激光工藝:
經(jīng)過近20年的發(fā)展,目前比較成熟的工藝分為六種:Decap EMC 激光開封環(huán)氧樹脂塑模封裝Gel Removal 激光去除硅膠封裝Cross section 激光剖面芯片De-lidding 激光開蓋金屬陶瓷封裝Eco-Blue 激光光化學(xué)法無損晶圓開封De-layering 激光逐層剝離微加工。
激光開封是利用激光聚焦能量,汽化EMC(epoxy mould compound)塑封層的工藝??商娲鷤鹘y(tǒng)的微型CNC機(jī)械磨除方法,結(jié)合GEL-BLUE工藝,可代替開封的后續(xù)滴酸工藝。
激光去除硅膠封裝,是利用遠(yuǎn)紅外激光器,汽化silicagel,結(jié)合GEL-BLUE溶液,完美除膠直達(dá)晶圓層。目前應(yīng)用的IC主要類型有LED、IGBT、以及高壓功率芯片。
在芯片制造中,光刻類似于膠片相機(jī)中利用底片進(jìn)行洗制照片的過程。柔性O(shè)led激光調(diào)試
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光打標(biāo)/雕刻:在各種材料和幾乎所有行業(yè)均得到廣泛應(yīng)用,包括:接骨螺釘、起搏器、植入裝置、醫(yī)療工具和儀器、手術(shù)器械、手術(shù)刀片、導(dǎo)引線、標(biāo)志帶、一次性用品、內(nèi)窺鏡器具、牙科工具、條形碼、二維碼、長久標(biāo)記。
常見、有代表性的激光應(yīng)用之激光打孔:微流體傳感器、電泳膜片鉗、薄膜傳感器和傳感器一次性用品;航空航天、汽車制造、電子儀表、化工等行業(yè)。人造金剛石和天然金剛石拉絲模的生產(chǎn)及鐘表和儀表的寶石軸承、飛機(jī)葉片、多層印刷線路板等行業(yè)的生產(chǎn)中應(yīng)用較多。 芯片圖形激光打孔激光光掩膜主要分基板和不透光材料兩個部分;
激光光掩膜主要分兩個組成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同?;逋ǔJ歉呒兌龋头瓷渎?,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。不同種類光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分為鉻版(蘇打玻璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。鉻版的不透光層是通過濺射方法鍍在玻璃下方厚約 0.1um 的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠,硬度小且易吸附灰塵,不過干版還有包膜和超微顆粒干版,后者可應(yīng)用于芯片制造。
激光技術(shù)是20世紀(jì)與原子能、半導(dǎo)體及計算機(jī)齊名的四項重大發(fā)明之一.四十多年來,隨著小型電子產(chǎn)品和微電子元器件需求量的日益增長,對于加工材料(尤其是聚合物材料以及高熔點材料)的精密處理日漸成為激光在工業(yè)應(yīng)用中發(fā)展快速的領(lǐng)域之一.
激光加工是激光產(chǎn)業(yè)的重要應(yīng)用,與常規(guī)的機(jī)械加工相比,激光加工更精密、更準(zhǔn)確、更迅速.該技術(shù)利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對包括金屬與非金屬的各種材料進(jìn)行加工,涉及到了焊接、切割、打標(biāo)、打孔,熱處理、成型等多種加工工藝。激光的特性使之成為微處理的理想工具,廣泛應(yīng)用于微電子、微機(jī)械和微光學(xué)加工三大領(lǐng)域。
激光加工技術(shù)是利用激光束與物質(zhì)相互作用的特性對材料(包括金屬與非金屬)進(jìn)行切割、焊接、表面處理、打孔及微加工等的一門加工技術(shù). 激光微加工系統(tǒng)用于力學(xué)、工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科領(lǐng)域。
激光工藝:
激光剖面芯片,替代傳統(tǒng)費時費力的冷熱制模固定,人工研磨方法。激光可剖面BGA焊球、玻纖PCB板、開封后裸露的晶圓(配合PICOEYE顯微視覺,切縫寬度可控制低至5微米)。
激光開蓋,主要針對陶瓷、可伐、鋁合金等金屬封裝。超快激光在時間維度聚焦,配合輔助工藝能確保無污染無殘留開蓋。
Eco-Blue激光光化學(xué)法無損開封,利用激光聚焦活化ECO-BLUE溶解液,破壞塑封交聯(lián)結(jié)構(gòu)并溶解,無損晶圓層,應(yīng)用于晶圓級失效機(jī)理分析,替代危險的強(qiáng)酸腐蝕工藝。
激光逐層剝離微加工,利用高穩(wěn)定及均勻分布的激光能量,逐層去除PI隔離層、RDL金屬路線重布層,多層晶圓。主要IC類型有陀螺儀、傳感器、硅通孔IC等。 激光應(yīng)用之激光雷達(dá);湖南OLED激光
激光開封機(jī)的工作原理?柔性O(shè)led激光調(diào)試
激光鉆孔加工常見的4種方法1.開銅窗法:先將RCC(涂上樹脂的銅箔層)復(fù)壓于內(nèi)層板上,用光化方法制作窗口,然后用蝕刻露出樹脂,再用激光燒除窗口內(nèi)基材材料形成微盲孔。2.開大窗法:將銅窗直徑增大到0.05mm左右,比底墊還大(通常根據(jù)孔徑大小確定),當(dāng)孔徑為0.15mm時,底墊直徑應(yīng)在0.25mm左右,其大窗口直徑為0.30mm。然后進(jìn)行激光照射,即可燒出微盲孔,這樣位置準(zhǔn)確,可用于制作精確的銅窗底墊。它的主要特點是選擇自由度大,進(jìn)行激光照射時可選擇另按內(nèi)層底墊的程序打孔。這種方法有效地避免了由于銅窗直徑與孔徑相同所引起的偏置,從而使激光點不能對準(zhǔn)正窗口,從而導(dǎo)致大量的大尺寸拼板表面有很多半孔或殘孔。柔性O(shè)led激光調(diào)試
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