手動(dòng)探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器,主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。手動(dòng)探針臺(tái)是通過兩根探針以及吸片盤夠成的回路以及相應(yīng)大型電參數(shù)測(cè)試儀對(duì)芯片中的集成電路進(jìn)行檢測(cè)的。應(yīng)用范圍:手動(dòng)探針臺(tái)主要用于對(duì)生產(chǎn)及科研中的集成電路、三極管、二極管、可控硅及敏感元件管芯的電壓、電流、電阻等參數(shù)進(jìn)行手動(dòng)測(cè)試。極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí),空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上,會(huì)導(dǎo)致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試:當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí),氧化現(xiàn)象會(huì)越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差,物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走,并且保持整個(gè)測(cè)試過程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象,定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移,這時(shí)需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來調(diào)整探針的位置。探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試。湖南大功率測(cè)試探針臺(tái)
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2022-2026年中國半導(dǎo)體探針臺(tái)行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,中國探針臺(tái)市場(chǎng)和全球相似,在2020年受到行情影響,半導(dǎo)體芯片出貨量略有下降,探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模同比上年減少了10%左右。但隨著行情得到控制,在人工智能大背景下,半導(dǎo)體芯片出貨量增長,探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)?;厣?,預(yù)計(jì)到2022年達(dá)到16億元。探針臺(tái)行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘,在全球中市場(chǎng)呈現(xiàn)高度集中趨勢(shì),東京精密和東京電子壟斷市場(chǎng),二者占比高達(dá)74%左右。在國內(nèi)市場(chǎng),以上兩家企業(yè)占比高達(dá)68%左右本土企業(yè)占比32%。我國也有企業(yè)布局在探針臺(tái)領(lǐng)域,且技術(shù)不斷創(chuàng)新,已取得實(shí)質(zhì)性突破。 MOS管探針臺(tái)配件全自動(dòng)探針臺(tái)相比普通探針臺(tái)添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)和模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))。
探針臺(tái)怎么選合適的配置,怎么確定精度?通常需要確定以下問題來確定探針臺(tái)的選型:1、比較大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件?2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高?3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少?100um*100um或60um*60um的pad,還是FIB制作的minipad,還是ic內(nèi)部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡(體式顯微鏡比較大倍率200倍)5、需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)?6、會(huì)測(cè)試到的比較大的電流、電壓值是多少(電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具)7、漏電精度需要達(dá)到多高?是否有射頻的需求?三軸管狀?yuàn)A具:100FA,同軸彈簧夾具:10PA(漏電精度:要求能測(cè)到的電流的量級(jí))。
低溫探針臺(tái)是用來無損檢測(cè)樣品的電性能,用于半導(dǎo)體、微電子、固體物理、超導(dǎo)等研究冷域,是研究材料的電阻率、磁電阻等各種物理特性的有力工具。穩(wěn)定、可靠、方便的改變?cè)诤艿偷恼婵蘸蜏囟认聦?duì)器件和電路的探測(cè)。內(nèi)置振動(dòng)隔離,智能熱管理,使用低排放的材料,先進(jìn)的密封性,使該系統(tǒng)非常適合一系列需要更好的真空水平的應(yīng)用,如石墨烯的研究,分子電子學(xué)等的,系統(tǒng)采用閉式循環(huán)制冷機(jī)和專有的熱管理,可以經(jīng)濟(jì)快速的操作。內(nèi)置的隔振小化振動(dòng)符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。超穩(wěn)定的微操縱滿足設(shè)備探針的準(zhǔn)確和可重復(fù)的接觸。低溫探針臺(tái)集成系統(tǒng)有以下特點(diǎn):1、在真空探針臺(tái)下進(jìn)行完整的霍爾效應(yīng)測(cè)試的系統(tǒng)。2、支持一系列直流條件下霍爾效應(yīng)測(cè)試。3、變溫范圍10k-400k,采用閉循環(huán)制冷機(jī)制冷,不需要消耗制冷劑。4、包含8400軟件,可以做簡單的系統(tǒng)操作、數(shù)據(jù)采集和分析。5、支持多載流子分析數(shù)據(jù)導(dǎo)出。定制探針臺(tái)具有優(yōu)良的機(jī)械系統(tǒng),穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),符合人體工程學(xué),以及多項(xiàng)升級(jí)功能。
探針臺(tái)的各種應(yīng)用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片級(jí)可靠性,故障分析,設(shè)計(jì)驗(yàn)證,和大功率。滿足先進(jìn)半導(dǎo)體測(cè)試市場(chǎng)的要求,主要用于解決故障分析,設(shè)計(jì)驗(yàn)證,IC工程,晶圓級(jí)可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件測(cè)試的特殊要求。系統(tǒng)噪聲,非常精確和高度可靠的DC / CV,RF和高功率測(cè)量。用于在寬溫度范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)功率半導(dǎo)體的低接觸電阻測(cè)量。帶互鎖功能的安全光幕可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器,從而保護(hù)用戶免受意外高壓沖擊。該系統(tǒng)具有后門,并由互鎖保護(hù),以提供簡便的初始測(cè)量設(shè)置。探針臺(tái)的正確配置選型。江蘇低阻測(cè)試探針臺(tái)
探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于產(chǎn)品開發(fā)和故障失效分析。湖南大功率測(cè)試探針臺(tái)
國統(tǒng)局?jǐn)?shù)據(jù)顯示,2019年上半年儀器儀表大行業(yè)規(guī)模以上企業(yè)4927個(gè),營收規(guī)模4002億元,營收同比增長7.57%;收入總額為361億元,同比增長2.87%,比主營收入低4.70個(gè)百分點(diǎn);隨著互聯(lián)網(wǎng)的逐步發(fā)展,為拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等產(chǎn)品的傳播提供了一個(gè)飛速的平臺(tái)。讓儀器儀表行業(yè)從傳統(tǒng)的銷售模式到以互聯(lián)網(wǎng)電子商務(wù)為主的營銷方式的轉(zhuǎn)變,促進(jìn)了儀器儀表行業(yè)與互聯(lián)網(wǎng)的結(jié)合,推動(dòng)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展。目前我國上海波銘科學(xué)儀器有限公司是一家實(shí)力的光學(xué)儀器生產(chǎn)廠家,同時(shí)也是愛特蒙特正式代理商,主要提供光學(xué)儀器如光柵光譜儀,熒光光譜儀,膜厚測(cè)量儀,探測(cè)器響應(yīng)分析儀等科研光學(xué)儀器.并且提供光學(xué)機(jī)械,電子測(cè)量解決方案,制造工藝精良,質(zhì)量可靠,性能穩(wěn)定,報(bào)價(jià)合理,售后無憂,值得信賴.產(chǎn)品,主要集中在中低檔市場(chǎng),而市場(chǎng)則主要被國外品牌所占據(jù)。在某些領(lǐng)域,國產(chǎn)產(chǎn)品甚至是空白,這就需要未來我國儀器儀表向市場(chǎng)進(jìn)軍,擴(kuò)大產(chǎn)品占比。從銷售廣義角度來說,儀器儀表也可具有自動(dòng)操控、報(bào)警、信號(hào)傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能,例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動(dòng)操控中的氣動(dòng)調(diào)節(jié)儀表,和電動(dòng)調(diào)節(jié)儀表,以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表。湖南大功率測(cè)試探針臺(tái)
上海波銘科學(xué)儀器有限公司是國內(nèi)一家多年來專注從事拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器的老牌企業(yè)。公司位于望園南路1288弄80號(hào)1904、1909室,成立于2013-06-03。公司的產(chǎn)品營銷網(wǎng)絡(luò)遍布國內(nèi)各大市場(chǎng)。公司現(xiàn)在主要提供拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器等業(yè)務(wù),從業(yè)人員均有拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器行內(nèi)多年經(jīng)驗(yàn)。公司員工技術(shù)嫻熟、責(zé)任心強(qiáng)。公司秉承客戶是上帝的原則,急客戶所急,想客戶所想,熱情服務(wù)。公司會(huì)針對(duì)不同客戶的要求,不斷研發(fā)和開發(fā)適合市場(chǎng)需求、客戶需求的產(chǎn)品。公司產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域廣,實(shí)用性強(qiáng),得到拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器客戶支持和信賴。在市場(chǎng)競(jìng)爭日趨激烈的現(xiàn)在,我們承諾保證拉曼光譜儀,電動(dòng)位移臺(tái),激光器,光電探測(cè)器質(zhì)量和服務(wù),再創(chuàng)佳績是我們一直的追求,我們真誠的為客戶提供真誠的服務(wù),歡迎各位新老客戶來我公司參觀指導(dǎo)。