手動探針臺的使用方式：1.將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關(guān)，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點(diǎn)，再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針，***則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經(jīng)接觸。6.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后，則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。探針測試臺x-y工作臺。CV測試探針臺調(diào)試

手動探針臺基本配置（包含探針臺主體、顯微鏡、針座、探針等），探針臺主體-可測試晶圓尺寸：4英寸weili-樣品臺行程：100mm*100mm-移動分辨率：~：360度-低漏電底柵接口，標(biāo)準(zhǔn)Triax輸出-可選400度高溫樣品臺顯微鏡-三目連續(xù)變倍體鏡，LED環(huán)形照明-光學(xué)變倍總倍率45倍，物鏡，總放大倍率約700倍針座-磁性吸附底座，XYZ移動范圍：12mm-移動分辨率2um-標(biāo)配4個，可裝6個-漏電設(shè)計，漏電流探針低于100fA-Triax標(biāo)準(zhǔn)接口輸出，Keithley原裝低噪聲Triax線纜-低漏設(shè)計電探針，針尖探針探針直徑標(biāo)配10um，1um尺寸。 浙江 fA級漏電探針臺平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)。

探針臺主要被應(yīng)用在半導(dǎo)體、集成電路以及封裝的測試，主要是保證產(chǎn)品的質(zhì)量，且縮短制造成本。按照不同功能，探針臺可被分為多種類型，如LCD探針臺、高/低溫探針臺、RF探針臺。受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，探針臺應(yīng)用需求持續(xù)攀升，行業(yè)發(fā)展前景較好。半導(dǎo)體檢測是半導(dǎo)體生產(chǎn)中關(guān)鍵一環(huán)，在半導(dǎo)體檢測設(shè)備市場結(jié)構(gòu)中，探針臺占比約為16%。在全球中，受益于智能手機(jī)、人工智能等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體需求攀升，半導(dǎo)體測試設(shè)備市場規(guī)模也隨之增長，在2021年達(dá)到76億美元。探針臺作為重要設(shè)備，受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，市場需求持續(xù)攀升，市場規(guī)模持續(xù)增長。

    平面電機(jī)x-y步進(jìn)工作臺的維護(hù)與保養(yǎng)，平面電機(jī)由定子和動子組成，它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開，定子是基礎(chǔ)平臺，動子和定子間有一層氣墊，動子浮于氣墊上，而可編程承片臺則安裝在動子之上。這種結(jié)構(gòu)的x-y工作臺，由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損，使用壽命長。由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個過程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時應(yīng)先通入大氣以便動子移動，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無水乙醇，輕擦定子表面，然后用**工具撬起動子，方法同前，輕擦動子表面，動子的表面有若干個氣孔，它是定子和動子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔。 光電流測試探針臺系統(tǒng)。

    探針臺怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問題來確定探針臺的選型：1、比較大需要測幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時去點(diǎn)測？6、會測試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對夾具的要求也會越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀夾具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測到的電流的量級）。 探針臺搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測試。射頻探針臺規(guī)格

探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。CV測試探針臺調(diào)試

    微納探針臺可在納米尺度上對樣品和測試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征：1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺包含4個壓電三軸探針臂，每個三軸配備1個可拆卸式電學(xué)探針接口，可在毫米級尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動。2、使用場景多樣化微納探針臺結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，運(yùn)動行程大，可匹配各種顯微鏡樣品臺，真空室，光學(xué)試驗(yàn)臺等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺電學(xué)測量系統(tǒng)，為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺通過手柄控制，具有多級宏觀調(diào)速，脈沖運(yùn)動，以及位移微調(diào)功能，宏觀運(yùn)動速度跨度在5um/s~2mm/s，單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下，微調(diào)運(yùn)動分辨率小于1nm，在顯微鏡下操作更直觀，方便，精細(xì)。5、高度集成微納探針臺電學(xué)測量系統(tǒng)，配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊，配備亮度調(diào)節(jié)，增益和變焦等功能，與電腦連接后，可實(shí)現(xiàn)圖像快照，尺寸測量和標(biāo)注，視頻記錄等常規(guī)功能。 CV測試探針臺調(diào)試

上海波銘科學(xué)儀器有限公司致力于儀器儀表，是一家貿(mào)易型的公司。波銘科儀致力于為客戶提供良好的拉曼光譜儀，電動位移臺，激光器，光電探測器，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設(shè)計、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù)。波銘科儀憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品、專業(yè)的服務(wù)、眾多的成功案例積累起來的聲譽(yù)和口碑，讓企業(yè)發(fā)展再上新高。