激光鉆孔加工常見的4種方法：

3.樹脂表面的直接成孔技術(shù)：具體操作方式有以下4種：a.基板是用樹脂銅箔在內(nèi)層板上壓涂，然后將銅箔全部蝕刻除去，便可用CO2激光直接在樹脂表面打孔，再繼續(xù)按鍍覆工藝進行打孔。b.用FR-4半固化片材及銅箔代替涂樹脂銅箔的工藝方法，與用銅箔制作相類似。C.涂覆感光樹脂及后續(xù)層壓銅箔的工藝方法。d.采用干膜作為介質(zhì)層，與銅箔一起進行壓貼工藝制備。

4.超薄銅箔直接燒蝕的工藝方法：在用樹脂銅箔兩面壓覆內(nèi)層芯板后，可以用“半腐蝕法”將銅箔厚度17m經(jīng)腐蝕減薄至5微米，再經(jīng)過黑氧化處理，即可獲得CO2激光成孔。 掩模版用于芯片的批量生產(chǎn)；QuikLaze激光分類

日本HOYACANDEOOPTRONICS的激光系列-世界認同等級修正用之激光HSL-4000系列HSL-5000系列無論在設(shè)計，制造上HOYA采用比較先進的光學(xué)技術(shù)HOYA光學(xué)技術(shù)的結(jié)晶徹底追求加工穩(wěn)定度的較好品質(zhì)小型YAG激光系統(tǒng)HSL-4000II系列/HSL-5000II系列以HOYA特有的高度光學(xué)技術(shù)活用于設(shè)計、制造上，創(chuàng)造出比較好可多段多變功率輸出且高穩(wěn)定性的激光裝置。能同時實現(xiàn)微細加工與高輸出能量的大面積加工之激光系統(tǒng)從比較小0.5μm到比較大300μm，對半導(dǎo)體及FPD金屬薄膜的微細加工到ColorFilter的大面積加工都可以對應(yīng)。另外，比較大頻率可到50Hz，也可用在各種應(yīng)用層面上。保養(yǎng)及維修的特性燈泡容易替換HOYA激光配件激光應(yīng)用之激光光譜；

掩模版激光都有哪些種類？

普通版：一般使用蘇打玻璃或者石英，常見2寸到10寸，線寬一般在1um以上，主要用戶接觸式曝光機，轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸為1:1，實現(xiàn)同比例的圖形轉(zhuǎn)移。

Stepper版：一般使用石英版，常見為5寸和6寸版，線寬一般在500nm以上，主要用于Stepper曝光機臺，轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸實際比例一般是4:1或者5:1，實現(xiàn)將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。

納米壓印版：一般用石英版，刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合，尺寸一般需要5寸及以上，采用電子束直寫的技術(shù)實現(xiàn)表面nm圖形的轉(zhuǎn)移，一般線寬在200~800nm左右，借助掩模版對光刻膠的壓力、同時輔助紫外曝光，實現(xiàn)納米級圖形的轉(zhuǎn)移。

金屬掩模版：一把采用不銹鋼，在不銹鋼表面通過激光加工的方式，實現(xiàn)表面鏤空的圖形設(shè)計，線寬一般要20um，能夠用于電子束蒸發(fā)、磁控濺射中，用于電極圖形的轉(zhuǎn)移。

RY20激光修復(fù)機：

廣泛應(yīng)用：超快激光針對半導(dǎo)體的精細微加工

★芯片去層及圖形線路切割lasercut

★Mask掩膜版的開路斷線熔接laserwelding（LCVD）

★針對Oled、Mini/Microled面板修復(fù)LaserRepair

系統(tǒng)設(shè)備參數(shù)：

1、電氣參數(shù)

●電源：220V/AV，大10A

●激光器電源：48V/DC，比較大8A。

2、機械參數(shù)

●Z軸行程：20mm

●Z軸小移動精度：1um

●整機重量：150Kg。

3、激光光學(xué)參數(shù)

●物鏡：5X、10X，20XNUV

●激光輸出波長：355nmMAX6mj、532nmMAX8mj、1064nmMAX20mj

●光斑調(diào)節(jié)范圍：0.01*0.01~4*4mm(物鏡前)

●**小切割線寬：355nm1um;532nm1.2um;1064nm1.5um 激光熱處理，激光淬火。

大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)中，主要有三個趨勢

（1）無銦化銦焊料是常用的焊料之一。由于銦焊料在高電流下易產(chǎn)生電遷移和電熱遷移的問題，影響半導(dǎo)體激光器的穩(wěn)定性。通常采用金錫焊料封裝取代銦焊料封裝。

（2）高散熱：針對熱管理盡管已提出了多種散熱方式，例如金剛石傳導(dǎo)散熱和微通道散熱技術(shù)，如何提高散熱效率仍然是阻礙陣列半導(dǎo)體激光器高功率輸出的主要因素。熱應(yīng)力通常是由于陣列激光器和襯底的熱膨脹系數(shù)（CTE）失配所導(dǎo)致。熱應(yīng)力不僅限制了用于封裝的襯底材料/熱沉的選擇，而且影響半導(dǎo)體激光bar的可靠性、光譜寬度和光束的“smile”效應(yīng)（各發(fā)射腔的近場非線性效應(yīng)）。為了減小熱應(yīng)力，目前通過采用高的熱傳導(dǎo)率和熱膨脹系數(shù)更加匹配的襯底/熱沉材料（無氧銅、純銀、金剛石、硅）。

（3）“無空洞”貼片技術(shù)：對于單陣列半導(dǎo)體激光器，由于陣列半導(dǎo)體激光器各個發(fā)光單元產(chǎn)生的熱量相互干擾和整體散熱不均勻，導(dǎo)致器件性能穩(wěn)定性降低和限制功率上升；如果貼片層中存在空洞將明顯的影響陣列半導(dǎo)體激光的性能，包括輸出功率和可靠性等?，F(xiàn)已有兩種降低貼片層中的空洞的方法：一種是在合理的控制環(huán)境溫度和壓力情況下使用貼片技術(shù)；另一種方法是真空回流技術(shù)。 激光微加工系統(tǒng)的主要功能；湖南New Wave激光

光刻掩模版的加工技術(shù)；QuikLaze激光分類

在芯片制造中，光刻是至關(guān)重要的一個環(huán)節(jié)，這是將設(shè)計好的芯片版圖轉(zhuǎn)移到晶圓上的過程，類似于膠片相機中的膠卷曝光后，利用底片進行洗制照片的過程。一個底片可以洗出來很多照片，一樣的道理，通過芯片版圖，就是要復(fù)制出來很多芯片，只是這個過程要比洗相片復(fù)雜繁瑣太多。芯片版圖，也稱為光刻掩膜版，或者是光罩、掩膜版，是決定芯片造價成本的關(guān)鍵，一般來說，一個芯片生產(chǎn)線，所需要的大致設(shè)備、材料都是類似的，只是隨著芯片制程工藝的不斷提升，所需要的設(shè)備精密度越高，而材料純度也是越高，這些都會導(dǎo)致生產(chǎn)成本的不斷提升，不過，上升快的則是光刻掩膜版所帶來的成本。QuikLaze激光分類

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