氦檢儀的基本原理是采集被檢件中的氣體將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器只對示漏氣體氦氣有相應(yīng)信號，而對其他氣體沒有反應(yīng)，屬于唯1性氦檢儀器。檢漏過程中，一旦出現(xiàn)信號，就說明有氦氣通過漏孔進(jìn)入被檢件，從而指示出漏孔的位置與大小。而之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，擴(kuò)散快，對分析設(shè)備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底壓力小，又為惰性氣體，不易發(fā)生反應(yīng)等等，都為提高儀器靈敏度創(chuàng)造了條件。氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)項目有更換機(jī)械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

提高氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度方法：1、盡量開大節(jié)流閥。2、盡量減小外接泵對工件的分流或采用不分流檢漏(當(dāng)工件抽上真空后，關(guān)閉工件與外接泵之間的閥門)。3、將工件用塑料袋包扎，袋內(nèi)再充入氦氣，(但此法不能測出具體漏點)。4、使用液氮，全開節(jié)流閥，采用不分流檢漏，必要時可將抽速閥關(guān)小。氦質(zhì)譜檢漏儀日常維護(hù)：1、定期更換燈絲，清洗冷規(guī)。2、定期更換機(jī)械泵油，適時對機(jī)械泵加油。3、如加液氮，需定期清洗冷阱。4、拆卸氦質(zhì)譜檢漏儀部件后，安裝時要避免安裝處出現(xiàn)泄漏。5、適時對氦質(zhì)譜檢漏儀可能出現(xiàn)的泄漏處(如放氣閥)進(jìn)行清洗，排除漏點。無錫臺式氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？1、氦氣的質(zhì)量輕，易于穿過漏孔，進(jìn)入系統(tǒng)時流動和擴(kuò)散快，因此響應(yīng)快，檢漏靈敏度高。2、氦離子質(zhì)荷比小，因此可以減小磁分析器偏轉(zhuǎn)半徑的尺寸和選用較弱一點的磁場。同時一階氦離子的質(zhì)荷比與一階氫離子、二階碳離子相差較大，利于離子分離，可以適當(dāng)降低對分析器制造精度的要求，使質(zhì)譜室中氦離子通過的各個縫隙，從而提高氦離子的傳輸率。3、氦在空氣中及殘余氣體中的含量少，在材料出氣中氦氣也很少，因此本底壓力小，檢漏時本底信號小。

在針對氦檢儀選擇和安裝真空計時，必須考慮其特性和真空測量的特性：由于真空室中存在潛在的壓力梯度，恰當(dāng)選擇安裝位置。表面和密封材料呈現(xiàn)脫氣現(xiàn)象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應(yīng)該盡可能的短，且密封件數(shù)量減少到蕞小。電離真空計具有抽氣效應(yīng)，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。冷陰極真空計具有固有的濺射效應(yīng)，這在中真空范圍內(nèi)與重型氣體（如氬）一起抽空時尤為明顯。這可導(dǎo)致不一致和不準(zhǔn)確的讀數(shù)。當(dāng)烴類存在時，電離真空計受到有機(jī)分子分解產(chǎn)物的污染。如同濺射效應(yīng)一樣，讀數(shù)可以干燥擾或不一致。必須選擇電離真空計的開關(guān)點，以避免因上述現(xiàn)象導(dǎo)致的污染。強(qiáng)磁場和電場會影響真空計的性能。尤其對于電離真空計而言。為能夠產(chǎn)生超高真空，必須對真空設(shè)備，包括真空計進(jìn)行烘烤。必須遵守技術(shù)要求中規(guī)定的蕞大烘烤溫度和條件。氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。

氦質(zhì)譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；2.檢測的介質(zhì)比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質(zhì)譜檢漏儀能為不同的應(yīng)用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到普遍的應(yīng)用，例如，在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、衛(wèi)星、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)。氦檢儀適用于工業(yè)、分析研究、鍍膜市場等。溫州無損氦質(zhì)譜檢漏儀大概多少錢

氦質(zhì)譜檢漏儀的的可檢漏率是多少？溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

氦檢儀靈敏度降低應(yīng)該如何維護(hù)？當(dāng)發(fā)現(xiàn)氦檢儀的靈敏度降低，而氦檢儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定氦檢儀靈敏度降低的問題來源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。這個時候，就需要將氦檢儀的離子源分析管道拆下來進(jìn)行徹底的清洗。具體的清洗方法如下：先用細(xì)的高標(biāo)號金相砂紙小心細(xì)致地擦洗分析管道的內(nèi)表面及離子源各電極部件，這里不能用粗砂紙，因為粗砂紙容易損傷真空分析管道及離子源的各電極部件；然后用航空汽油和無水乙醇清洗，并用去離子水沖洗干凈；較后用烘箱或電吹風(fēng)進(jìn)行干燥。整個清洗過程中需要注意，分析管道上的磁鐵不能撞擊、不能受熱，否則可能導(dǎo)致磁鐵退磁，使氦檢儀的靈敏度降低。如果操作正確，經(jīng)過清洗維護(hù)后的氦檢儀的靈敏度可比清洗前提高2～3倍。溫州真空氦質(zhì)譜檢漏儀定制

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