氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因：1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空，比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間，耗時(shí)耗力；2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周?chē)h(huán)境中的灰塵和懸浮顆?；驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染，對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能，因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏；3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體，經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后，在低漏率真空條件下，這些氣體不易外泄，設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物，保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝，一旦出現(xiàn)泄漏，芯片就會(huì)失效。綜上所述，氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。氦質(zhì)譜檢漏儀安裝時(shí)要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。寧波進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的維護(hù)方法及常見(jiàn)故障的處理：一、機(jī)械維護(hù)，檢查泵的油量，如果低于低標(biāo)線，則加入泵油；如果變黑或渾濁，則更換泵。使用方法見(jiàn)機(jī)械泵說(shuō)明書(shū)。二、清洗，泄漏探測(cè)器沒(méi)有氦進(jìn)入，但有一定的泄漏率指示，長(zhǎng)期存在。這主要是由于檢漏口、波紋管、密封圈等被污染后吸附的氦氣，在檢漏時(shí)又被釋放，造成較大的底部。為防止油污、粉塵和雜物進(jìn)入氦質(zhì)譜檢漏儀，在氦質(zhì)譜檢漏儀下方設(shè)置過(guò)濾器，將其拆下，用酒精浸泡清洗。檢查泄漏，用棉布擦拭波紋管。三、以下是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象、原因及解決方法。斷電：1.電源線連接不當(dāng)；2、保險(xiǎn)管熔斷。3、重新接通電源。4.更換相同規(guī)格的保險(xiǎn)管。紹興小型氦質(zhì)譜檢漏儀價(jià)錢(qián)氦檢儀的撿漏方法有哪些？

氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用讓我國(guó)許多設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設(shè)備的質(zhì)量檢驗(yàn)之中，應(yīng)用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見(jiàn)的事項(xiàng)。氦質(zhì)譜檢漏儀自身的能力和使用情況的直接影響到了設(shè)備的檢測(cè)準(zhǔn)度，所以選擇合適的氦質(zhì)譜檢漏儀很重要。氦質(zhì)譜檢漏儀的選擇：1、如果被檢對(duì)對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低時(shí)，就要選擇功能較全、靈敏度較高、檢漏范圍寬的檢漏儀。2、如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)氦質(zhì)譜檢漏儀時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。3、在滿足上述檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的價(jià)格是否低、操作是否簡(jiǎn)易、維修是否方便等方面的問(wèn)題。

氦檢儀怎么選擇適合的檢漏方法？氦檢儀的實(shí)際應(yīng)用方案很多，常用的三種檢漏方法有負(fù)壓法（抽真空），正壓法（吸入法）和背壓法（壓氦法），可以發(fā)現(xiàn)有不同的叫法，這是根據(jù)不同的檢測(cè)方式命名的。采用什么方法要視被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟(jì)效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來(lái)決定。根據(jù)不同的檢漏目的，常用基礎(chǔ)的有3種檢漏方法。負(fù)壓法（噴氦法）。對(duì)被檢工件抽真空。可對(duì)被檢工件外可疑漏點(diǎn)噴氦，也可將工件罩起來(lái)對(duì)氦罩內(nèi)噴氦?？筛鶕?jù)工件容積大小選配輔助泵或不加輔助泵?？蓹z測(cè)工件的具體漏點(diǎn)和準(zhǔn)確漏率。檢測(cè)精度高。適用行業(yè)：鍍膜行業(yè)，真空爐，真空配件，真空閥門(mén)，壓力容器，真空系統(tǒng)等。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對(duì)性的采取措施。

氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術(shù)語(yǔ)，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專(zhuān)業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關(guān)鍵部件均為進(jìn)口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換。氦質(zhì)譜檢漏儀能夠?qū)崿F(xiàn)雙燈絲自動(dòng)切換、自動(dòng)調(diào)零、自動(dòng)校準(zhǔn)和自動(dòng)量程切換?？椭苹べ|(zhì)譜檢漏儀原理

氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的要定期保養(yǎng)維護(hù)。寧波進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理

如何正確選擇氦檢儀？（1）儀器的功能是否能滿足檢漏的要求，如有些儀器沒(méi)有逆流檢漏功能，就不合適正壓法檢漏：有些儀器沒(méi)有報(bào)廢漏率的設(shè)置功能，就不宜作為批量產(chǎn)品篩選檢漏用；流水線上要求一定的檢漏速度，因此應(yīng)選擇有雙工位的氦檢儀。（2）儀器的靈敏度是否能滿足檢漏的要求。國(guó)內(nèi)外生產(chǎn)的不同類(lèi)型的氦檢儀的靈敏度是不一樣的，如果檢漏要求的靈敏度較高，就要認(rèn)真選擇。（3）被檢件如果害怕油的污染，被應(yīng)選擇無(wú)油真空系統(tǒng)的氦檢儀。（4）被檢件容積如果較大，必須選用預(yù)抽泵抽速答的氦檢儀，否則要另配預(yù)抽泵就比較麻煩。（5）如果被檢對(duì)象不固定，體積時(shí)大時(shí)小，靈敏度要求時(shí)高時(shí)低，就要選擇功能較全，靈敏度較高，檢漏范圍寬的氦檢儀。（6）如果檢漏地點(diǎn)不固定，需要經(jīng)常搬運(yùn)儀器時(shí)，就要選擇小型便攜式儀器。（7）在滿足檢漏基本要求的基礎(chǔ)上，還要綜合考慮儀器的價(jià)格是否低、操作是否建議、維修是夠方便等方面的問(wèn)題。寧波進(jìn)口氦質(zhì)譜檢漏儀工作原理