統(tǒng)一體化結構驅動同步帶減速機構，經減速后帶動絲杠副進行加載。電氣部分包括負荷測量系統(tǒng)和變形測量系統(tǒng)組成，所有的控制參數(shù)及測量結果均可以在大屏幕液晶上實時顯示，并具有過載保護、位移測量等功能。適用于橡膠、復合膜、軟質包裝材料、膠粘劑、膠粘帶、不干膠、橡膠、紙張等產品的拉伸、剝離、撕裂、熱封、粘合等性能測試；能夠保存6次試驗數(shù)據(jù)及結果，具有曲線顯示，查詢等必要的功能。

    機械式應變測量方法：機械式應變測量已經有很長的歷史，其主要利用百分表或千分表測量變形前后測試標距內的距離變化而得到構件測試標距內的平均應變。工程測量中使用的機械式應變測量儀器主要包括手持應變儀和千分表引伸計。機械式應變測量方法主要突出的特點是讀數(shù)直觀、環(huán)境適應能力強、可重復性使用等。但需要人工讀數(shù)、費時費力、精度差，對于應變測點數(shù)量眾多的橋梁靜載試驗顯然不合適。因此，除了少數(shù)室內模型試驗的特殊需要，工程結構中很少使用。 一些新的技術被引入，如數(shù)字圖像相關等，這些方法提高了測量的準確性和精度，還擴展了應變測量的應用范圍。

   拉力試驗力值的應變測量是通過測力傳感器、擴展器和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)來完成的。從數(shù)據(jù)力學上看，在小變形的前提下，彈性元件的某一點應變霹靂與彈性元件的力成正比，也與彈性變形成正比。以S型試驗機傳感器為例，當傳感器受到拉力P的影響時，由于彈性元件的應變與外力P的大小成正比，彈性元件的應變與外力P的大小成正比，應變片可以連接到測量電路，測量其輸出電壓，然后測量輸出力的大小。變形測量是通過變形測量和安裝來測量的，用于測量樣品在實驗過程中的變形。安裝有兩個夾頭，通過一系列的傳記念頭結構與安裝在測量和安裝頂部的光電編碼器連接。光學非接觸應變測量利用全息干涉術和激光散斑術，通過光的干涉和散斑圖案分析物體表面應變。福建高速光學數(shù)字圖像相關變形測量

電阻應變測量(電測法)是實驗應力分析中使用較廣和適應性比較強的方法之一。福建高速光學數(shù)字圖像相關變形測量

可以采用相似材料結構模型實驗的手段，以鋼筋混凝土框架結構為研究對象，通過數(shù)字散斑的光學非接觸應變測量方式，獲取強烈地震作用下模型表面的三維全場位移及應變數(shù)據(jù)。應變計作為應變測量的工具，存在著貼片過程繁瑣，測量精度嚴重依賴其貼片質量，對環(huán)境溫度敏感等問題。此外，應變計無法進行全場測量，難以捕捉到關鍵位置的變形出現(xiàn)的初始位置，當框架結構發(fā)生較大范圍變形或斷裂，應變計在試件出現(xiàn)斷裂時容易損壞，影響測試數(shù)據(jù)的質量。福建高速光學數(shù)字圖像相關變形測量