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氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器,其工作原理是對進入質(zhì)譜室的氦氣分子電離,轟擊靶心產(chǎn)生電離,并放大,通過電流大小的判斷氦氣分子的多少!進入質(zhì)譜室氦氣分子的比例(分流比),還有電氣參數(shù)的不同,電流相同,漏率可能不同;或漏率不同,電流相同;所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少,需要參照物,這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識:(1)前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng);(2)電磁閥組的超聲清洗;(3)質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護。氦檢儀不只靈敏度高,而且操作方便;常州進口氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家
氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離,根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點,利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號,而對其他氣體沒有反應(yīng),屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中,一旦出現(xiàn)信號,就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件,從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體,主要是因為氦質(zhì)量輕,易于穿過漏孔,擴散快,對分析設(shè)備制造的要求相對簡單;同時氦氣在空氣中含量少,本底壓力小,又為惰性氣體,不易發(fā)生反應(yīng)等等,都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。溫州小型氦質(zhì)譜檢漏儀使用方法氦檢儀可靠的品質(zhì)保證普遍的市場應(yīng)用。
影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測精度的因素:1、受到檢測壓力的影響,泄漏率對測試壓力的依賴性,對不同的測量條件是不同的。一般而言,對于多孔性(如鑄造氣泡、裂縫)較高時,試驗壓力對泄漏率的影響較大,而對于多孔性較低時則影響較小。另外,隨測試壓力的增高,還會帶來諸如溫度影響,所需穩(wěn)定時間加長等一系列問題。因此,建議對特定的工件可采用在一定壓力范圍內(nèi)進行泄漏檢測,然后選擇一個滿足測試要求的較低的壓力確定為它的測試壓力。2、受到檢測容積的影響,在一個特定的泄漏率值里,如果檢測容積增大的話,那么相應(yīng)的壓力降低的速度就越低,因而測量時間需要相應(yīng)增加。在一些特定的條件下,如果不想方設(shè)法減少測量容積,那么可能會無法達到測量需要的精確度和靈敏度。
氦質(zhì)譜檢漏儀調(diào)氦峰步驟:1、調(diào)氦峰方法:開漏孔開關(guān),單方向(從75~165V或從165~75V)調(diào)加速電壓“V”,使氦質(zhì)譜檢漏儀放大器輸出表指示值出現(xiàn)一個Zda值,然后關(guān)漏孔開關(guān),如表頭指示值變小,說明氦質(zhì)譜檢漏儀接收到氦信號,即找到氦峰;如表頭指示值不變,說明不是氦峰,則繼續(xù)調(diào)“V”,直到找到氦峰(出現(xiàn)氦的“V”一般在85~150V之間)。2、調(diào)氦峰分辨不好:①氦和重離子分辨差。②氦和輕離子分辨差。3、調(diào)氦峰信號?。孩贌艚z沒正對電離盒上的電子入口。②燈絲離電離盒太遠(yuǎn)。③分辨不好。由于氦質(zhì)譜檢漏儀儀為高精度精密儀器,其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。
氦檢儀進展的集中體現(xiàn)在如下幾個方面:(1)便攜式:較近各國推出的小型便攜式氦檢儀不只靈敏度高,而且便于攜帶,給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。(2)高壓強下檢漏:檢漏口壓強可高達數(shù)百帕左右,對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。(3)自動化程度高:自動校準(zhǔn)氦峰,自動調(diào)節(jié)零點,量程自動轉(zhuǎn)換,自動數(shù)據(jù)處理,可外接打印機。整機由微機控制,菜單選擇功能,一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。(4)全無油的干式檢漏:有些國家生產(chǎn)的氦檢儀,可采用干式泵,達到無油蒸氣的效果,為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏,提供了有利條件。(5)檢漏范圍寬:現(xiàn)今生產(chǎn)的四極氦檢儀,質(zhì)量范圍很寬,不只可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。真空氦質(zhì)譜檢漏儀廠家推薦
氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性。常州進口氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家
氦檢儀作為一種磁偏轉(zhuǎn)型質(zhì)譜分析儀器,結(jié)構(gòu)上分單級磁偏轉(zhuǎn)型和雙級串聯(lián)偏轉(zhuǎn)性,而在結(jié)構(gòu)組成上,大部分氦檢儀就是由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)以及電氣系統(tǒng)3部分組成的:質(zhì)譜室是這種真空氦檢儀器的心臟,又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分;真空系統(tǒng)用于為質(zhì)譜室提供真空工作條件,保證氦離子的傳輸率;電氣系統(tǒng)的重點功能就是為質(zhì)譜室供電與測量。另外在有些條件下,氦質(zhì)譜檢漏可能還會需要輔助真空系統(tǒng),完成一些預(yù)抽、保證氦檢儀真空度等工作。常州進口氦質(zhì)譜檢漏儀供應(yīng)廠家