低溫探針臺(tái)中低電流測(cè)量的注意事項(xiàng):低電流測(cè)量(低于 1 nA)是評(píng)估成熟和新興半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)和制造質(zhì)量的關(guān)鍵工具。在這種情況下,器件材料、生長(zhǎng)參數(shù)或器件幾何形狀的修改會(huì)導(dǎo)致器件中出現(xiàn)不希望的和無(wú)關(guān)的電流路徑。這些所謂的漏電流可能是由材料缺陷、柵極氧化物形態(tài)、襯底選擇和電場(chǎng)分布造成的,并導(dǎo)致器件性能下降——常見的是功耗過大。由于許多這些泄漏路徑背后的物理機(jī)制具有眾所周知的溫度依賴性,因此低溫探測(cè)測(cè)量可以成為識(shí)別電流泄漏的精確機(jī)制的有用評(píng)估工具,特別是對(duì)于新材料和器件架構(gòu)。芯片的電參數(shù)測(cè)試用手動(dòng)探針臺(tái)。PIV測(cè)試探針臺(tái)供應(yīng)
微納探針臺(tái)可在納米尺度上對(duì)樣品和測(cè)試設(shè)備進(jìn)行電學(xué)表特征:1、快速、精確、穩(wěn)定微納探針臺(tái)包含4個(gè)壓電三軸探針臂,每個(gè)三軸配備1個(gè)可拆卸式電學(xué)探針接口,可在毫米級(jí)尺度上進(jìn)行宏觀運(yùn)動(dòng)并實(shí)現(xiàn)納米尺度上的微觀運(yùn)動(dòng)。2、使用場(chǎng)景多樣化微納探針臺(tái)結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,運(yùn)動(dòng)行程大,可匹配各種顯微鏡樣品臺(tái),真空室,光學(xué)試驗(yàn)臺(tái)等工作條件。3、完善的技術(shù)解決方案微納探針臺(tái)與尼康金相顯微鏡/SR-Scopel集成形成的探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),為宏觀行程上進(jìn)行的微觀尺度電學(xué)及表征測(cè)量提供了具體的解決方案。4、直觀、方便微納探針臺(tái)通過手柄控制,具有多級(jí)宏觀調(diào)速,脈沖運(yùn)動(dòng),以及位移微調(diào)功能,宏觀運(yùn)動(dòng)速度跨度在5um/s~2mm/s,單點(diǎn)脈沖步進(jìn)可達(dá)300nm以下,微調(diào)運(yùn)動(dòng)分辨率小于1nm,在顯微鏡下操作更直觀,方便,精細(xì)。5、高度集成微納探針臺(tái)電學(xué)測(cè)量系統(tǒng),配備完善的光學(xué)顯微鏡模塊,配備亮度調(diào)節(jié),增益和變焦等功能,與電腦連接后,可實(shí)現(xiàn)圖像快照,尺寸測(cè)量和標(biāo)注,視頻記錄等常規(guī)功能。 江蘇MOSFET探針臺(tái)探針臺(tái)搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀進(jìn)行測(cè)試。
手動(dòng)探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。手動(dòng)探針臺(tái)是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測(cè)試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測(cè)的。應(yīng)用范圍:手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。
提到手動(dòng)探針臺(tái),大家就會(huì)對(duì)操作系統(tǒng)感興趣,因?yàn)槭謩?dòng)與自動(dòng)的非常大的區(qū)別在于需要人工干預(yù)探針臺(tái)的工作,加工工作需要靠機(jī)械和人力共同完成,這就關(guān)系到各個(gè)廠家車間加工的技術(shù)人員了,也有很多朋友非常關(guān)心探針臺(tái)的價(jià)格,擔(dān)心會(huì)因?yàn)閳D便宜而影響探針臺(tái)的性能,其實(shí),如果大家選擇了創(chuàng)譜,這些都不是問題。1、探針臺(tái)類型:例如準(zhǔn)確測(cè)量型探針臺(tái)、綜合分析型探針臺(tái)、高低溫真空探針臺(tái)等,能夠滿足不同工作環(huán)境的需求。2、質(zhì)量非常有保證:每一臺(tái)手動(dòng)探針臺(tái)都是新機(jī),并且還能提供定制服務(wù),專門針對(duì)廠家的需求辦事,即便是手動(dòng)操作也能實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確加工。3、經(jīng)濟(jì)實(shí)惠:堅(jiān)持為每一位客戶提供上門安裝教學(xué)的服務(wù),并且提供更加安全有保障的售后服務(wù),幫助大家在短時(shí)間內(nèi)上手,實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確操作手動(dòng)探針臺(tái)工作,即便是合成電路、測(cè)試設(shè)備、硬件軟件測(cè)試等等,輕而易舉解決這些細(xì)節(jié)難題!探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。
探針臺(tái)如何工作?探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片,并精確定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,并使用顯微鏡將探針前列放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針前列都被設(shè)置在正確的位置,就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓,使用者可以抬起壓盤,壓盤將探針頭與芯片分開,然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上,使用顯微鏡找到精確的位置,壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程,提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。OTS,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。武漢射頻探針臺(tái)
先進(jìn)半導(dǎo)體探針測(cè)試系統(tǒng)。PIV測(cè)試探針臺(tái)供應(yīng)
探針測(cè)試臺(tái)x-y工作臺(tái)的分類縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國(guó)EG公司為**的平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以日本及歐洲國(guó)家生產(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。PIV測(cè)試探針臺(tái)供應(yīng)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司成立于2013-06-03年,在此之前我們已在拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器行業(yè)中有了多年的生產(chǎn)和服務(wù)經(jīng)驗(yàn),深受經(jīng)銷商和客戶的好評(píng)。我們從一個(gè)名不見經(jīng)傳的小公司,慢慢的適應(yīng)了市場(chǎng)的需求,得到了越來(lái)越多的客戶認(rèn)可。公司業(yè)務(wù)不斷豐富,主要經(jīng)營(yíng)的業(yè)務(wù)包括:拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等多系列產(chǎn)品和服務(wù)。可以根據(jù)客戶需求開發(fā)出多種不同功能的產(chǎn)品,深受客戶的好評(píng)。愛特蒙特嚴(yán)格按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)研發(fā),產(chǎn)品在按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試完成后,通過質(zhì)檢部門檢測(cè)后推出。我們通過全新的管理模式和周到的服務(wù),用心服務(wù)于客戶。愛特蒙特秉承著誠(chéng)信服務(wù)、產(chǎn)品求新的經(jīng)營(yíng)原則,對(duì)于員工素質(zhì)有嚴(yán)格的把控和要求,為拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器行業(yè)用戶提供完善的售前和售后服務(wù)。