近年來(lái)，半導(dǎo)體激光器在醫(yī)療、傳感、光學(xué)通訊、航空航天等領(lǐng)域的應(yīng)用市場(chǎng)不斷擴(kuò)大，半導(dǎo)體激光器的種類(lèi)和制造工藝也更加豐富多樣。

許多新的應(yīng)用領(lǐng)域要求半導(dǎo)體激光器具有更高的輸出功率。增加輸出功率主要有兩種方式：1）提高芯片生長(zhǎng)技術(shù)從而增加單發(fā)射腔半導(dǎo)體激光器輸出功率。2）提陣列高半導(dǎo)體激光器發(fā)光單元的個(gè)數(shù)從而提高輸出功率。為進(jìn)一步提高光輸出功率，提出了多種封裝技術(shù)，其中包括多單管模組、水平疊陣、垂直疊陣、面陣。

激光鉆孔加工技術(shù)方法；芯片圖形激光失效分析

激光機(jī)常見(jiàn)故障以及解決方法：

激光機(jī)是激光雕刻機(jī)、激光切割機(jī)和激光打標(biāo)機(jī)的總稱。激光機(jī)利用其高溫的工作原理作用于被加工材料表面，同時(shí)根據(jù)輸入到機(jī)器內(nèi)部的圖形，繪制出客戶要求的圖案、文字等。其中激光雕刻機(jī)又可以細(xì)分為，非金屬激光雕刻機(jī)，如木制工藝品雕刻機(jī)、石材影雕刻機(jī)等。金屬激光雕刻機(jī)，如，二氧化碳激光雕刻機(jī)。

一、激光頭不發(fā)光1、按操作面板測(cè)試鍵觀查電流表狀態(tài)：①?zèng)]電流：檢查激光電源電源是否接通、高壓線是否松動(dòng)或脫落，信號(hào)線是否松動(dòng)；②有電流：檢查鏡片是否破碎、光路是否嚴(yán)重偏移；2、檢查水循環(huán)系統(tǒng)是否正常：①不通水：檢查水泵是否損壞或沒(méi)通電；②通水：檢查進(jìn)水口、出水口是否接反或水管破裂； HSL-5500激光常見(jiàn)問(wèn)題激光開(kāi)蓋，主要針對(duì)陶瓷、可伐、鋁合金等金屬封裝。

激光機(jī)常見(jiàn)故障以及解決方法：3、能點(diǎn)射,能自檢,發(fā)送數(shù)據(jù)不發(fā)光(檢查電腦設(shè)置是否正確)二、雕刻深淺不一或刻不深1、檢查水循環(huán)系統(tǒng)水流是否流暢（水管彎折或水管破裂）；2、檢查焦距是否正常(重新校正)；3、檢查光路是否正常（重新校正）；4、檢查版材上鋪紙是否過(guò)厚，水量是否過(guò)多（重新更正）；5、檢查橫梁是否平行（調(diào)節(jié)兩邊皮帶）；6、檢查鏡片是否破碎（更換）；7、檢查鏡片或激光管發(fā)射端是否受污染（重新清洗）；8、檢查水溫是否高于30℃（更換循環(huán)水）；9、檢查激光頭或聚焦鏡是否松動(dòng)（加緊）；10、激光電流光強(qiáng)須達(dá)到8mA；11、激光管老化（更換：保修期不收費(fèi)）；

在芯片制造中，光刻是至關(guān)重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，這是將設(shè)計(jì)好的芯片版圖轉(zhuǎn)移到晶圓上的過(guò)程，類(lèi)似于膠片相機(jī)中的膠卷曝光后，利用底片進(jìn)行洗制照片的過(guò)程。一個(gè)底片可以洗出來(lái)很多照片，一樣的道理，通過(guò)芯片版圖，就是要復(fù)制出來(lái)很多芯片，只是這個(gè)過(guò)程要比洗相片復(fù)雜繁瑣太多。芯片版圖，也稱為光刻掩膜版，或者是光罩、掩膜版，是決定芯片造價(jià)成本的關(guān)鍵，一般來(lái)說(shuō)，一個(gè)芯片生產(chǎn)線，所需要的大致設(shè)備、材料都是類(lèi)似的，只是隨著芯片制程工藝的不斷提升，所需要的設(shè)備精密度越高，而材料純度也是越高，這些都會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)成本的不斷提升，不過(guò)，上升快的則是光刻掩膜版所帶來(lái)的成本。掩模版用于芯片的批量生產(chǎn)；

掩模版激光都有哪些種類(lèi)？

普通版：一般使用蘇打玻璃或者石英，常見(jiàn)2寸到10寸，線寬一般在1um以上，主要用戶接觸式曝光機(jī)，轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸為1:1，實(shí)現(xiàn)同比例的圖形轉(zhuǎn)移。

Stepper版：一般使用石英版，常見(jiàn)為5寸和6寸版，線寬一般在500nm以上，主要用于Stepper曝光機(jī)臺(tái)，轉(zhuǎn)移圖形與版圖尺寸實(shí)際比例一般是4:1或者5:1，實(shí)現(xiàn)將版圖圖形縮小4~5倍之后投射于目的片上。

納米壓印版：一般用石英版，刻蝕其表面的金屬形成溝槽和透光不透光的組合，尺寸一般需要5寸及以上，采用電子束直寫(xiě)的技術(shù)實(shí)現(xiàn)表面nm圖形的轉(zhuǎn)移，一般線寬在200~800nm左右，借助掩模版對(duì)光刻膠的壓力、同時(shí)輔助紫外曝光，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖形的轉(zhuǎn)移。

金屬掩模版：一把采用不銹鋼，在不銹鋼表面通過(guò)激光加工的方式，實(shí)現(xiàn)表面鏤空的圖形設(shè)計(jì)，線寬一般要20um，能夠用于電子束蒸發(fā)、磁控濺射中，用于電極圖形的轉(zhuǎn)移。 超快激光玻璃微加工。武漢激光調(diào)阻

激光光掩膜主要分基板和不透光材料兩個(gè)部分；芯片圖形激光失效分析

大功率半導(dǎo)體激光器封裝技術(shù)中，主要有三個(gè)趨勢(shì)

（1）無(wú)銦化銦焊料是常用的焊料之一。由于銦焊料在高電流下易產(chǎn)生電遷移和電熱遷移的問(wèn)題，影響半導(dǎo)體激光器的穩(wěn)定性。通常采用金錫焊料封裝取代銦焊料封裝。

（2）高散熱：針對(duì)熱管理盡管已提出了多種散熱方式，例如金剛石傳導(dǎo)散熱和微通道散熱技術(shù)，如何提高散熱效率仍然是阻礙陣列半導(dǎo)體激光器高功率輸出的主要因素。熱應(yīng)力通常是由于陣列激光器和襯底的熱膨脹系數(shù)（CTE）失配所導(dǎo)致。熱應(yīng)力不僅限制了用于封裝的襯底材料/熱沉的選擇，而且影響半導(dǎo)體激光bar的可靠性、光譜寬度和光束的“smile”效應(yīng)（各發(fā)射腔的近場(chǎng)非線性效應(yīng)）。為了減小熱應(yīng)力，目前通過(guò)采用高的熱傳導(dǎo)率和熱膨脹系數(shù)更加匹配的襯底/熱沉材料（無(wú)氧銅、純銀、金剛石、硅）。

（3）“無(wú)空洞”貼片技術(shù)：對(duì)于單陣列半導(dǎo)體激光器，由于陣列半導(dǎo)體激光器各個(gè)發(fā)光單元產(chǎn)生的熱量相互干擾和整體散熱不均勻，導(dǎo)致器件性能穩(wěn)定性降低和限制功率上升；如果貼片層中存在空洞將明顯的影響陣列半導(dǎo)體激光的性能，包括輸出功率和可靠性等。現(xiàn)已有兩種降低貼片層中的空洞的方法：一種是在合理的控制環(huán)境溫度和壓力情況下使用貼片技術(shù)；另一種方法是真空回流技術(shù)。 芯片圖形激光失效分析

上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03，同時(shí)啟動(dòng)了以愛(ài)特蒙特為主的拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器產(chǎn)業(yè)布局。業(yè)務(wù)涵蓋了拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器等諸多領(lǐng)域，尤其拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器中具有強(qiáng)勁優(yōu)勢(shì)，完成了一大批具特色和時(shí)代特征的儀器儀表項(xiàng)目；同時(shí)在設(shè)計(jì)原創(chuàng)、科技創(chuàng)新、標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范等方面推動(dòng)行業(yè)發(fā)展。我們強(qiáng)化內(nèi)部資源整合與業(yè)務(wù)協(xié)同，致力于拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器等實(shí)現(xiàn)一體化，建立了成熟的拉曼光譜儀，電動(dòng)位移臺(tái)，激光器，光電探測(cè)器運(yùn)營(yíng)及風(fēng)險(xiǎn)管理體系，累積了豐富的儀器儀表行業(yè)管理經(jīng)驗(yàn)，擁有一大批專業(yè)人才。值得一提的是，波銘科儀致力于為用戶帶去更為定向、專業(yè)的儀器儀表一體化解決方案，在有效降低用戶成本的同時(shí)，更能憑借科學(xué)的技術(shù)讓用戶極大限度地挖掘愛(ài)特蒙特的應(yīng)用潛能。