手動探針臺基本配置(包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等),探針臺主體-可測試晶圓尺寸:4英寸weili-樣品臺行程:100mm*100mm-移動分辨率:~:360度-低漏電底柵接口,標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡,LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍,物鏡,總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座,XYZ移動范圍:12mm-移動分辨率2um-標(biāo)配4個,可裝6個-漏電設(shè)計,漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出,Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計電探針,針尖探針探針直徑標(biāo)配10um,1um尺寸。 如何維護(hù)和保養(yǎng)高溫探針臺呢?SiC探針臺
提到探針臺,大家應(yīng)該會一頭霧水,不知道探針臺是干什么用的,下面就讓小編來給大家普及一下探針臺是干什么用的,供大家了解,希望能對大家有所幫助。探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器、半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片、半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查。也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。探針臺可以固定晶圓或芯片,并準(zhǔn)確定位待測物。手動探針臺的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針頂端放置到待測物上的正確位置。一旦所有探針頂端都被設(shè)置在正確的位置,就可以對待測物進(jìn)行測試。PCB探針臺規(guī)格光電流測試探針臺系統(tǒng)。
很多人都不了解探針臺,因為很少接觸到。但是,它在的作用是非常大的,它的使用步驟我們還是需要了解的。下面,小編就帶大家了解一下它的使用步驟。希望能對大家有所幫助。1、將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品平安且牢固地吸附在卡盤上。2、運(yùn)用卡盤X軸、Y軸控制旋鈕挪動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3、顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)整明晰,帶測點在顯微鏡視場中間。4、待測點地位確認(rèn)好后,再調(diào)整探針座的地位,將探針臺探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的地位旁邊,再運(yùn)用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,漸漸的將探針移至被測點,此時舉措要小心且遲緩,以防舉措過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針行進(jìn)少許,再運(yùn)用Z軸旋鈕停止下針,剛開始則運(yùn)用X軸旋鈕左右滑動,察看能否有少許劃痕,證明能否曾經(jīng)接觸。5、確保針尖和被測點接觸良好后,則可以經(jīng)過銜接的測試設(shè)備開端測試。
探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,找到需要探測的位置。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),精細(xì)扎到被測點,從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。探針臺工作環(huán)境,探針臺應(yīng)放在堅固穩(wěn)定的臺面上,如地基有震動的情況,需要配置主動防震裝置,避免在高溫、潮濕、激烈震動、陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用比較好溫度范圍為5℃~40℃,比較好濕度是40%到85%,空氣中之濕度若低于30%以下,可靠濕度控制器予以控制,使維持50%~60%之范圍。使用時門窗盡可能關(guān)閉,使室內(nèi)達(dá)到除濕效果 。使用電源:220V,50Hz極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號的探針臺設(shè)備。
探針臺是半導(dǎo)體(包含集成電路、分立器材、光電器材、傳感器)行業(yè)重要的檢測配備之一,其廣泛應(yīng)用于雜亂、高速器材的ing密電氣測量,旨在保證質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時刻和器材制作工藝的本錢。探計臺用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測驗環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,使晶圓上的晶粒依次與探針觸模并逐人測驗。在半導(dǎo)體器材與集成電路制作工藝中,從單晶硅棒的制取到ZU終器材制作的完結(jié)需經(jīng)過雜亂的工序,可分為前道工序與后道工序,探針臺是檢測半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。探針臺廣泛應(yīng)用于科研單位研發(fā)測試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實驗室芯片失效分析等領(lǐng)域。GaN 探針臺配件
經(jīng)濟(jì)實惠高性價比的手動探針臺。SiC探針臺
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速露件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓,電流、電陽以及電容電壓特性線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,抽查測試等用途.激光探針臺主要檢測內(nèi)容:1、激光打標(biāo);2、表層修復(fù)線路(利用激光將兩層金屬線熔融連接);3、驅(qū)除短路點;4、激光斷線,5、干擾芯片測試;除了以幾項之外激光探針臺兼?zhèn)涑R?guī)探針臺功能:1.微小連接點信號引出2.失效分析失效確認(rèn)3.FIB電路修改后電學(xué)特性確認(rèn)4.晶圓可靠性驗證SiC探針臺
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