每臺(tái)風(fēng)機(jī)出風(fēng)面至少1點(diǎn)平均風(fēng)速范圍:m/s±20%額定風(fēng)量測定用風(fēng)量罩測試送風(fēng)量風(fēng)量罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器C.產(chǎn)生氣溶膠位置:回風(fēng)口,風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口或發(fā)煙孔氣溶膠發(fā)生器與高效過濾器之間沒有濾器或已拆除D.產(chǎn)生氣溶膠設(shè)置溫度、供氣壓力及氣溶膠數(shù)量E.光度計(jì)設(shè)置氣溶膠濃度調(diào)節(jié)F.檢漏掃描整個(gè)過濾器和安裝所有邊框和接點(diǎn)。采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)。采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)。采樣頭距離濾器表面距離≤3cm.檢漏掃描所有結(jié)構(gòu)部件:a)支架和建筑物之間b)支架和濾器邊框之間c)整個(gè)濾器d)密封條、框架及支架之間e)采樣頭掃描速率≤5cm/s(3cm*3cm)f)采樣頭掃描速率≤3cm/s(5cm*1cm)g)采樣頭距離濾器表面距離≤3cmG.高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn)泄露率≤6.高效過濾器完整性檢測標(biāo)準(zhǔn)(高效過濾器檢漏標(biāo)準(zhǔn))ISO14644-3。采用非接觸式檢測技術(shù),減少對潔凈室的潛在污染。北京實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測值得推薦
3.壓差檢測:潔凈室與外界環(huán)境的壓差是保持潔凈室內(nèi)潔凈度的重要因素。壓差檢測通過對潔凈室各區(qū)域的壓差進(jìn)行測量,確保潔凈室內(nèi)部與外部環(huán)境的壓差符合規(guī)定要求,從而防止外部污染物進(jìn)入潔凈室。4.氣流速度檢測:潔凈室內(nèi)的氣流速度對于維持潔凈度至關(guān)重要。氣流速度過快可能導(dǎo)致塵埃粒子飛揚(yáng),而氣流速度過慢則可能導(dǎo)致塵埃粒子沉積。因此,氣流速度檢測是評估潔凈室氣流組織情況的重要手段。5.表面潔凈度檢測:潔凈室內(nèi)的各種表面,如墻壁、地面、設(shè)備外殼等,也是塵埃粒子容易沉積的地方。表面潔凈度檢測通過對這些表面的塵埃粒子數(shù)量進(jìn)行檢測,評估潔凈室內(nèi)部表面的潔凈情況。湖南生物安全柜檢測值得推薦檢測結(jié)果異常時(shí),應(yīng)組織團(tuán)隊(duì)進(jìn)行復(fù)檢和原因分析。
五、潔凈室檢測的應(yīng)用1.醫(yī)藥行業(yè):醫(yī)藥制造需要在無菌環(huán)境下完成,因此需要設(shè)立無菌車間(即“百級”車間)。該車間內(nèi)所有通風(fēng)系統(tǒng)均需符合GMP規(guī)范,并經(jīng)常性地受到監(jiān)管機(jī)構(gòu)審核。2.電子行業(yè):由于微型芯片制造需要極為干燥無塵且高溫高壓條件下完成,在微電子制造廠中必須建立超純水站(UPW)以及超純氮?dú)庹荆∟G)等設(shè)施來滿足生產(chǎn)需要。3.航天航空行業(yè):航天器發(fā)射前需要進(jìn)入“百萬級”或“十萬級”無菌車間進(jìn)行組裝與測試。這些車間具有完成**終裝配所需條件(如真空環(huán)境),并能夠有效防止外界雜質(zhì)進(jìn)入艙體內(nèi)部。
4.1.1潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定,并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定:1應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí),應(yīng)位于比較大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè),或全年極小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。3應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔,人流、物流不穿越或少穿越的地段。4.1.2對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇,應(yīng)實(shí)際測定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響,并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。4.1.3潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的極近距離宜大于50m。4.1.4潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道,也可沿廠房的兩個(gè)長邊設(shè)置消防車道。4.1、5潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。4.1.6潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化??射佒膊萜?,不應(yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物,并不得妨礙消防作業(yè)。由于排風(fēng)量大造成新風(fēng)量大,故新風(fēng)處理所需冷量消耗大。
潔凈室在現(xiàn)代工業(yè)中早已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、液晶螢?zāi)簧a(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密器械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)之中,尤其以半導(dǎo)體晶圓制程對無塵等級的要求比較高,因?yàn)楝F(xiàn)今的晶圓已經(jīng)發(fā)展到奈米級的水準(zhǔn),隨便一?;覊m掉落在晶圓上都可能造成整個(gè)晶圓線路的毀損,甚至導(dǎo)致這個(gè)晶圓必須報(bào)廢。無塵室除了管控空氣中的微塵粒子之外,還分成正壓無塵室與負(fù)壓無塵室。一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內(nèi)的空氣壓力大于室外的壓力,這樣才可以控制室內(nèi)空氣往外吹以杜絕外部的污染源。潔凈室(區(qū))溫度應(yīng)為18~26℃,相對濕度應(yīng)為45%~65%。電子廠房環(huán)境檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)
蔚亞科技檢測技術(shù)嚴(yán)格按照國家標(biāo)準(zhǔn)及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行。北京實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測值得推薦
1工藝平面布置應(yīng)合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內(nèi)應(yīng)只布置必要的工藝設(shè)備,以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室。2在滿足生產(chǎn)工藝和噪聲要求的前提下,對空氣潔凈度要求嚴(yán)格的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調(diào)節(jié)機(jī)房,空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置。3潔凈室內(nèi)對空氣潔凈度要求嚴(yán)格的工序應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè),易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置。4應(yīng)考慮大型設(shè)備安裝和維修的運(yùn)輸路線,并預(yù)留設(shè)備安裝口和檢修口。5不同空氣潔凈度等級房間之間聯(lián)系頻繁時(shí),宜設(shè)有防止污染的措施,如氣閘室、傳遞窗等。6應(yīng)設(shè)置單獨(dú)的物料入口,物料傳遞路線應(yīng)極短,物料進(jìn)人潔凈室(區(qū))之前應(yīng)進(jìn)行清潔處理。北京實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測值得推薦