在氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀真空泵工作的各個(gè)階段都要考慮檢漏工作，由于冶金、原子能、電子、宇航技術(shù)的發(fā)展，要求制造不同用途的高真空、超高真空，甚至極高真空設(shè)備。這些設(shè)備中的某些設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，內(nèi)部有很多管道和傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，有的體積很大，達(dá)幾十立方米，甚至數(shù)百立方米，連接管道和內(nèi)部管道的總長(zhǎng)度可達(dá)幾公里，焊縫、氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀圈的總長(zhǎng)度可達(dá)數(shù)十公里，必須投人很大力量對(duì)設(shè)備嚴(yán)格進(jìn)行檢漏，所以且應(yīng)該從設(shè)備開始設(shè)計(jì)時(shí)起就考慮檢漏問題。如果等到進(jìn)行安裝時(shí)再考慮檢漏間題就可能給氦質(zhì)譜檢漏儀,氦檢儀的檢漏工作帶來很大困難。高靈敏度氦檢儀的噪聲來源大體上可以分為兩種，一個(gè)是離子流接收放大機(jī)輸出電路的噪聲，另一個(gè)是本底噪聲。上海自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

影響氦質(zhì)譜檢漏儀檢測(cè)精度的原因是什么？穩(wěn)定時(shí)間對(duì)檢測(cè)的影響，在充氣的時(shí)候，壓縮空氣會(huì)因?yàn)槭軌籂顟B(tài)而進(jìn)入一個(gè)密閉容器后，引起一系列的熱力學(xué)-動(dòng)力學(xué)變化。即當(dāng)一定體積的壓縮空氣迅速移至一密閉容器后，其壓力會(huì)發(fā)生降低，若此時(shí)進(jìn)行測(cè)量，則這種壓力的變化會(huì)被視作一個(gè)由泄漏所引起的壓力變化，影響測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。這種“沖氣效應(yīng)”受充氣壓力、測(cè)試容積及測(cè)試件材料影響。當(dāng)充氣壓力或測(cè)試容積增加時(shí)，這種充氣引起的壓力降低隨之變得明顯。解決這個(gè)問題的辦法之一是在充氣與測(cè)量之間增加一段穩(wěn)定時(shí)間來消除這種影響。南京智能氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)格氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法）。

在使用氦檢儀時(shí)要如何保養(yǎng)？①如果儀器不是每天都使用，建議每周啟動(dòng)并檢查一次，以保持儀器的高真空系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，在后期使用過程中可以縮短儀器的啟動(dòng)時(shí)間。②儀器部件（如離子源）拆卸后，安裝過程中應(yīng)避免在安裝現(xiàn)場(chǎng)發(fā)生泄漏，儀器可用于泄漏檢測(cè)。③及時(shí)對(duì)泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自檢。）可能出現(xiàn)在儀器上，并在發(fā)現(xiàn)泄漏點(diǎn)后及時(shí)移除、清潔或緊固，以免在泄漏檢測(cè)過程中干擾泄漏檢測(cè)。④氦檢儀維護(hù)定期維護(hù)油泵。（散熱口粉塵處理及泵油的檢查和更換）⑤嚴(yán)禁在氦檢儀上，尤其是進(jìn)氣口處掉落或噴灑任何異物。由于氦檢儀是一種高精度儀器，其儲(chǔ)存和使用環(huán)境應(yīng)保持清潔衛(wèi)生。只有經(jīng)過培訓(xùn)或合格的設(shè)備維護(hù)工程師才能使用該儀器。⑥使用時(shí)，請(qǐng)注意儀器的操作。一旦出現(xiàn)大振動(dòng)、高噪音等狀況時(shí)，儀器在操作過程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵正在高速運(yùn)轉(zhuǎn)。如果泄漏檢測(cè)器移動(dòng)，渦輪分子泵中的葉片將很容易與轉(zhuǎn)子的圓筒碰撞。立即切斷電源并排除故障，否則會(huì)對(duì)氦檢儀造成不良影響。

氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏注意事項(xiàng)：1、工件要保持清潔、干燥。2、對(duì)工件噴氦應(yīng)按以下順序進(jìn)行：①?gòu)纳贤?。②從靠近測(cè)試口到遠(yuǎn)離測(cè)試口。3、噴氦時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查噴口是否有氦氣噴出。4、檢完工件，必須將“節(jié)流閥”關(guān)閉，才能取工件。5、對(duì)同一工件，如有兩處以上漏點(diǎn)，應(yīng)排除Zda的漏點(diǎn)后，再對(duì)其它地方檢漏。6、裝工件時(shí)應(yīng)使連接處密封好，不能有漏。7、檢漏間應(yīng)通風(fēng)良好，避免氦氣濃度，但應(yīng)避免強(qiáng)通風(fēng)。8、氦氣屬貴重氣體，應(yīng)避免泄漏浪費(fèi)。氦質(zhì)譜檢漏儀燈絲安裝時(shí)應(yīng)先將離子源內(nèi)的污漬用細(xì)砂紙打干凈，清洗后再裝。燈絲應(yīng)正對(duì)電離盒電子入口，盡量靠近電離盒，但不能短路，三根引線間也不能相互短路。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦質(zhì)譜檢漏儀可以對(duì)具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。此檢測(cè)方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到了細(xì)檢漏的目的。噴氦法、吸氦法是氦檢儀在電阻爐檢漏中較常用的兩種方法。寧波無損氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)指導(dǎo)

氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度降低怎么維護(hù)？上海自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家

氦檢儀開機(jī)如何操作？1、將總電源轉(zhuǎn)到“前級(jí)泵”，低真空表頭指示值應(yīng)從左向右逐漸上升至2~15Pa，開抽速閥，開漏孔開關(guān)，表頭示值也應(yīng)能抽到原來位置，再關(guān)抽速閥。2、將總電源轉(zhuǎn)到“擴(kuò)散泵”，燈亮，擴(kuò)散泵開始加熱。3、等20分鐘左右，擴(kuò)散泵排氣管應(yīng)熱，開冷規(guī)開關(guān)，“質(zhì)譜室壓強(qiáng)”表頭指針應(yīng)從左打向右(即冷規(guī)已激發(fā))再關(guān)冷規(guī)。4、開抽速閥，過幾分鐘后開冷規(guī)，表頭指針應(yīng)從左打向右，再?gòu)挠蚁蜃笾饾u上升(真空示值在1×10-2Pa以下請(qǐng)不要長(zhǎng)時(shí)間開冷規(guī)，可等一會(huì)兒再開)，當(dāng)真空示值超過1×10-2Pa后，可啟動(dòng)燈絲，燈亮，“發(fā)射電流”有指示，開、關(guān)漏孔檢查氦檢儀靈敏度(可調(diào)加速電壓使信號(hào)指示Zda)，靈敏度達(dá)要求后關(guān)漏孔。將工件用外接泵抽上真空后，開節(jié)流閥至冷規(guī)指示值為5×10-3~1×10-2Pa之間，對(duì)工件噴氦檢漏。檢漏完，關(guān)節(jié)流閥。上海自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀廠家