探針臺(tái)應(yīng)用手動(dòng)探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于，科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段 ，批量不是很大的情況，大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。主要功能：搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表，量測(cè)半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。用途：以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微?。{米級(jí)）的微電子器件（如IC、晶圓、芯片、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái)，便于其電性測(cè)試設(shè)備（不屬于本機(jī)器）對(duì)此測(cè)試、分析。探針臺(tái)基本配置包含探針臺(tái)主體、顯微鏡、針座、探針等。安徽 CV測(cè)試探針臺(tái)

探針臺(tái)的分類探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來(lái)劃分，也可以按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái)、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái)。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要**少的培訓(xùn)，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備、PC或軟件。由于其靈活和可變性高的特點(diǎn)，非常適合研發(fā)人員使用。全自動(dòng)探針臺(tái)相比上述兩種添加了晶圓材料處理搬運(yùn)單元（MHU）和模式識(shí)別（自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)）。負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位，使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。可以24小時(shí)連續(xù)工作，通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。全自動(dòng)探針臺(tái)價(jià)格也是遠(yuǎn)比手動(dòng)/半自動(dòng)探針臺(tái)要昂貴。湖南LCR測(cè)試探針臺(tái)低溫探針臺(tái)集成系統(tǒng)。

探針臺(tái)-高低溫真空光電測(cè)試系統(tǒng)功能：用于測(cè)試半導(dǎo)體器件，材料，發(fā)光器件等綜合性能表征系統(tǒng)，可測(cè)試參數(shù)包括：暗電流、光電流、光電壓（光伏器件）、響應(yīng)速度、光譜響應(yīng)、變光強(qiáng)的R~P響應(yīng)等。系統(tǒng)由光源、探針臺(tái)和光電測(cè)試三部分組成，根據(jù)用戶需求，三大部分可以進(jìn)行定制化開(kāi)發(fā)，以實(shí)現(xiàn)不同光譜覆蓋范圍、不同測(cè)試環(huán)境和不同測(cè)試功能的實(shí)現(xiàn)。探針臺(tái)可選項(xiàng)： 低溫/常溫/高溫、有背柵/無(wú)背柵、光纖導(dǎo)入/無(wú)光纖、有磁場(chǎng)/無(wú)磁場(chǎng)、真空/非真空 等。

高精度探針臺(tái)例如OTS，QPU和TTG相關(guān)技術(shù)，這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性1：OTS對(duì)正系統(tǒng)（光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn)）OTS通過(guò)對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度。這是非常引人注目的技術(shù)，來(lái)源于TSK的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。特性2：QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)（四方型系統(tǒng)）為了有效的達(dá)到接觸位置的精度，硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的，UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置（QPU），達(dá)到高剛性，高穩(wěn)定度的接觸。特性3：裝載部件令客戶滿意的測(cè)試環(huán)境，可以提供從前部開(kāi)始的通常的8"，12"及基本檢查單元。也為自動(dòng)物料輸送系統(tǒng)應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。特性4：TTG（一點(diǎn)即到）更加方便的操作，UF3000采用在顯示屏上點(diǎn)一下，相關(guān)的屏幕就會(huì)切換到新的位置顯示。相關(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義。極端環(huán)境下給樣品加載電學(xué)信號(hào)的探針臺(tái)設(shè)備。

    探針臺(tái)怎么選合適的配置，怎么確定精度？通常需要確定以下問(wèn)題來(lái)確定探針臺(tái)的選型：1、比較大需要測(cè)幾英寸的晶圓或者器件？2、探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高？3、點(diǎn)測(cè)樣品的尺寸規(guī)格為多少？100um*100um或60um*60um的pad，還是FIB制作的minipad，還是ic內(nèi)部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用體式顯微鏡（體式顯微鏡比較大倍率200倍）5、需要幾根探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)？6、會(huì)測(cè)試到的比較大的電流、電壓值是多少（電壓越高探針的針尖就要越粗、對(duì)夾具的要求也會(huì)越高。5A以下推薦使用同軸夾具、5A以上推薦使用三軸夾具）7、漏電精度需要達(dá)到多高？是否有射頻的需求？三軸管狀?yuàn)A具：100FA，同軸彈簧夾具：10PA（漏電精度：要求能測(cè)到的電流的量級(jí)）。 探針臺(tái)搭配源表或者半導(dǎo)體參數(shù)分析儀進(jìn)行電參數(shù)測(cè)試。安徽探針臺(tái)推薦廠家

了解探針臺(tái)的使用步驟。安徽 CV測(cè)試探針臺(tái)

探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精細(xì)扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。探針臺(tái)工作環(huán)境，探針臺(tái)應(yīng)放在堅(jiān)固穩(wěn)定的臺(tái)面上，如地基有震動(dòng)的情況，需要配置主動(dòng)防震裝置，避免在高溫、潮濕、激烈震動(dòng)、陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用比較好溫度范圍為5℃～40℃，比較好濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果    。使用電源：220V，50Hz安徽 CV測(cè)試探針臺(tái)

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