透射電鏡的工作過程與光學(xué)顯微鏡類似。在光學(xué)顯微鏡中聚焦后的可見光射向樣品,穿過樣品的光經(jīng)過物鏡、目鏡等光學(xué)系統(tǒng)聚焦后被眼睛接收。在電子顯微鏡中,可見光由電子槍發(fā)射出來的電子束所代替,在陽極加速電壓的作用下,電子經(jīng)過2、3個(gè)電磁透鏡會(huì)聚為電子束,用來照明樣品薄片 (電子的穿透能力很弱,因此樣品必須很薄),穿過樣品薄片的電子攜帶了樣品本身的結(jié)構(gòu)信息,經(jīng)物鏡、中間鏡和投影鏡所組成的成像系統(tǒng)的接力聚焦放大以圖像或衍射譜的形式顯示于熒光屏或感光材料上。體視顯微鏡的放大倍數(shù)一般在5-100倍之間, 一般有透射光,斜射光和外部環(huán)形光源等照明方式。視頻顯微鏡種類
顯微鏡的觀察方式,你知道幾種?明場成像是常見的顯微鏡觀察方式,也是觀察生物樣品和材料樣品常用的觀察方式。觀察不透明的材料樣品,反射光明場是使用較多的觀察方式。光源直接照射到樣品表面,表面的結(jié)構(gòu)對照射光有不同程度的反射和吸收,圖像的亮暗就反映樣品表面的粗糙度和吸光情況。暗場成像與明場成像相對應(yīng),顧名思義,人不會(huì)直接觀察到照明光線,而是光線斜射到標(biāo)本的表面,根據(jù)丁道爾(Tyndall)現(xiàn)象,微粒對斜射光進(jìn)行反射或衍射,增大了人眼可見性,我們才能夠觀察到極其微小的物體。相差也是一種很常見的觀察方式,用來進(jìn)行活細(xì)胞成像。由于細(xì)胞在明場下輪廓不清,雖然可以觀察到,但其邊界或內(nèi)部結(jié)構(gòu)無法分辨清楚。相差利用光程差(相位)這種人眼無法區(qū)分的技巧,光通過不同厚度標(biāo)本時(shí)的光程差轉(zhuǎn)變?yōu)槿搜劭梢杂^察到的明暗變化,從而對標(biāo)本的結(jié)構(gòu)有了區(qū)分。變倍 顯微鏡原理共聚焦顯微鏡為什么能比熒光顯微鏡拍的效果更好呢?
掃描透射電子顯微鏡兼具掃描成像與透射分析的特點(diǎn),其儀器結(jié)構(gòu)可看作SEM與TEM的結(jié)合。STEM主要由電子槍、電子光學(xué)系統(tǒng)、樣品室、環(huán)形探測器與成像設(shè)備等組成。STEM與TEM的主要區(qū)別在于添加了掃描附件;與SEM的不同在于電子信號探測器安置在樣品下方。
優(yōu)缺點(diǎn):
優(yōu)點(diǎn):(1)成像質(zhì)量高,受樣品厚度與儀器干涉?。?)可達(dá)到原子分辨率(3)結(jié)果分析簡單、直觀(4)能夠快速獲取樣品的綜合信息,成像效率高。
缺點(diǎn):(1)制樣時(shí)間長,對樣品的要求高;(2)一些材料在高能電子束中不穩(wěn)定;(3)測試成本高,儀器分布稀少。
共聚焦顯微鏡技術(shù)下一步的研究重點(diǎn)應(yīng)該集中在以下幾點(diǎn):1、更快的掃描速度目前共聚焦掃描速度受限于掃描設(shè)備的機(jī)械結(jié)構(gòu),要想獲得更快的掃描速度只能犧(xi)牲分辨率。而很多生物過程非常迅速,目前仍然無法檢測。2、更wan美的超高分辨率技術(shù)目前超高分辨率技術(shù)有STORM、PALM、STED和SSIM幾種技術(shù),分辨率從20~200nm不等,但是各種技術(shù)均有一定缺陷,例如在樣品處理、Z軸方向、光毒性等方面還不近wan美,在實(shí)際觀察中往往很難達(dá)到極限分辨率。3、更強(qiáng)的兼容性共聚焦顯微鏡技術(shù)涉及到多種激發(fā)方式,例如多光子和光片式觀察,相干反斯托克斯拉曼散射在理論上可以公用一套激光系統(tǒng)。超高分辨率顯微術(shù)可以搭配白激光技術(shù)。金相顯微鏡放大倍數(shù)通常在50-1000倍,照明系統(tǒng)有透射光和同軸反射光;
聚焦離子束(FIB)顯微鏡
隨著納米科技的發(fā)展,納米尺度制造業(yè)發(fā)展迅速,而納米加工就是納米制造業(yè)的重要部分,納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發(fā)展起來的聚焦離子束(FIB)技術(shù)利用聚焦離子束對材料進(jìn)行納米加工,配合掃描電鏡(SEM)等高倍數(shù)電子顯微鏡實(shí)時(shí)觀察,成為了納米級分析、制造的主要方法。目前已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路修改、切割和故障分析等。
技術(shù)特征
1、比較高束流可以達(dá)到100nA,且加工性能優(yōu)異??梢詫?shí)現(xiàn)快速切割和納米加工。
2、最高分辨率小于3nm,可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)加工,并顯示優(yōu)異的FIB成像質(zhì)量。
3、電壓范圍在500V-30KV可調(diào),可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)拋光,降低樣品表面非晶層厚度。
4、離子源比較穩(wěn)定,使用壽命長。行業(yè)內(nèi)**長離子源壽命1500小時(shí)(3000uAh),72小時(shí)束流變化在5%以內(nèi)。5、與SEM鏡筒完美配合,可以實(shí)現(xiàn)FIB加工過程中可以利用SEM進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察。 電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡;金像顯微鏡產(chǎn)品介紹
體視顯微鏡的光路設(shè)計(jì);視頻顯微鏡種類
掃描透射電子顯微鏡 (STEM) 是什么?
掃描透射電子顯微鏡(Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM)由透射電子顯微鏡(TEM)發(fā)展而來,指透射電子顯微鏡中有掃描附件者,尤其是指采用場發(fā)射電子槍作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點(diǎn)而出現(xiàn)的一種新型分析方式,其空間分辨率可達(dá)亞埃米級,可在納米和原子尺度上對材料微結(jié)構(gòu)與精細(xì)化學(xué)組分的表征與分析。在冶金、材料、環(huán)境科學(xué)、生物科學(xué)等領(lǐng)域具有巨大應(yīng)用潛力。 視頻顯微鏡種類
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