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micro LED探針臺調(diào)試

來源: 發(fā)布時間:2023-06-05

手動探針臺是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟型測試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測。手動探針臺是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測試儀對芯片中的集成電路進行檢測的。應(yīng)用范圍:手動探針臺主要用于對生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進行手動測試。極低溫測試:因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結(jié)在晶圓上,會導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現(xiàn)象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉(zhuǎn)。晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調(diào)整探針的位置。三段式針座平臺,在不失焦的情況下可以使樣品和探針做到快速分離。micro LED探針臺調(diào)試

探針臺是半導(dǎo)體行業(yè)重要的檢測裝備之一,其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試、晶圓測試測試、封裝檢測。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺外,晶圓檢測環(huán)節(jié)還需要使用測試儀/機,測試儀/機用于檢測芯片功能和性能,探針臺實現(xiàn)被測芯片與測試機的連接,通過探針臺和測試機的配合使用,可以對晶圓上的裸芯片進行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品、不良品的進行篩選。江蘇探針臺加裝探針臺是半導(dǎo)體、晶圓、集成電路中重要的檢測設(shè)備。

探針臺操作步驟:1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上;2.打開顯微鏡光源燈(LED或光源機);3.打開背光面板光源開關(guān);4.調(diào)整Zaxis高度對焦,使能清楚看到樣品圖象為OK;5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率,使影像清晰;二.點針操作步驟:1.通過移動鏡頭組部分找到Sample要下針的地方;2.調(diào)整針座位置,將三軸歸零;3.調(diào)整針座仰角機構(gòu),使針尖位于顯微鏡射出光斑**上方1-2mm處;4.利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野**位置并通過調(diào)整焦距使針尖達到*清晰;6.切換至高倍鏡頭,找到針尖;7.利用針座的X-Y-Z軸微調(diào)下針;8.量測完畢后,逆時針旋轉(zhuǎn)鈕針座的仰角機構(gòu)的旋鈕取出快速將針往上抬起,針尖即可移開針Sample;移動座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動機構(gòu)時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞9.移開針座,取出背光面板光源和光源燈等電源.

探針臺可以將電探針、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上,從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件。這些測試可以很簡單,例如連續(xù)性或隔離檢查,也可以很復(fù)雜,包括微電路的完整功能測試??梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進行測試。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件,這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入產(chǎn)品的信息。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā)、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用。芯片的電參數(shù)測試用手動探針臺。

自動探針臺是一款適合6寸、8寸、12寸晶圓的量產(chǎn)型全自動晶圓探針臺,通過使探針卡與晶圓Pad點之間精細接觸,實現(xiàn)完成晶圓WAT/CP測試,該設(shè)備操作簡單并具有良好的機械穩(wěn)定性,能為客戶提供一個具有成本優(yōu)勢且高產(chǎn)量的晶圓測試解決方案,滿足晶圓廠、封測廠、測試廠等不同客戶的測試需求。經(jīng)過不斷的技術(shù)迭代更新,A系列全自動探針臺已擁有同步國外的先進技術(shù):低噪聲、快速移動、高產(chǎn)能、采用缺口和晶圓ID同步識別,減少了晶圓的加載時間;低重心設(shè)計,支持高針數(shù)探針卡,高低溫真空探針測試系統(tǒng)。江蘇探針臺加裝

雙面點針探針臺可用于晶圓和PCB板測試,用于需要正面和背面同時扎針,以實現(xiàn)各種光/電性能測試需求。micro LED探針臺調(diào)試

探針臺的各種應(yīng)用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片級可靠性,故障分析,設(shè)計驗證,和大功率。滿足先進半導(dǎo)體測試市場的要求,主要用于解決故障分析,設(shè)計驗證,IC工程,晶圓級可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件測試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲,非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器,從而保護用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門,并由互鎖保護,以提供簡便的初始測量設(shè)置。micro LED探針臺調(diào)試

上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03,同時啟動了以愛特蒙特為主的拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器產(chǎn)業(yè)布局。旗下愛特蒙特在儀器儀表行業(yè)擁有一定的地位,品牌價值持續(xù)增長,有望成為行業(yè)中的佼佼者。同時,企業(yè)針對用戶,在拉曼光譜儀,電動位移臺,激光器,光電探測器等幾大領(lǐng)域,提供更多、更豐富的儀器儀表產(chǎn)品,進一步為全國更多單位和企業(yè)提供更具針對性的儀器儀表服務(wù)。公司坐落于望園南路1288弄80號1904、1909室,業(yè)務(wù)覆蓋于全國多個省市和地區(qū)。持續(xù)多年業(yè)務(wù)創(chuàng)收,進一步為當(dāng)?shù)亟?jīng)濟、社會協(xié)調(diào)發(fā)展做出了貢獻。