芯片研發(fā)制造過程鏈條漫長，很多重要工藝環(huán)節(jié)需要進(jìn)行精密檢測(cè)以確保良率，降低生產(chǎn)成本。提高制造控制工藝，并通過不斷研發(fā)迭代和測(cè)試，才能制造性能更優(yōu)異的芯片，走向市場(chǎng)并逐漸應(yīng)用到生活和工作的方方面面。由于芯片尺寸小，在溫度循環(huán)下的應(yīng)力，傳統(tǒng)測(cè)試方法難以獲?。桓呔热S顯微應(yīng)變測(cè)量技術(shù)的發(fā)展，打破了原先在微觀尺寸測(cè)量領(lǐng)域的限制，特別是在半導(dǎo)體材料、芯片結(jié)構(gòu)變化細(xì)微的測(cè)量條件下，三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)分析尤為重要。 三維應(yīng)變測(cè)量技術(shù)可用于測(cè)量汽車車身、底盤等部件在受力或變形時(shí)的應(yīng)變狀態(tài)，以優(yōu)化汽車的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。新疆高速光學(xué)非接觸式應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)

   對(duì)鋼材性能的應(yīng)變測(cè)量主要是檢查裂紋、孔、夾渣等，對(duì)焊縫主要是檢查夾渣、氣泡、咬邊、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸不夠等，對(duì)鉚釘或螺栓主要是檢查漏焊、漏檢、錯(cuò)位、燒穿、漏焊、未焊透及焊腳尺寸等。檢驗(yàn)方法主要有外觀檢驗(yàn)、X射線、超聲波、磁粉、滲透性等。超聲波在金屬材料測(cè)量中對(duì)頻率要求高，功率不需要過大，因此測(cè)量靈敏度高，測(cè)試精度高。超聲測(cè)量一般采用縱波測(cè)量和橫波測(cè)量（主要用來測(cè)量焊縫）。用超聲來檢查鋼結(jié)構(gòu)時(shí)，要求測(cè)量點(diǎn)的平整度、光滑。廣東VIC-3D非接觸式測(cè)量裝置光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量利用光學(xué)原理和方法，在不與被測(cè)物體直接接觸的情況下，測(cè)量物體的應(yīng)變情況。

   振弦式應(yīng)變測(cè)量傳感器的研究起源于20世紀(jì)30年代，其工作原理如下：鋼弦在一定的張力作用下具有固定的自振頻率，當(dāng)張力發(fā)生變化時(shí)其自振頻率也會(huì)隨之發(fā)生改變。當(dāng)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生應(yīng)變時(shí)，安裝在其上的振弦式傳感器內(nèi)的鋼弦張力發(fā)生變化，導(dǎo)致其自振頻率發(fā)生變化。通過測(cè)試鋼弦振動(dòng)頻率的變化值，能夠計(jì)算得出測(cè)點(diǎn)的應(yīng)力變化值。振弦式應(yīng)變測(cè)量傳感器的特點(diǎn)是具有較強(qiáng)的抗干擾能力，在進(jìn)行遠(yuǎn)距離輸送時(shí)信號(hào)失真非常小，測(cè)量值不受導(dǎo)線電阻變化以及溫度變化的影響，傳感器結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單、制作與安裝的過程比較方便。

光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量是一種先進(jìn)的測(cè)量技術(shù)，它利用光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)對(duì)物體應(yīng)變的間接測(cè)量，無需與被測(cè)物體直接接觸。以下是對(duì)光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量的詳細(xì)介紹：光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量的基本原理是利用光與物質(zhì)相互作用時(shí)產(chǎn)生的光學(xué)現(xiàn)象，如光的反射、折射、干涉、衍射等，來間接地測(cè)量物體的變形。當(dāng)物體發(fā)生應(yīng)變時(shí)，其表面的形貌或光學(xué)性質(zhì)會(huì)發(fā)生變化，這些變化可以通過光學(xué)傳感器捕捉到，并轉(zhuǎn)化為電信號(hào)進(jìn)行處理和分析，從而得到物體的應(yīng)變信息。光學(xué)應(yīng)變測(cè)量快速實(shí)時(shí)，適用于動(dòng)態(tài)應(yīng)變分析和實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

電子散斑干涉技術(shù)特點(diǎn)：技術(shù)優(yōu)勢(shì)納米級(jí)位移靈敏度全場(chǎng)實(shí)時(shí)測(cè)量能力對(duì)振動(dòng)不敏感可測(cè)微小變形系統(tǒng)配置要點(diǎn)激光光源穩(wěn)定性<0.5%防振光學(xué)平臺(tái)相移裝置精度λ/100溫控環(huán)境建議±1℃典型應(yīng)用場(chǎng)景微電子器件熱變形MEMS器件測(cè)試薄膜殘余應(yīng)力分析微納尺度力學(xué)行為，系統(tǒng)集成解決方案與力學(xué)測(cè)試設(shè)備聯(lián)用原位加載系統(tǒng)同步控制多物理場(chǎng)數(shù)據(jù)融合實(shí)時(shí)應(yīng)變反饋系統(tǒng)異構(gòu)圖譜數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)特殊環(huán)境集成(1)高溫環(huán)境：耐高溫鏡頭保護(hù)熱輻射校正算法藍(lán)光照明方案(2)真空環(huán)境：光學(xué)窗口長距顯微配置防污染設(shè)計(jì)(3)液體環(huán)境：防水觀測(cè)窗折射率補(bǔ)償懸浮粒子示蹤。激光干涉儀法：利用激光光束的干涉原理來測(cè)量物體表面的形變信息。通過測(cè)量光束的相位變化。湖南全場(chǎng)三維數(shù)字圖像相關(guān)應(yīng)變測(cè)量

振弦式應(yīng)變測(cè)量傳感器具有較強(qiáng)的抗干擾能力。新疆高速光學(xué)非接觸式應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)

    應(yīng)變式稱重傳感器，是一款將機(jī)械力巧妙轉(zhuǎn)化為電信號(hào)的設(shè)備，準(zhǔn)確測(cè)量重量與壓力。只需將螺栓固定在結(jié)構(gòu)梁或工業(yè)機(jī)器部件，它便能敏銳感知因施加的力而產(chǎn)生的零件壓力。作為工業(yè)稱重與力測(cè)量的中心工具，應(yīng)變式稱重傳感器展現(xiàn)了厲害的高精度與穩(wěn)定性。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，其靈敏度和響應(yīng)能力得以提升，使得這款傳感器在眾多工業(yè)稱重與測(cè)試應(yīng)用中備受青睞。在實(shí)際操作中，將儀表直接置于機(jī)械部件上，不只簡(jiǎn)便還經(jīng)濟(jì)高效。此外，傳感器亦可輕松安裝于機(jī)械或自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備上，實(shí)現(xiàn)重量與力的準(zhǔn)確測(cè)量。光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量技術(shù)嶄新登場(chǎng)，運(yùn)用光學(xué)傳感器測(cè)量物體應(yīng)變。相較于傳統(tǒng)接觸式應(yīng)變測(cè)量，其獨(dú)特優(yōu)勢(shì)顯而易見。較明顯的是，它無需與被測(cè)物體接觸，從而避免了由接觸引發(fā)的測(cè)量誤差。光學(xué)傳感器具備高靈敏度與快速響應(yīng)特性，能夠?qū)崟r(shí)捕捉物體的應(yīng)變變化。更值得一提的是，光學(xué)非接觸應(yīng)變測(cè)量還能應(yīng)對(duì)復(fù)雜環(huán)境挑戰(zhàn)，如在高溫、高壓或強(qiáng)磁場(chǎng)的環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量。 新疆高速光學(xué)非接觸式應(yīng)變測(cè)量系統(tǒng)